CN110857466A - 一种真空镀膜设备的产品装夹装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板，所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置，所述旋转驱动轴上套有第一轴承，所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮，所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置，所述驱动齿轮边缘处啮合有驱动马达，所述旋转驱动轴上套有偏压支架，且位于驱动齿轮的上方，本发明涉及真空镀膜设备技术领域,调节电压，使离子束流排出尖角效应的干扰，达到深孔内表面镀膜，复杂曲面镀膜的目的，该装置为两套独立的旋转偏压系统。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种真空镀膜设备的产品装夹装置。
背景技术
所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用加热蒸发、磁控溅射、真空电弧或者化学气相沉积方式激发出等离子体，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。
目前，只有1路和真空镀膜腔室绝缘的产品装夹装置，偏压直接施加在产品上，由于尖角效应，无法镀制深孔产品内表面，因此设计一种真空镀膜设备的产品装夹装置很有必要。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种真空镀膜设备的产品装夹装置，解决了现有的只有1路和真空镀膜腔室绝缘的产品装夹装置，偏压直接施加在产品上，由于尖角效应，无法镀制深孔产品内表面的问题。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板，所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置，所述旋转驱动轴上套有第一轴承，所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮，所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置，所述驱动齿轮边缘处啮合有驱动马达，所述旋转驱动轴上套有偏压支架，且位于驱动齿轮的上方，所述偏压支架与驱动齿轮之间设有第三套绝缘装置，所述偏压支架上设有第二碳刷导电机构，所述第二碳刷导电机构上设有从动轴承，所述旋转驱动轴下表面安装有旋转板，所述旋转板上表面边缘处设有产品支架，所述旋转板上表面边缘处且靠近产品支架处设有偏压板，所述旋转板上表面设有真空镀膜保护罩。
优选的，所述第一碳刷导电机构和第二碳刷导电机构均由碳刷和弹簧共同构成的。
优选的，所述第二套绝缘装置上设有旋转传感器：该旋转传感器用于感应。
优选的，所述旋转板下表面设有总固定板：该总固定板用于固定。
优选的，所述驱动马达公转速度0-20 r/min。
优选的，所述偏压板与产品支架的距离为1-50mm。
优选的，所述第一碳刷导电机构上设有偏压固定点。
有益效果
本发明提供了一种真空镀膜设备的产品装夹装置。具备以下有益效果:本装置具有2路和真空镀膜腔室绝缘的产品装夹装置，分别设计了产品支架和独立偏压装置，不同电压，使离子束流排出尖角效应的干扰，达到深孔内表面镀膜，复杂曲面镀膜的目的该装置为两套独立的旋转偏压系统。
附图说明
图1为本发明所述一种真空镀膜设备的产品装夹装置的结构示意图。
图2为本发明所述一种真空镀膜设备的产品装夹装置的正视图。
图3为本发明所述碳刷和弹簧的示意图。
图中：1-驱动马达；2-驱动齿轮；3-第二套绝缘装置；4-产品支架；5-偏压板；6-旋转驱动轴；7-镀膜保护挡板；8-第一套绝缘装置；9-第一轴承；10-旋转板；11-第三套绝缘装置；12-偏压支架；13-真空镀膜保护罩；14-碳刷；15-第二轴承；16-弹簧；17-旋转传感器；18-总固定板；19-偏压固定点。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴6,所述旋转驱动轴6上套有镀膜保护挡板7，所述镀膜保护挡板7上安装有第一套绝缘装置8，所述旋转驱动轴6上套有第一轴承9，所述第一轴承9外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件9，所述旋转驱动轴6上套有驱动齿轮2，所述驱动齿轮2与旋转驱动轴6之间设有第二套绝缘装置3，所述驱动齿轮2边缘处啮合有驱动马达1，所述旋转驱动轴6上套有偏压支架12，且位于驱动齿轮2的上方，所述偏压支架12与驱动齿轮2之间设有第三套绝缘装置11，所述偏压支架12上设有第二碳刷导电机构，所述第二碳刷导电机构上设有第二轴承15，所述旋转驱动轴6下表面安装有旋转板10，所述旋转板10上表面边缘处设有产品支架4，所述旋转板10上表面边缘处且靠近产品支架4处设有偏压板5，所述旋转板10上表面设有真空镀膜保护罩13；所述第一碳刷导电机构和第二碳刷导电机构均由碳刷14和弹簧16共同构成的；所述第二套绝缘装置3上设有旋转传感器17：该旋转传感器17用于感应；所述旋转板10下表面设有总固定板18：该总固定板18用于固定；所述驱动马达1公转速度0-20 r/min；所述偏压板5与产品支架4的距离为1-50mm；所述第一碳刷导电机构上设有偏压固定点19。
实施例：通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不在对电气控制做说明，本装置适用于真空镀膜设备设备包含磁控溅射（SPUTTER）,真空离子镀膜（VACUUM ARC）,化学气相沉积（CVD），真空离子束清洗设备（Ionbeam etching），纯离子真空镀膜设备（PIC），该装置包含产品支架装置和独立偏压装置两套独立装置，产品支架和独立偏压装置之间互相绝缘，产品支架和独立偏压装置必须和真空腔室绝缘，工作人员能触碰的范围，如真空腔室、外罩等必须接地，确保操作人员安全，产品支架装置、独立偏压装置可以独立施加偏压，偏压范围0-10KV范围内可调，产品和独立偏压装置之间互相距离可调，可调范围1-50mm，产品支架和独立偏压装置的偏压引入装置中，输入点固定或者公转，不能自转，且输入点基座为铜质或者不锈钢等易导电、耐高温，真空条件下不放气，产品支架和独立偏压装置的偏压传输包含轴承+齿轮的旋转装置，通过行星齿轮传动，要求产品在真空腔室内可以做2-4级的行星齿轮传动，产品支架和独立偏压装置的偏压传输包含弹簧、碳刷等导电装置，适用的数量2-10套之间，绝缘性能：产品和独立偏压装置分别和真空腔室绝缘，真空条件下能施加10KV高压，耐温性能：产品和独立偏压装置用聚醚醚酮(PEEK)、聚四氟乙烯（PTFE）和陶瓷等适用于高真空条件和高温条件的绝缘板或者绝缘衬套，把真空腔室隔离开来，能长时间工作在200度以上的环境，驱动装置公转速度0-20 r/min连续可调，自传速度0-100 r/min连续可调，每套独立偏压装置要求保护挡板，以提高绝缘材料的寿命和维护周期。
作为优选方案，更进一步的，所述第一碳刷导电机构和第二碳刷导电机构均由碳刷14和弹簧16共同构成的。
作为优选方案，更进一步的，所述第二套绝缘装置3上设有旋转传感器17：该旋转传感器17用于感应。
作为优选方案，更进一步的，所述旋转板10下表面设有总固定板18：该总固定板18用于固定。
作为优选方案，更进一步的，所述驱动马达1公转速度0-20 r/min。
作为优选方案，更进一步的，所述偏压板5与产品支架4的距离为1-50mm。
作为优选方案，更进一步的，所述第一碳刷导电机构上设有偏压固定点19。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴（6）,其特征在于，所述旋转驱动轴（6）上套有镀膜保护挡板（7），所述镀膜保护挡板（7）上安装有第一套绝缘装置（8），所述旋转驱动轴（6）上套有第一轴承（9），所述第一轴承（9）外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件（9），所述旋转驱动轴（6）上套有驱动齿轮（2），所述驱动齿轮（2）与旋转驱动轴（6）之间设有第二套绝缘装置（3），所述驱动齿轮（2）边缘处啮合有驱动马达（1），所述旋转驱动轴（6）上套有偏压支架（12），且位于驱动齿轮（2）的上方，所述偏压支架（12）与驱动齿轮（2）之间设有第三套绝缘装置（11），所述偏压支架（12）上设有第二碳刷导电机构，所述第二碳刷导电机构上设有第二轴承（15），所述旋转驱动轴（6）下表面安装有旋转板（10），所述旋转板（10）上表面边缘处设有产品支架（4），所述旋转板（10）上表面边缘处且靠近产品支架（4）处设有偏压板（5），所述旋转板（10）上表面设有真空镀膜保护罩（13）。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述第一碳刷导电机构和第二碳刷导电机构均由碳刷（14）和弹簧（16）共同构成的。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述第二套绝缘装置（3）上设有旋转传感器（17）：该旋转传感器（17）用于感应速率。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述旋转板（10）下表面设有总固定板（18）：该总固定板（18）用于固定。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述驱动马达（1）公转速度0-20 r/min。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述偏压板（5）与产品支架（4）的距离为1-50mm。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的产品装夹装置，其特征在于，所述第一碳刷导电机构上设有偏压固定点（19）。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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