CN207243979U - 真空镀膜设备主轴结构 - Google Patents
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Abstract
真空镀膜设备主轴结构，主轴安装传动轴承座，传动轴承座内安装滚子轴承，传动轴承座上设有冷却水嘴，冷却水嘴连接传动轴承座内的冷却水通道；主轴上位于传动轴承座上部安装定位座，定位座上部安装转盘座，转盘座顶部安装转盘；主轴上位于传动轴承座下部安装碳刷座，碳刷座上安装碳刷。本实用新型的真空镀膜设备主轴结构，采用高温双列圆锥滚子轴承再加上带水冷的传动轴承座焊接，使此机构的真空室内部可加热至500℃的高温时，主轴机构仍可以连续正常运转，并且此主轴机构可承重500Kg，实现高温、大载荷连续工作；整体结构简单、便于加工、制造；通用性好，使用安全、便于维护、成本较低的显著有益效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及真空镀膜设备。
背景技术
现有技术中，真空设备由于在镀膜过程中工件处于密闭的真空环境中，通过加热器加热到300－500℃不等，同时主轴上方转架载荷200Kg左右。镀膜产品工艺及性能质量要求较高，现有的真空镀膜设备的主轴机械结构复杂，安全、通用性差，直接影响了镀膜质量。
发明内容
为了现有真空镀膜设备主轴结构存在的上述问题，本实用新型提供了一种结构简单、安全、通用性好的真空镀膜设备主轴结构。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：真空镀膜设备主轴结构，主轴3安装传动轴承座25，传动轴承座25内安装滚子轴承24，传动轴承座25上设有冷却水嘴41，冷却水嘴41连接传动轴承座25内的冷却水通道42；主轴3上位于传动轴承座25上部安装定位座4，定位座4上部安装转盘座39，转盘座39顶部安装转盘38；主轴3上位于传动轴承座25下部安装碳刷座17，碳刷座17上安装碳刷16。
所述传动轴承座25下部与主轴3之间安装下骨架油封12，定位座4与主轴3之间安装上骨架油封27。
所述转盘38中部设有盖板1。
所述转盘座39下部连接罩形圆环件40，罩形圆环件与定位座4上的槽形环配合安装。
所述定位座4外侧安装用于与真空室壳体绝缘的绝缘套5和绝缘衬套7，碳刷座17、绝缘套5和绝缘衬套7为聚四氟绝缘材料。
所述主轴3圆周上设有4个主轴孔36，转盘座39上设有与4个主轴孔36配合加工的4个转盘座孔35，转盘座39上在主轴3上方设有孔37，内六角沉头螺钉30中心设有钻孔。
所述主轴3为中心通孔结构。
所述滚子轴承24为高温双列圆锥滚子轴承。
所述主轴3通过法兰连接圆环43，圆环43安装于真空室壳体上。
本实用新型的真空镀膜设备主轴结构，采用高温双列圆锥滚子轴承再加上带水冷的传动轴承座焊接，使此机构的真空室内部可加热至500℃的高温时，主轴机构仍可以连续正常运转，并且此主轴机构可承重500Kg，实现高温、大载荷连续工作；整体结构简单、便于加工、制造；通用性好，使用安全、便于维护、成本较低的显著有益效果。
附图说明
图1是本实用新型真空镀膜设备主轴主视剖面结构图。
图中：1、盖板，2、转盘焊接，3、主轴，4、定位座，5、绝缘套，6、O型密封圈，7、绝缘衬套，8、内六角圆柱头螺钉，9、垫片，10、平垫，11、内六角圆柱头螺钉，12、骨架油封，13、内六角圆柱头螺钉，14、内六角平端紧定螺钉，15、圆柱头弹簧，16、碳刷，17、碳刷座，18、内六角圆柱头螺钉，19、平垫，20、轴用弹性挡圈，21、压垫，22、压套，23、圆螺母，24、滚子轴承，25、传动轴座焊接，26、压紧套，27、骨架油封，28、隔套，29、压紧套，30、内六角沉头螺钉，31、密封压盖，32、平垫，33、弹垫，34、内六角圆柱头螺钉，35、转盘座孔，36、主轴孔，37、孔，38、转盘，39、转盘座，40、罩形圆环件，41、冷却水嘴，42、冷却水通道，43、圆环。
具体实施方式
本实用新型的真空镀膜设备主轴结构如图1所示，主轴3安装传动轴承座25，传动轴承座25内安装高温双列圆锥滚子轴承24，传动轴承座25上设有冷却水嘴41，冷却水嘴41连接传动轴承座25内的冷却水通道42；主轴3上位于传动轴承座25上部安装定位座4，定位座4外侧安装用于与真空室壳体绝缘的绝缘套5和绝缘衬套7，定位座4上部安装转盘座39，转盘座39顶部安装转盘38，转盘38中部设有盖板1，转盘座39下部连接罩形圆环件40，罩形圆环件与定位座4上的槽形环配合安装；传动轴承座25下部与主轴3之间安装下骨架油封12，定位座4与主轴3之间安装上骨架油封27；主轴3上位于传动轴承座25下部安装碳刷座17，碳刷座17上安装碳刷16。主轴3圆周上设有4个主轴孔36，转盘座39上设有与4个主轴孔36配合加工的4个转盘座孔35，转盘座39上在主轴3上方设有孔37，内六角沉头螺钉30中心设有钻孔。真空室壳体上焊接圆环43，同时通过法兰与主轴组装连接。
高温双列圆锥滚子轴承24再加上带水冷的传动轴承座焊接25，使此机构的真空室内部可加热至500℃的高温时，主轴机构仍可以连续正常运转；并且此主轴机构可承重500Kg，实现高温、大载荷连续工作。
该结构中的下骨架油封12、上骨架油封27实现了密封真空及防尘的作用，同时盖板1也防止了真空腔室内的膜片等杂质进入到主轴机构、转盘焊接2下方焊接的罩形圆环件与定位座4上的槽形环相配合，也有效的起到了防尘的作用，由此实现了保护油封及轴承安全可靠的工作环境，使主轴运行性能更加稳定、可靠、耐用。
该结构中的真空镀膜基片偏压由主轴上的碳刷16通过主轴引入到上方公转架上的基片，在此通过碳刷座17、绝缘套5、绝缘衬套7用聚四氟这种绝缘材料做好主轴与真空室壳体绝缘，保证工作及操作的安全性。
该结构中的主轴圆周上与转盘焊接2配合处加工有4对孔，及转盘焊接2在主轴3上方加工一孔，还有内六角沉头螺钉30中心钻孔，这些孔有效的防止了内部憋气现象，实现真空抽气效率高，真空度高的目的。
该结构中的其主轴3为带中心孔的轴，以减轻整体机构的重量的同时也可从中心孔中穿入其它机构，为日后产品升级做好前期准备工作，实现可再升级的目的，结构简单、安全、通用性好。
Claims (9)
1.真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：主轴（3）安装传动轴承座（25），传动轴承座（25）内安装滚子轴承（24），传动轴承座（25）上设有冷却水嘴（41），冷却水嘴（41）连接传动轴承座（25）内的冷却水通道（42）；主轴（3）上位于传动轴承座（25）上部安装定位座（4），定位座（4）上部安装转盘座（39），转盘座（39）顶部安装转盘（38）；主轴（3）上位于传动轴承座（25）下部安装碳刷座（17），碳刷座（17）上安装碳刷（16）。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：所述传动轴承座（25）下部与主轴（3）之间安装下骨架油封（12），定位座（4）与主轴（3）之间安装上骨架油封（27）。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：所述转盘（38）中部设有盖板（1）。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：所述转盘座（39）下部连接罩形圆环件（40），罩形圆环件与定位座（4）上的槽形环配合安装。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：所述定位座（4）外侧安装用于与真空室壳体绝缘的绝缘套（5）和绝缘衬套（7），碳刷座（17）、绝缘套（5）和绝缘衬套（7）为聚四氟绝缘材料。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：所述主轴（3）圆周上设有4个主轴孔（36），转盘座（39）上设有与4个主轴孔（36）配合加工的4个转盘座孔（35），转盘座（39）上在主轴（3）上方设有孔（37），内六角沉头螺钉（30）中心设有钻孔。
7.根据权利要求1所述的真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：所述主轴（3）为中心通孔结构。
8.根据权利要求1所述的真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：所述滚子轴承（24）为高温双列圆锥滚子轴承。
9.根据权利要求1所述的真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：所述主轴（3）通过法兰连接圆环（43），圆环（43）安装于真空室壳体上。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201720917711.4U CN207243979U (zh) | 2017-07-27 | 2017-07-27 | 真空镀膜设备主轴结构 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201720917711.4U CN207243979U (zh) | 2017-07-27 | 2017-07-27 | 真空镀膜设备主轴结构 |
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| CN207243979U true CN207243979U (zh) | 2018-04-17 |
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Family Applications (1)
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| CN201720917711.4U Active CN207243979U (zh) | 2017-07-27 | 2017-07-27 | 真空镀膜设备主轴结构 |
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| CN (1) | CN207243979U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110857466A (zh) * | 2018-08-24 | 2020-03-03 | 安徽纯源镀膜科技有限公司 | 一种真空镀膜设备的产品装夹装置 |
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2017
- 2017-07-27 CN CN201720917711.4U patent/CN207243979U/zh active Active
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