CN204589290U - 一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置 - Google Patents
一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置，包括：真空室和工件转架，所述工件转架固定安装在真空室内部，所述工件转架内部安装有偏压辅助装置，所述工件转架表面放置有镀膜工件；所述真空室的边缘处固定设置有电弧蒸发源，所述真空室的下方分别设置有偏压电源和电弧蒸发源，所述偏压电源通过偏压电源线路分别和真空室、偏压辅助装置固定连接；所述电弧蒸发电源通过电弧蒸发源线路分别和真空室、电弧蒸发源固定连接；本实用新型通过在蒸发源和镀膜工件的一侧安装偏压辅助装置，增强电弧离子真空镀膜机的使用功能，让电弧离子真空镀膜机也能在塑料或其它不耐温材料表面镀制膜层，本实用新型结构较为简单，实用性较高，适合推广使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体的说是一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置。
背景技术
电弧离子真空镀膜机现均采用工件转架连接偏压电源，对镀膜工件施加偏压，让蒸发的金属离子以较大的能量轰击工件的表面，从而提高膜层的附着力。但这种工艺只能适合对金属或其它耐温材料镀膜，并不适合塑料等材料使用电弧离子真空镀膜工艺。因为工件在电流通过时会产生热量，如果是塑料类材料就会被烧坏。
基于以上原因，需要一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置被设计出来，通过在蒸发源和镀膜工件的一侧，安装偏压辅助装置；不让电流通过工件，但也能靠偏压辅助装置提高蒸发金属离子的能量，有效避免了因为工件在电流通过时会产生热量，如果是塑料类材料就会被烧坏的情况，即一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置。
实用新型内容
为了解决上述现有真空镀膜机存在的技术问题，本实用新型提供一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置，包括：真空室和工件转架，所述工件转架固定安装在真空室内部，所述工件转架内部安装有偏压辅助装置，所述工件转架表面放置有镀膜工件；所述真空室的边缘处固定设置有电弧蒸发源，所述真空室的下方分别设置有偏压电源和电弧蒸发源，所述偏压电源通过偏压电源线路分别和真空室、偏压辅助装置固定连接；所述电弧蒸发电源通过电弧蒸发源线路分别和真空室、电弧蒸发源固定连接。
作为本实用新型的优选方案，在电弧离子真空镀膜机的蒸发源和工件转架的一侧，安装偏压辅助装置，让偏压电源在偏压辅助装置和真空室之间形成电流回路。本装置也可在电阻蒸发真空镀膜机和磁控溅射真空镀膜机上使用。
本实用新型的有益效果是：一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置，通过在蒸发源和镀膜工件的一侧安装偏压辅助装置，增强电弧离子真空镀膜机的使用功能，让电弧离子真空镀膜机也能在塑料或其它不耐温材料表面镀制膜层，本实用新型结构较为简单，实用性较高，适合推广使用。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图中:1、真空室，2、偏压电源，3、电弧蒸发电源，4、偏压电源线路，5、电弧蒸发源线路，6、电弧蒸发源，7、工件转架，8、偏压辅助装置，9、镀膜工件，10、蒸发金属离子。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1所示，本实用新型所述的一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置，包括：真空室1和工件转架7，所述工件转架7固定安装在真空室1内部，所述工件转架7内部安装有偏压辅助装置8，所述工件转架7表面放置有镀膜工件9；所述真空室1的边缘处固定设置有电弧蒸发源6，所述真空室1的下方分别设置有偏压电源2和电弧蒸发源3，所述偏压电源2通过偏压电源线路4分别和真空室1、偏压辅助装置8固定连接；所述电弧蒸发电源3通过电弧蒸发源线路5分别和真空室1、电弧蒸发源6固定连接；所述工件转架7上每次放置的镀膜工件9数量为六块；所述电弧蒸发源6的数量为六个。
作为本实用新型一个较佳的实施例，如图1所示，本实用新型在工作时，不让偏压电流通过工件，靠偏压辅助装置来提高蒸发金属离子的能量，加速向工件表面沉积，最终达到工件镀膜效果。
作为本实用新型另一个较佳的实施例，通过在电弧离子真空镀膜机的蒸发源和工件转架的一侧，安装偏压辅助装置，让偏压电源在偏压辅助装置和真空室之间形成电流回路。本装置也可在电阻蒸发真空镀膜机和磁控溅射真空镀膜机上使用。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (1)
1.一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置，其特征在于：包括真空室(1)和工件转架(7)，所述工件转架(7)固定安装在真空室(1)内部，所述工件转架(7)内部安装有偏压辅助装置(8)，所述工件转架(7)表面放置有镀膜工件(9)；所述真空室(1)的边缘处固定设置有电弧蒸发源(6)，所述真空室(1)的下方分别设置有偏压电源(2)和电弧蒸发源(3)，所述偏压电源(2)通过偏压电源线路(4)分别和真空室(1)、偏压辅助装置(8)固定连接；所述电弧蒸发电源(3)通过电弧蒸发源线路(5)分别和真空室(1)、电弧蒸发源(6)固定连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201520261691.0U CN204589290U (zh) | 2015-04-27 | 2015-04-27 | 一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置 |
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| CN201520261691.0U CN204589290U (zh) | 2015-04-27 | 2015-04-27 | 一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN204589290U true CN204589290U (zh) | 2015-08-26 |
Family
ID=53925463
Family Applications (1)
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| CN201520261691.0U Active CN204589290U (zh) | 2015-04-27 | 2015-04-27 | 一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204589290U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105506561B (zh) * | 2015-12-25 | 2018-05-18 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法 |
| CN110857464A (zh) * | 2018-08-24 | 2020-03-03 | 安徽纯源镀膜科技有限公司 | 一种新的真空镀膜设备的偏压系统 |
| CN110857466A (zh) * | 2018-08-24 | 2020-03-03 | 安徽纯源镀膜科技有限公司 | 一种真空镀膜设备的产品装夹装置 |
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2015
- 2015-04-27 CN CN201520261691.0U patent/CN204589290U/zh active Active
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