CN204747007U - 波纹管夹具、波纹管组件及波纹管清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种波纹管夹具、波纹管组件及波纹管清洗装置，所述波纹管夹具适用于固定两端带有法兰结构的波纹管，其包括调节轴、上框架和下框架，上框架上对称设置有多个与波纹管一端的法兰结构外周相配合的上卡勾，下框架上对称设置有多个与波纹管另一端的法兰结构外周相配合的下卡勾。所述波纹管组件包括上述波纹管夹具，使用时，波纹管套设于调节轴上，上框架和下框架设置在波纹管的两端并通过调节轴连接，多个上卡勾和多个下卡勾共同在轴向上配合勾住两端的法兰结构外周并使波纹管产生轴向伸张，从而使得波纹管清洗装置清洗波纹管时，波纹管可以始终处于轴向伸张状态，利于有效去除波纹管内壁上的沉积物，提高清洗效果。

Description

波纹管夹具、波纹管组件及波纹管清洗装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种波纹管夹具、波纹管组件以及波纹管清洗装置。

背景技术

在半导体制程中，许多设备都要求真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、电感耦合等离子体刻蚀以及等离子体增强化学气相沉积等，一方面在真空环境下洁净度高，水蒸气很少，可保证产品不易被污染，另一方面一些设备会用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，在真空环境下这些特殊气体不易外泄，从而保证制程的安全性。

在这些设备中，真空环境的形成通常是利用真空泵对真空室进行抽气而获得，且在使用过程中真空室需要一直维持在真空状态，而为了维持真空状态，波纹管是必不可少的密封件。因波纹管可形变，通常配合密封圈使用，安装在真空泵与真空管路等的衔接密封处、设备的运动密封处以及阀门内部等。

在进行真空镀膜制程时，由于波纹管内部与真空室连通且均维持在真空状态，因此真空室中反应产生的沉积物会附着在波纹管内壁上，并且在波纹管伸张以及压缩运动过程中，波纹管内壁上的沉积物会随内部压力变化扬起产生污染物问题，因此，定期清洗波纹管是半导体制程中必不可少的步骤。

目前，波纹管的清洗是直接将波纹管放置在振荡清洗槽中进行清洗，但是，在清洗过程中，波纹管一般处于自由压缩状态，导致其内壁上的沉积物难以有效接触到清洗液，因而无法被有效去除，进而导致后续生产过程中晶圆产生缺陷，降低了产品良率。

实用新型内容

实用新型的目的在于提供一种波纹管夹具、波纹管组件以及波纹管清洗装置，以使波纹管处于伸张状态而进行浸泡清洗，从而确保波纹管内壁上的沉积物可以被有效去除，提高清洗效果。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种波纹管夹具，所述波纹管包括波纹管本体和固定设置在所述波纹管两端的法兰结构，所述波纹管夹具包括调节轴、上框架和下框架，所述调节轴用于套设所述波纹管，并且所述调节轴还用于连接所述上框架和所述下框架，所述上框架上对称设置有多个与所述波纹管本体一端的法兰结构外周相配合的上卡勾，所述下框架上对称设置有多个与所述波纹管本体另一端的法兰结构外周相配合的下卡勾。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述下框架的结构与所述上框架的结构相同，并且，所述下卡勾的结构与所述上卡勾的结构相同。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上框架包括连接部和多个均匀分布在所述连接部周围的延伸部，每个延伸部的一端固定在所述连接部上，所述连接部的中央部位设置有螺纹通孔，所述上框架通过所述螺纹通孔套设于所述调节轴上并与所述调节轴螺纹连接，每个延伸部上设置有一个上卡勾，所述下框架的每个延伸部上设置有一个下卡勾。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述下框架还包括一轴承，所述下框架的连接部的中央部位设置有通孔，所述轴承设置在所述通孔中，所述下框架通过所述轴承套设于所述调节轴上并与所述调节轴通过所述轴承固定连接。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上卡勾活动设置在所述上框架的延伸部上，并且，所述下卡勾活动设置在所述下框架的延伸部上。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上框架还包括杆件和固定端子，所述固定端子固定设置在每个延伸部的外周端面上，所述杆件穿过所述固定端子至接触所述上卡勾并固定。

可选的，在所述的波纹管夹具中，每个延伸部为一凹字形结构，与所述凹字形结构的缺口相对的一端固定在所述连接部上。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述固定端子为一T字形结构，所述T字形结构与所述凹字形结构的缺口相配合并固定在所述凹字形结构的缺口端面上。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上框架的延伸部的数量为三个，所述上框架的连接部和所述上框架的三个延伸部形成Y字形框架结构，并且，相邻两个延伸部之间的夹角为120°。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上框架的延伸部的数量为四个，所述上框架的连接部和所述上框架的四个延伸部形成十字形框架结构。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述杆件为一螺纹杆。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述上卡勾包括轴向部分和与所述轴向部分固定连接的径向部分，所述轴向部分活动设置在所述上框架上，所述下卡勾的结构与所述上卡勾的结构相同，所述下卡勾的轴向部分活动设置在所述下框架上。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述轴向部分沿厚度方向上的两个侧面均设置有直线型凹槽，所述上框架和所述下框架的沿径向方向上均设置有与所述直线型凹槽相配合的导轨。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述波纹管夹具还包括一助力杆，所述助力杆设置在所述调节轴上，所述助力杆用于旋转调节所述上框架与所述调节轴的连接位置，以调整所述波纹管的轴向伸缩行程。

可选的，在所述的波纹管夹具中，所述法兰结构为平焊法兰。

此外，本实用新型还提供了一种波纹管组件，其包括波纹管以及如上任意一项所述的波纹管夹具，所述波纹管包括波纹管本体和固定设置在所述波纹管本体两端的法兰结构，所述波纹管套设于所述调节轴上，所述上框架和所述下框架设置在所述波纹管的两端并通过所述调节轴连接，所述多个上卡勾和所述多个下卡勾共同在所述波纹管的轴向上配合勾住所述波纹管两端的法兰结构外周并使所述波纹管产生轴向伸张。

另外，本实用新型再又提供了一种波纹管清洗装置，其包括清洗槽以及如上所述的波纹管组件，所述波纹管组件设置在所述清洗槽中，所述清洗槽用于振荡清洗所述波纹管。

综上所述，本实用新型提供的波纹管夹具、波纹管组件及波纹管清洗装置具有以下有益效果：

1、本实用新型提供的波纹管夹具应用为波纹管组件时，其仅通过上框架上的多个上卡勾和下框架上的多个下卡勾相互在波纹管的轴向上配合勾住波纹管本体两端的法兰结构外周，使得波纹管清洗装置清洗波纹管时，波纹管可以始终处于轴向伸张状态，有利于有效去除波纹管内壁上的沉积物，提高清洗效果；

2、本实用新型提供的波纹管夹具，所述上卡勾和所述下卡勾的结构相同，同时，所述上框架和所述下框架的结构也相同，结构简单，便于生产制造；并且，所述上卡勾和下卡勾均活动设置在所述上框架和下框架上，使得所述上卡勾和下卡勾的位置可以调整，进而使得波纹管夹具可用于固定不同尺寸的波纹管，适用范围广；

3、本实用新型提供的波纹管夹具，所述上框架和下框架均采用螺纹杆的一端作用在所述上卡勾和下卡勾上，以调整所述上卡勾和下卡勾的活动位置，结构简单，操作方便。

附图说明

图1为本实用新型实施例的波纹管夹具的装配结构示意图；

图2为图1所示波纹管夹具的正视图；

图3为本实用新型实施例的波纹管组件的正视结构示意图；

图4为图3所示波纹管组件的纵向剖视图；

图5为图3所示波纹管组件的等轴视图；

图6为本实用新型实施例的上框架的等轴视图；

图7为本实用新型实施例的下框架的等轴视图；

图8为本实用新型实施例的固定端子的等轴视图；

图9为本实用新型实施例的卡勾的等轴视图。

具体实施方式

本实用新型公开了一种波纹管夹具、波纹管组件及波纹管清洗装置，其中，所述波纹管包括波纹管本体和固定设置在所述波纹管本体两端的法兰结构，所述波纹管夹具包括调节轴、上框架和下框架，所述调节轴用于套设所述波纹管，并且所述调节轴还用于连接所述上框架和所述下框架，同时，所述上框架上对称设置有多个与所述波纹管本体一端的法兰结构外周相配合的上卡勾，所述下框架上对称设置有多个与所述波纹管本体另一端的法兰结构外周相配合的下卡勾。

上述波纹管夹具应用为波纹管组件时，所述波纹管套设于所述调节轴上，所述上框架和所述下框架设置在所述波纹管的两端并通过所述调节轴连接，所述多个上卡勾和所述多个下卡勾共同在所述波纹管的轴向上配合勾住所述波纹管两端的法兰结构外周并使所述波纹管产生轴向伸张，从而使得波纹管清洗装置清洗波纹管时，所述波纹管可以始终处于轴向伸张状态，有利于有效去除波纹管内壁上的沉积物，提高清洗效果。

以下将结合附图1～9对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

首先，本实用新型实施例提供了一种波纹管夹具，其适用于固定两端带有法兰结构的波纹管。

请参阅图1和图2，本实施例的波纹管夹具包括调节轴110、上框架120和下框架130；所述调节轴110用于套设一波纹管，并且还用于连接上框架120和下框架130；所述上框架120上对称设置有多个与波纹管一端的法兰结构外周相配合的上卡勾121，相应的，所述下框架130上对称设置有多个与波纹管另一端的法兰结构外周相配合的下卡勾131。

参阅图3，并结合参阅图4和图5，本实施例的波纹管200包括波纹管本体210和固定设置在波纹管本体210两端的法兰结构220。

上述波纹管夹具应用时，先使波纹管200套设在调节轴110上，再使上框架120与下框架130套设在调节轴110上并设置在波纹管200的两端，紧接着，使上框架120和下框架130相互靠近直至接触波纹管200两端的法兰结构220后，所述多个上卡勾121沿径向方向靠近至勾住波纹管200一端的法兰结构220外周并进一步固定在上框架120上，与此同时，所述多个下卡勾131沿径向方向靠近至勾住波纹管200另一端的法兰结构220外周并进一步固定在下框架130上，最后，使上框架120和下框架130相互远离，直至波纹管200在多个上卡勾121和多个下卡勾131共同作用下处于轴向伸张状态时，将上框架120和下框架130与调节轴110固定。

或者，上述波纹管夹具应用时，也可使上框架120或下框架130中的一个预先套设在调节轴110上并与调节轴110固定。本实施例中，在所述波纹管夹具应用之前，预先将下框架130套设在调节轴110的一端并与其固定，再使波纹管200套设在调节轴110上，之后，所述多个下卡勾131沿径向方向靠近至勾住波纹管200另一端的法兰结构220外周并进一步固定在下框架130上，然后，再使上框架120套设在调节轴110的另一端并靠近波纹管200直至接触波纹管200一端的法兰结构220，紧接着，使多个上卡勾121沿径向方向靠近至勾住波纹管200一端的法兰结构210外周并进一步固定在上框架120上，最后，使上框架120沿波纹管200的轴向向外移动，直至波纹管200在多个上卡勾121和多个下卡勾131共同作用下处于轴向伸张状态时，所述上框架120静止并与调节轴110固定。

本实用新型的波纹管夹具，采用预先将下框架130与调节轴110固定，在具体应用时，仅需调节上框架120的轴向位置即可调节波纹管200的伸缩行程，操作更为简便，利于提高使用效率。

上述波纹管夹具在应用过程中，首先通过多个上卡勾121和多个下卡勾131共同在轴向上配合勾住波纹管200两端的法兰结构220外周，之后，再通过上框架120和下框架130相对远离，使得波纹管200进一步产生轴向伸张，设置方便，固定效果好。

为了便于生产制造，降低使用成本，所述下框架130的结构与上框架120的结构相同，并且，所述下卡勾131的结构与上卡勾121的结构也选择为相同。

继续参阅图1，并结合参阅图5和图6，所述上框架120包括连接部122和多个均匀分布在连接部122周围的延伸部123，每个延伸部123的一端固定在连接部122上；所述连接部122的中央部位设置有螺纹通孔(图中未标示)，所述上框架120通过所述螺纹通孔套设于调节轴110上并与调节轴110螺纹连接，而且，每个延伸部123上设置有一个上卡勾121。

同时，参阅图1，并结合参阅图5，所述下框架130与上框架120结构相同，其相应包括连接部122和多个均匀分布在连接部122周围的延伸部123，每个延伸部123的一端固定在连接部122上；所述下框架130的连接部122的中央部位设置有螺纹通孔(图中未标示)，所述下框架130通过所述螺纹通孔套设于调节轴110上并与调节轴110螺纹连接，而且，所述下框架130的每个延伸部123上设置有一个下卡勾131。

当然，所述下框架130的连接部122还可设置为与上框架120的连接部122不同。具体的，参阅图1，并结合参阅图7，所述下框架130还包括一轴承140，所述下框架130的连接部122的中央部位设置有通孔(图中未标示)，所述轴承140设置在所述通孔中，所述下框架130通过轴承140套设于调节轴110上并与调节轴110通过轴承140固定连接。本实施例的轴承140为一滚动轴承。所述滚动轴承优选为一角接触球轴承。

上述实施例提供的波纹管夹具中，为了使波纹管夹具可以适用于固定不同尺寸的波纹管，所述上卡勾121径向活动设置在上框架120的每个延伸部123上，同时，与上卡勾121结构相同的下卡勾131径向活动设置在下框架130的每个延伸部123上。此处，所述径向活动设置可以理解为：所述上卡勾121和下卡勾131在应用之前，可以径向自由活动。

此外，在应用时，所述上卡勾121与波纹管200一端的法兰结构220外周相接触后，为了防止上卡勾121沿径向滑动，参阅图1，并结合参阅图5，所述上框架120还包括固定端子150和杆件160，其中，所述固定端子150可固定设置在每个延伸部123的外周端面上，所述杆件160进一步沿径向穿过固定端子150至接触上卡勾121，进而杆件160与固定端子150固定，以使每个上卡勾121的径向位置固定。同理，所述下框架130还包括固定端子150和杆件160，具体应用时，所述固定端子150固定设置在上框架130的每个延伸部123的外周端面上，所述杆件160沿径向穿过固定端子150至接触下卡勾131，进而杆件160与固定端子150固定，以使每个下卡勾131的径向位置固定。

参阅图8，并结合参阅图1和图5，所述固定端子150优选为一T字形结构，以使所述T字形结构与所述凹字形结构的缺口相配合并固定在所述凹字形缺口的端面上。具体的，对于上框架120，先使所述T字形结构与上述凹字形结构的缺口相配合，并固定在所述凹字形结构上，再使杆件160沿所述T字形结构的立杆方向穿过所述T字形结构，并使杆件160的一端顶在上卡勾121上，之后，再将杆件160与所述T字形结构固定。同理，对于下框架130也可采取相同的装配方式，在此，本实施例不再详细叙述。

较佳的，为了增强径向作用效果，所述上卡勾121与杆件160的一端接触的位置处可设置有一成形凹槽(未图示)，使得杆件160的一端可以顶在所述成形凹槽中，利于径向受力。

继续参阅图8，所述T字形结构的顶面设置有三个等距分布成一排的圆孔，所述杆件160穿过中间的一个圆孔接触卡勾，其余两个圆孔便于T字形结构与上述凹字形结构通过两颗螺丝固定连接。本实施例提供的杆件160优选为一螺纹杆，以使杆件160与所述T字形结构直接螺纹连接。如此，当卡勾的径向位置需要调整时，仅需旋转螺纹杆即可，简单方便，调整效率高。此处，上述卡勾具体指的是上卡勾121和下卡勾131。

本实施例中，所述连接部122为一圆环柱体结构，每个延伸部123为一凹字形结构，且与所述凹字形结构的缺口相对的一端固定在连接部122上。采用凹字形结构便于方便快速地调节上卡勾121以及下卡勾131分别在上框架120和下框架130的径向位置，调整方便，便于应用。

继续参阅图6，本实施例提供的上框架120的延伸部123的数量为四个，所述上框架120的连接部122和上框架120的四个延伸部123形成十字形框架结构。当然，所述上框架120的第一延伸部的数量也可为三个，所述上框架120的连接部122和上框架120的三个延伸部123形成Y字形框架结构，并且，相邻两个延伸部123之间的夹角为120°。具体的，可以根据实际需要作选择。

同理，参阅图7，所述下框架130也采用与上框架120相同的十字形框架结构，或者采用Y字形框架结构，具体的，可参阅上框架120的实施方式。

本实用新型提供的波纹管夹具，采用上框架120的每个延伸部123上设置一个上卡勾121和下框架130的每个延伸部123上设置一个下卡勾131，使得多个上卡勾121沿波纹管200一端的法兰结构220外周均匀分布，并且多个下卡勾131沿波纹管200另一端的法兰结构220外周均匀分布，因此，固定波纹管200的效果更好，提高了波纹管夹具的可靠性。

参阅图9，并结合参阅图1和图2，本实施例提供的上卡勾121包括轴向部分121a和与轴向部分121a固定连接的径向部分121b，所述轴向部分121a与径向部分121b构成一L形结构。所述轴向部分121a径向活动设置在上述凹字形结构的缺口中。所述轴向部分121a沿厚度方向的两个侧面上均设置有直线型凹槽121c，同时，所述凹字形结构的缺口中沿径向方向上设置有与直线型凹槽121c相配合的导轨(图中未标示)。采用所述导轨与直线型凹槽121c的配合关系，所述上卡勾121可方便地沿径向移动，结构简单，使用方便。相应的，所述下框架130也采用与上框架120相同的设置，例如与下卡勾131的直线形凹槽121c相配合的导轨，具体的，可参阅上框架120。

或者，相反的，所述轴向部分121a沿厚度方向的两个侧面上均可设置直线型导轨，同时，所述凹字形结构的缺口中沿径向方向上设置有与所述直线型导轨相配合的滑槽，具体的，本实施例并不做限定。

此外，为了防止安装错位，所述轴向部分121a沿厚度方向的两个侧面上的直线形凹槽121c可以设置为不同的结构，例如是不同宽度的直线形凹槽121c。

另外，为了提高应用范围，上述凹字形结构的缺口的长度适可以设置得稍微大一些，以增大卡勾的径向移动范围，便于适用更多种尺寸的波纹管固定。

进一步的，本实施例的直线形凹槽121c由通过在轴向部分121a上增加材料层而形成，确保了上卡勾121的结构强度。更进一步的，所述直线形凹槽121c的径向长度大于轴向部分121a的径向厚度，增大了直线形凹槽121c与所述导轨的接触面，利于改善受力，提高波纹管夹具的可靠性。

在上述实施例提供的波纹管夹具中，所述下卡勾131的结构与上卡勾121的结构相同，因此，所述下卡勾131采用与上卡勾121相同的结构设置，具体的，可相应参阅上卡勾121的实施方式，并且，所述下框架130的结构适应性与上框架120的结构相同，故而所述下框架130也可采用与上框架120相同的结构设置，同样的，参阅可上框架120的实施方式。

继续参阅图1和图5，所述波纹管夹具还包括一助力杆170，其以可拆卸式方式设置在调节轴110上，当应用所述波纹管夹具时，其便于旋转调节上框架120与调节轴110的连接位置进而调整波纹管200的伸缩行程。具体的，本实施例的调节轴110临近端面上设置有垂直于轴线的孔型结构，便于助力杆170穿过或未穿过所述孔型结构设置在调节轴110上。

本实施例中，上述波纹管200两端的法兰结构220可以为一板式平焊法兰或者带颈对焊法兰等。但是，本实用新型提供的波纹管夹具，其包括但不局限于固定两端带有法兰结构220的波纹管200，例如类似两端带有法兰结构220的其他管子，本实用新型也可以适用。

其次，参阅图3至图5，本实用新型实施例还提供了一种波纹管组件，其包括上述波纹管200以及上述实施例提供的波纹管夹具。

此外，本实用新型实施例又提供了一种波纹管清洗装置，其包括清洗槽以及如上所述的波纹管组件，清洗之前，所述波纹管组件放置在所述清洗槽中，所述清洗槽可用于振荡清洗所述波纹管。

所述波纹管清洗装置可应用于半导体制程中，以对半导体机台真空环境下使用的波纹管进行清洗。

此外，本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

综上所述，本实用新型提供的波纹管夹具应用为波纹管组件时，其仅通过上框架120上的多个上卡勾121和下框架130上的多个下卡勾131相互在波纹管200轴向上配合勾住波纹管200两端的法兰结构220外周，使得波纹管清洗装置清洗波纹管时，波纹管可以始终处于轴向伸张状态，有利于有效去除波纹管内壁上的沉积物，提高清波纹管的清洗效果。

此外，本实用新型提供的波纹管夹具中，所述上卡勾121和下卡勾131的结构相同，同时，所述上框架120和下框架130的结构也相同，结构简单，便于生产制造。另外，所述上卡勾121和下卡勾131分别径向活动设置在上框架120和下框架130上，使得上卡勾121和下卡勾131的径向位置可以调整，进而使得波纹管夹具可用于固定不同尺寸的波纹管，适用范围广。并且，所述上框架120和下框架130均采用螺纹杆160的一端径向作用在卡勾上来调整所述卡勾的径向位置，操作方便。

本实用新型虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本实用新型，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (17)

1.一种波纹管夹具，所述波纹管包括波纹管本体和固定设置在所述波纹管本体两端的法兰结构，其特征在于，所述波纹管夹具包括调节轴、上框架和下框架，所述调节轴用于套设所述波纹管，并且所述调节轴还用于连接所述上框架和所述下框架，所述上框架上对称设置有多个与所述波纹管本体一端的法兰结构外周相配合的上卡勾，所述下框架上对称设置有多个与所述波纹管本体另一端的法兰结构外周相配合的下卡勾。

2.如权利要求1所述的波纹管夹具，其特征在于，所述下框架的结构与所述上框架的结构相同，并且，所述下卡勾的结构与所述上卡勾的结构相同。

3.如权利要求2所述的波纹管夹具，其特征在于，所述上框架包括连接部和多个均匀分布在所述连接部周围的延伸部，每个延伸部的一端固定在所述连接部上，所述连接部的中央部位设置有螺纹通孔，所述上框架通过所述螺纹通孔套设于所述调节轴上并与所述调节轴螺纹连接，每个延伸部上设置有一个上卡勾，所述下框架的每个延伸部上设置有一个下卡勾。

4.如权利要求3所述的波纹管夹具，其特征在于，所述下框架还包括一轴承，所述下框架的连接部的中央部位设置有通孔，所述轴承设置在所述通孔中，所述下框架通过所述轴承套设于所述调节轴上并与所述调节轴通过所述轴承固定连接。

5.如权利要求4所述的波纹管夹具，其特征在于，所述上卡勾活动设置在所述上框架的延伸部上，所述下卡勾活动设置在所述下框架的延伸部上。

6.如权利要求5所述的波纹管夹具，其特征在于，所述上框架还包括杆件和固定端子，所述固定端子固定设置在每个延伸部的外周端面上，所述杆件穿过所述固定端子至接触所述上卡勾并固定。

7.如权利要求6所述的波纹管夹具，其特征在于，每个延伸部为一凹字形结构，与所述凹字形结构的缺口相对的一端固定在所述连接部上。

8.如权利要求7所述的波纹管夹具，其特征在于，所述固定端子为一T字形结构，所述T字形结构与所述凹字形结构的缺口相配合并固定在所述凹字形结构的缺口端面上。

9.如权利要求3至8中任意一项所述的波纹管夹具，其特征在于，所述上框架的延伸部的数量为三个，所述上框架的连接部和所述上框架的三个延伸部形成一Y字形框架结构，并且，相邻两个延伸部之间的夹角为120°。

10.如权利要求3至8中任意一项所述的波纹管夹具，其特征在于，所述上框架的延伸部的数量为四个，所述上框架的连接部和所述上框架的四个延伸部形成一十字形框架结构。

11.如权利要求6至8中任意一项所述的波纹管夹具，其特征在于，所述杆件为一螺纹杆。

12.如权利要求1所述的波纹管夹具，其特征在于，所述上卡勾包括轴向部分和与所述轴向部分固定连接的径向部分，所述轴向部分活动设置在所述上框架上，所述下卡勾的结构与所述上卡勾的结构相同，所述下卡勾的轴向部分活动设置在所述下框架上。

13.如权利要求12所述的波纹管夹具，其特征在于，所述轴向部分沿厚度方向上的两个侧面均设置有直线型凹槽，所述上框架和所述下框架沿径向方向上均设置有与所述直线型凹槽相配合的导轨。

14.如权利要求1所述的波纹管夹具，其特征在于，所述波纹管夹具还包括一助力杆，所述助力杆设置在所述调节轴上，所述助力杆用于旋转调节所述上框架与所述调节轴的连接位置，以调整所述波纹管的轴向伸缩行程。

15.如权利要求1所述的波纹管夹具，其特征在于，所述法兰结构为平焊法兰。

16.一种波纹管组件，其特征在于，包括波纹管以及如权利要求1至15中任意一项所述的波纹管夹具，所述波纹管包括波纹管本体和固定设置在所述波纹管本体两端的法兰结构，所述波纹管套设于所述调节轴上，所述上框架和所述下框架设置在所述波纹管的两端并通过所述调节轴连接，所述多个上卡勾和所述多个下卡勾共同在所述波纹管的轴向上配合勾住所述波纹管两端的法兰结构外周并使所述波纹管产生轴向伸张。

17.一种波纹管清洗装置，其特征在于，包括清洗槽以及如权利要求16所述的波纹管组件，所述波纹管组件设置在所述清洗槽中，所述清洗槽用于振荡清洗所述波纹管。