CN204249509U - 一种真空贴合机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空贴合机，包括相对设置的第一箱体和第三箱体，第一箱体和第三箱体接触后通过密封结构形成密封空腔，第一箱体底部固定第一基板，第二箱体在第三箱体内并具有上开口的第二空腔，密封上开口的第二密封膜，第二基板的贴合面与第一基板的贴合面相距一定距离正对设置，第二密封膜在第二箱体充气后产生弹性变形，推动第二基板与第一基板真空贴合。由于第一基板和第二基板均位于密封空腔内，密封空腔被抽真空后，贴合时无空气干扰，能够避免第一基板和第二基板之间出现气泡，从而提高产品质量，第二空腔容积小，用于抽真空的时间少，效率高。由于上下都是软膜，可以适应各种形状的基板，大大降低残次品率，避免开治具的费用。

Description

一种真空贴合机

技术领域

本实用新型涉及一种真空贴合机，属于真空贴合设备技术领域。

背景技术

随着智能手机和MID 等设备的普及，智能机的关键零部件电容屏的市场越来越广泛，市场对高品质电容屏的需求日益旺盛。电容屏全称电容式触摸屏，其是利用人体的电流感应进行工作的。电容式触摸屏是一块四层复合玻璃屏，玻璃屏的内表面和夹层各涂有一层ITO，最外层是一薄层矽土玻璃保护层，夹层ITO涂层作为工作面，四个角上引出四个电极，内层ITO为屏蔽层以保证良好的工作环境。 当手指触摸在金属层上时，由于人体电场，用户和触摸屏表面形成以一个耦合电容，对于高频电流来说，电容是直接导体，于是手指从接触点吸走一个很小的电流。这个电流分别从触摸屏的四角上的电极中流出，并且流经这四个电极的电流与手指到四角的距离成正比，控制器通过对这四个电流比例的精确计算，得出触摸点的位置。

在生产电容屏时，需要对电容屏的上述各个复合玻璃屏进行贴合，而如果贴合不当，在两个贴合的复合玻璃屏之间经常会出现气泡。现有技术中常见的贴合机有滚轮式贴合和压头式贴合，滚轮式贴合的缺点在于只能对小尺寸屏幕进行软对软或软对硬的贴合；压头式的缺点在于只能对小尺寸的硬对硬进行贴合，在贴合过程中很容易造成损坏，且不能保证较高的真空区，容易产生气泡。

综上所述，如何对电容屏类触摸产品无损伤、无气泡的贴合，现已成为困扰各生产厂家的关键性技术难题。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的在于克服现有技术中进行触摸产品的贴合生产时，两个贴合的复合玻璃屏之间经常出现气泡，且硬性贴合时容易造成产品损坏，以致触摸产品残次品率高的技术缺陷，从而提供一种能够降低成品残次品率的真空贴合机。

为此，本实用新型提供一种真空贴合机，包括与第一箱体相对设置的第二箱体和第三箱体，所述第二箱体位于所述第三箱体内部，所述第三箱体具有顶部开口，所述第一箱体和所述第三箱体接触后通过密封结构密封盖住所述顶部开口形成密封空腔，在所述密封空腔内，所述第一箱体底部能够可拆卸固定第一基板；所述第二箱体包括具有上开口的第二空腔，密封所述上开口的第二密封膜，所述第二密封膜用于支撑第二基板，并使得所述第二基板的贴合面与所述第一基板的贴合面相距一定距离正对设置；还包括分别为所述第二空腔和所述密封空腔充放气的第二通气结构和第三通气结构；

所述第二密封膜在所述第二箱体通过所述第二通气结构充气后产生弹性变形推动所述第二基板向上，并使所述第二基板的贴合面与所述第一基板的贴合面真空贴合。

所述第二密封膜被所述第二基板覆盖的部分开设有与所述第二空腔连通的第二通气孔。

所述第一箱体包括具有下开口的第一空腔和密封所述下开口的第一密封膜，所述第一密封膜能够可拆卸固定所述第一基板。

所述第一密封膜具有适于粘接固定所述第一基板的粘接结构。

所述第一箱体还包括为所述第一空腔充放气的第一通气结构。

所述第一密封膜被所述第一基板覆盖的部分开设有与所述第一空腔连通的第一通气孔。

还包括覆盖所述上开口和/或所述下开口的支撑板，所述支撑板具有透孔，所述第一密封膜和/或所述第二密封膜固定在所述支撑板外部，并覆盖密封所述透孔。

所述第一密封膜和/或所述第二密封膜为硅胶皮，氟胶或TPU中的任意一种。

所述第一密封膜和/或所述第二密封膜的厚度均为0.2-2mm。

所述第一通气结构包括设置在所述第一箱体上与所述第一空腔连通的第一气嘴，所述第二通气结构包括设置在所述第二箱体上与所述第二空腔连通的第二气嘴，所述第三通气结构包括设置在所述第一箱体或所述第三箱体上的与所述密封空腔连通的第三气嘴，所述第一气嘴、所述第二气嘴和所述第三气嘴均适于与外界真空泵或空压机连接。

所述密封结构包括环绕所述上开口设在所述第一箱体底部和/或所述第三箱体顶部的密封槽，以及位于所述密封槽内的密封圈。

所述第一箱体和所述第三箱体通过动作机构实现接触或分离。

所述动作机构包括设在所述第一箱体上部的第一驱动件，所述第一驱动件具有与所述第一箱体连接且能沿竖直方向推拉所述第一箱体的第一输出轴。

所述第一箱体和所述第三箱体通过铰接结构铰接连接。

还包括用于调整所述第一密封膜和所述第二密封膜之间相对距离大小的第一调节件。

所述第一调节件包括从所述第三箱体底部密封穿过、且能够沿竖直方向上下伸缩的第二输出轴，位于所述第三箱体内部、用于连接所述第二输出轴和所述第二箱体的支撑件，所述支撑件具有从所述第二箱体底部托住所述第二箱体的平面；所述第二输出轴带动所述支撑件上下伸缩时，所述支撑件托住所述第二箱体沿竖直方向上下移动，从而调整所述第二密封膜与所述第一密封膜之间的距离大小。

还包括用于引导所述支撑件沿竖直方向移动的导向件。

所述导向件包括竖直固定设在所述第三箱体内部底面上的至少3个不在同一条直线上分布的导向柱，和设在所述支撑件上的导向孔，所述导向柱插入所述导向孔并与所述导向孔间隙配合。

所述导向件包括竖直固定设在所述第三箱体内部底面上的至少3个不在同一条直线分布上的导向柱，设在所述支撑件上的导向孔，以及导向连接件，所述导向连接件具有穿过所述导向孔、并可沿所述导向柱轴向来回移动的分别套设在所述导向柱上的导向部和与所述支撑件固定连接的连接部。

本实用新型的一种真空贴合机具有以下优点：

1.本实用新型的一种真空贴合机，通过在相对设置的第一箱体和第三箱体中间形成密封空腔，将第二箱体设于第三箱体内，并将第一基板可拆卸固定在第一箱体底部，第二基板设在第二箱体的第二密封膜上部，使第一基板和第二基板的贴合面相距一定距离正对设置；将密封空腔抽真空后，向第二空腔内充气，第二密封膜在密封空腔和第二空腔之间压力差的驱动下，向上弹性变形，推动第二基板向上移动，并最终使第二基板的贴合面与第一基板的贴合面真空贴合。由于第一基板和第二基板均位于密封空腔内，密封空腔被抽真空后，绝大部分空气被抽出，第一基板和第二基板贴合时无空气干扰，因而能够避免两个贴合的第一基板和第二基板之间出现气泡，从而提高产品质量，降低残次品率；并且，在贴合过程中，借助于第二密封膜的微变形带动第二基板向上运行与第一基板贴合，实现了软性贴合，相对于现有技术中硬对硬贴合的设置方式来说，软性贴合使得贴合无死角，并且不会造成第一基板和第二基板的损坏，进一步降低了残次品率；另外，将第一基板可拆卸固定在第一箱体底部，将第二基板对应设在第二密封膜上部，有利于固定住第一基板和第二基板的相对位置，避免压迫贴合时第一基板和第二基板发生相对位移，从而能够防止贴偏。由于上下都是软膜，可以适应各种形状不同的基板，大大降低残次品率，减少开治具的费用。

2.本实用新型的真空贴合机，在第二密封膜被第二基板覆盖的部分开设有与第二空腔连通的第二通气孔，当第一基板和第二基板贴合完毕后，通过对第二空腔进行抽真空，可将贴合完毕的第一基板和第二基板通过第二通气孔真空吸附在第二密封膜上，从而方便自动化生产。

3.本实用新型的真空贴合机，设置第一箱体包括具有下开口的第一空腔和密封下开口的第一密封膜，第一密封膜能够可拆卸固定第一基板，第一密封膜和第二密封膜均为有弹性的膜，当3个密封空间同时被抽真空后，单独向第二空腔充入空气，第二密封膜向中间弹性变形，使得第一基板和第二基板贴合，能够实现第一基板和第二基板的纯粹贴合，贴合力度大，效果均匀。由于第一空腔和第二空腔以密封空腔的容积都比较小，因此用于抽真空的时间非常少，所以效率非常高。

4.本实用新型的真空贴合机，设置第一密封膜具有适于粘接固定第一基板的粘接结构，当第一基板重量较轻时，可以直接将第一基板粘附固定在第一密封膜上，方便快捷，效率更高。

5.本实用新型的真空贴合机，在第一箱体上设有为第一空腔充放气的第一通气结构，设置第一通气结构的好处在于：1）在进行第一基板和第二基板的真空贴合时，对3个密封空间同时抽真空后，可以向第一空腔和第二空腔同时充入空气，使第一密封膜和第二密封膜同时向中间弹性变形，将第一基板和第二基板贴合，从而能够实现第一基板和第二基板的纯粹贴合，贴合力度大，效果均匀；2）贴合完毕后，第一基板和第二基板容易粘附在第一密封膜上，此时通过第一通气结构向第一空腔充气，可使第一密封膜外鼓，从而可以很方便的将贴合后的第一基板和第二基板从第一密封膜上取下。

6.本实用新型的真空贴合机，在第一密封膜被第一基板覆盖的部分开设有与第一空腔连通的第一通气孔，设置第一通气孔的好处在于：1）当第一基板重量较大，简单通过粘附已经不能稳定的固定住第一基板时，将第一基板覆盖第一通气孔设置，并对第一空腔通过第一通气结构进行抽真空，密封空腔与第一空腔之间的压力差和粘附力一起将第一基板牢牢固定第一密封膜上，从而实现第一基板的牢固固定；2）当第一基板和第二基板真空贴合后，容易被粘附在第一密封膜上，不方便取出，设置第一通气孔后，在第一基板和第二基板贴合连接后，即对第一空腔充气，从而可以方便的将真空贴合后的第一基板和第二基板留在第二密封膜上，从而方便取出，同时也方便自动化生产。

7.本实用新型的真空贴合机，还包括覆盖上开口或下开口的支撑板，支撑板上设有透孔，设置支撑板的好处在于支撑住第一密封膜和/或第二密封膜，方便第一基板和/或第二基板的固定，同时也方便第一密封膜和/或第二密封膜的固定，还能避免在固定第一密封膜和第二密封膜时的拉扯作用，有利于延长密封膜的使用寿命。

8.本实用新型的真空贴合机，设置第一密封膜和/或第二密封膜均为硅胶皮或氟胶或TPU中的任意一种，不但能够实现对于第一基板和第二基板的良好支撑，满足密封和弹性的需要，还能够辅助粘附固定基板，使得固定基板更加容易和快速。

9.本实用新型的真空贴合机，设置密封结构包括环绕上开口设在第一箱体底部和/或第三箱体顶部的密封槽，以及设在密封槽内的密封圈。在实际使用中，第一箱体和第三箱体频繁接触造成磨损，可能会影响两者的密封性，通过上述密封圈的设置，可以弥补第一箱体和第三箱体因为磨损而造成的密封性能下降的技术问题，保证真空度，避免贴合过程中产生气泡。

10.本实用新型的真空贴合机，还设有辅助第一箱体与第三箱体接触或分离的动作机构，其包括设在第一箱体上部的第一驱动件，第一驱动件具有与第一箱体连接且能沿竖直方向推拉第一箱体的第一输出轴，向上拉动第一箱体时，第一箱体和第三箱体分离，此时密封空腔消失，便于分别放置第一基板和第二基板，或者获取已经贴合到一起的第一基板和第二基板；向下推动第一箱体时，第一箱体和第三箱体接触密封，此时形成密封空腔，通过对密封空腔抽真空和对第二空腔充气使第一基板与第二基板真空贴合。

11.本实用新型的真空贴合机，还可以设置第一箱体和第三箱体铰接连接，这种连接方式更加方便易用，而且体积更小，通过与固定结构的配合，同样能够形成密封空腔，实现发明目的。

12.本实用新型的真空贴合机，还包括用于调整第一密封膜和第二密封膜之间相对距离大小的第一调节件。设置第一调节件后可方便调节第一密封膜和第二密封膜之间的空间大小，适用于不同厚度的第一基板或第二基板，从而能够增加本实用新型真空贴合机的应用范围。

13.本实用新型的真空贴合机，设置第一调节件的第二输出轴从第三箱体底部密封穿过，使得第一调节件的部分可以设置在第三箱体外部，有利于缩小第三箱体空间，减少对密封空腔抽真空的时间，而且将第一调节件的部分设在第三箱体外部，方便整修和调整；在第三箱体内部设置用于连接第二输出轴和第二箱体的支撑件，能够托住整个第二箱体上下移动，可避免造成第二密封膜的偏斜。

14.本实用新型的真空贴合机，还包括引导支撑件沿竖直方向移动的引导件，设置引导件包括固定设在第三箱体内部底面上的3个不在同一条直线上分布的导向柱，和设在支撑件上的导向孔，所述导向柱插入所述导向孔并与所述导向孔间隙配合；可以更好的保证支撑件托住第二箱体沿竖直方向移动，而避免造成第二密封膜的偏斜；还可以增设导向连接件，同样可以实现导向目的，而且还能够避免支撑件的磨损。

附图说明

图1是实施例1中真空贴合机的第一箱体和第三箱体连接后的结构示意图。

图2是实施例1中真空贴合机增加了动作机构后的立体结构示意图。

图3是图2的主视图。

图4是第二箱体、第三箱体和第一调节件连接后的立体结构示意图。

图5是图4中第三箱体、支撑件和导向连接件的爆炸结构示意图。

图6是实施例2中真空贴合机的第一箱体和第三箱体连接后的结构示意图。

图7是图6的另一立体视图。

图8是真空贴合机的第一箱体和第二箱体完全展开后的连接结构示意图。

图中附图标记表示为：1-第一箱体，10-第一空腔，11-第一密封膜，12-第一气嘴，2-第二箱体，20-第二空腔，21-第二密封膜，22-第二气嘴，3-第三箱体，30-密封空腔，32-第三气嘴，4-密封槽，5-密封圈，6-第一驱动件，7-第一调节件，71-第二输出轴，72-支撑件，73-导向件，8-支撑板，81-透孔，91-导向柱，92-导向孔，93-导向连接件，931-导向部，932-连接部，94-A通孔，95-A螺纹孔，96-B通孔，97-B螺纹孔。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型提供的一种真空贴合机做进一步的详细说明。

实施例1

本实施例提供一种真空贴合机，如图1-3所示，为立式真空贴合机，包括上下相对设置的第一箱体1和第三箱体3，第二箱体2位于第三箱体3内部，第三箱体3具有顶部开口，第一箱体1和第三箱体3上下接触后通过密封结构密封盖住顶部开口形成密封空腔30，在密封空腔30内，第一箱体1的底部可拆卸固定第一基板（图中未示出,在本实施例中，第一基板为玻璃板）；第二箱体2包括具有上开口的第二空腔20，密封上开口的第二密封膜21，第二密封膜21用于支撑第二基板（图中未示出，在本实施例中，第二基板为液晶屏），并使得第二基板的贴合面与第一基板的贴合面相距一定距离正对设置，还包括分别为第二空腔20和密封空腔30充放气的第二通气结构和第三通气结构；上述第二密封膜21在第二箱体2通过所述第二通气结构充气后产生弹性变形推动第二基板向上移动，并使第二基板的贴合面与第一基板的贴合面真空贴合。

第一箱体1包括具有下开口的第一空腔10，密封下开口的第一密封膜11，第一密封膜11适于粘接固定第一基板。上述第一空腔10的设置方式具体为：第一箱体1的内部具有朝向中轴线位置突出设置的环形凸缘，第一密封膜11和环形凸缘贴合设置，并与第一箱体1的顶壁和侧壁共同形成第一空腔10。第一密封膜可以直接密封盖在第一空腔10的下开口处，也可以在下开口处设置具有透孔的支撑板，将第一密封膜固定在支撑板外部，并覆盖密封住上述透孔设置。

在本实施例中，选用硅胶皮作为第一密封膜11和第二密封膜12，仅是作为具体说明，不应当理解为对本实施例实现方式的限定。第一密封膜11和第二密封膜12还可以是氟胶、TPU 等弹性材料，均可实现发明目的。

上述第一密封膜11和第二密封膜21的厚度均为1mm，作为第一密封膜11和第二密封膜21厚度的可变形方式，第一密封膜11或所述第二密封膜21的厚度均可以在0.2mm-2mm范围内变化，例如0.5mm、0.8mm、1mm、1.5mm、2mm等等。

第二通气结构是指设在第二箱体2上与第二空腔20连通的第二气嘴22，第三通气结构是指设在第三箱体3上与密封空腔30连通的第三气嘴32，第二气嘴22和第三气嘴32均适于与外界真空泵或空压机连接。

作为第三气嘴32设置位置的一种变形，上述第三气嘴32还可以设在第一箱体1上，同样可以实现上述功能。

如图4所示，上述密封结构包括环绕所述上开口设在所述第三箱体3顶部的密封槽4，以及位于密封槽4内的密封圈5。

作为密封结构设置位置的一种变形，本领域技术人员还可以将上述密封槽4设在第一箱体1底部，或者在第一箱体1底部和第三箱体3顶部同时设置位置相对的密封槽4，均可实现发明目的，但是在第三箱体3顶部设置密封槽4的效果最好。

作为密封结构本身的一种变形，可以采用密封垫片或者密封囊替代密封圈5。

作为密封结构的进一步改进，密封槽4和密封圈5可以设置多道，从而使得密封效果更好。

如图2-3所示，上述第一箱体1和第三箱体3通过动作机构接触或分离。动作机构包括设在第一箱体1上部的第一驱动件6，第一驱动件6具有与第一箱体1连接且能沿竖直方向推拉第一箱体1的第一输出轴。

在本实施例中，如图2所示，第一驱动件6通过四个立柱与第一箱体1连接，从而稳定驱动第一箱体1整体上下移动，避免发生偏移，从而能够提高移动精准度。

上述第一驱动件6为气缸，本领域技术人员还可以采取其他现有技术手段实现同样的功能，例如液压驱动、连杆驱动、或者滚珠丝杠的驱动方式。

作为对本实施例的一种改进，如图3和图4所示，还包括用于调整第一密封膜11和第二密封膜21之间相对距离大小的第一调节件7。第一调节件7包括从第三箱体3底部密封穿过、且能够沿竖直方向上下伸缩的第二输出轴71，用于驱动第二输出轴71上下伸缩的气缸，位于第三箱体3内部、用于连接第二输出轴71和第二箱体2的支撑件72，支撑件72具有从第二箱体2底部托住第二箱体2的平面；气缸通过第二输出轴71带动支撑件72上下伸缩时，支撑件72托住第二箱体2沿竖直方向上下移动，从而调整第二密封膜21与第一密封膜11之间的距离大小。

作为对本实施例的进一步改进，如图4所示，还包括用于引导支撑件72沿竖直方向移动的导向件73。

如图5所示，所述导向件73包括竖直固定设在所述第三箱体3内部底面上的4个成方形分布的导向柱91，和设在所述支撑件72上的导向孔92，所述导向柱91插入所述导向孔92并与所述导向孔92间隙配合。

作为对导向件73的一种变形，导向件73还可以设置为包括竖直固定设在所述第三箱体3内部底面上的4个成方形分布导向柱91，设在所述支撑件72上的导向孔92，以及导向连接件93，所述导向连接件93具有穿过所述导向孔92、并可沿所述导向柱91轴向来回移动的分别套设在所述导向柱91上的导向部931和与所述支撑件72固定连接的连接部932。

具体的，可设置上述导向部931为筒状柱体，上述连接部932为固定套设在筒状柱体外部，且开设有A通孔94或A螺纹孔95的方形板。导向连接件93一般为铜或钢材质，在装配前进行研磨，可以增加导向精度。

在这两种设置方式中，导向柱91的数目还可以设置为3个或更多，但需保证至少有3个导向柱91不是在同一条直线上分布。

所述连接部932与所述支撑件72通过螺栓组件连接，所述连接部932上设有A通孔94，所述支撑件72上设有与所述A通孔94相对的B通孔96，通过使用螺栓依次穿过所述A通孔94和所述B通孔96，并使用螺帽与所述螺栓螺纹配合连接，从而将所述连接部932和所述支撑件72固定连接。

所述连接部932与所述支撑件72还可以通过螺栓连接，所述连接部931上设有A通孔94，所述支撑件72上设有与所述A通孔94相对的B螺纹孔97，通过使用螺栓穿过所述A通孔94与所述B螺纹孔97螺纹配合连接，从而将所述连接部931和所述支撑件72固定连接。还可以在所述连接部932上设置A螺纹孔95，所述支撑件72上设有与所述A螺纹孔95相对的B通孔96，通过使用螺栓穿过所述B通孔96与所述A螺纹孔95螺纹配合连接，从而将所述连接部932和所述支撑件72固定连接。

第一调节件7作用是调整第一基板贴合面与第二基板贴合面之间的间隙，也可以通过增加或减少垫片或固定上述间隙而取消第一调节件7。

使用本实施例的真空贴合机真空贴合第一基板和第二基板的过程如下：

首先，将第一基板粘接固定在第一密封膜11上；将第二基板放置在第二密封膜22的与所述第一基板正对应的部分上；

然后，通过使用第一驱动件6，将第一箱体1和第三箱体3接触连接，并在密封结构的密封作用下形成密封空腔30，使得第一基板和第二基板位于密封空腔30内，并且相距一定距离；

接着，在第三气嘴32和第二气嘴22处使用外界真空泵对密封空腔30和第二空腔20同时抽真空，当抽真空完成后，从第二气嘴22位置向第二空腔20输气，第二密封膜21在气压差的作用下向上推动第二基板向第一基板靠近，并最终使得第一基板的贴合面与第二基板的贴合面真空贴合；

最后，打开第三气嘴32向密封空腔30输气，使用第一驱动件6向上方拉动第一箱体1，将贴合完毕的第一基板和第二基板取出。

为保证好的贴合效果，当使用第三气嘴32和第二气嘴22使用外界真空泵对密封空腔30和第二空腔20同时抽真空时，需保证粘接连接有第一基板的第一密封膜11不过分向外鼓出，具体可采用将第一空腔10设置为真空腔或取消第一空腔10，而只是把对密封膜固定在第一箱体1底部的方式实现。

当第一基板和第二基板的厚度较大时，还可以使用第一调节件7调整第二箱体2相对第一箱体1的距离，从而增加本实施例真空贴合机的应用范围，能够适用于厚度较大的第一基板和第二基板之间的贴合。

实施例2

本实施例提供一种真空贴合机，其是在实施例1基础上的改进，区别在于：如图1和图3所示，第一箱体1还包括为第一空腔10充放气的第一通气结构。

上述第一通气结构是指设在第一箱体1上与第一空腔10连通的第一气嘴12，且第一气嘴12适于与外界真空泵或空压机连接。

本实施例中第一空腔10具体设置方式为：在所述第一箱体1的内部朝向中轴线方向设置环形压板，用来压住硅胶四周并起密封作用，第一密封膜11和第一箱体底面贴合设置，并与第一箱体1的内腔共同形成第一空腔10；或者将第一密封膜11通过胶粘的方式直接粘贴在第一箱体1的底面上，而省略所述环形压板，直接使用与第一气嘴12连通的穿孔作为第一空腔。

上述通孔均匀分布在第一密封膜11的用于吸附固定第一基板的部分上，通孔的密度或大小可以根据第一密封膜11的厚度、第一空腔10内的负压情况以及第一基板的重量来确定。

固定第一基板的方式为：直接将第一基板粘附固定在第一密封膜11。

使用本实施例的真空贴合机真空贴合第一基板和第二基板的过程如下：

首先，将第一基板粘附固定在第一密封膜11上；

然后，通过使用第一驱动件6，将第一箱体1和第三箱体3接触连接，并在密封结构的密封作用下形成密封空腔30，使得第一基板和第二基板均位于密封空腔30内，并且相对一定距离正对设置；

接着，从第一气嘴12、第二气嘴22和第三气嘴32处使用外界空压机对第一空腔10、第二空腔20和密封空腔30同时抽真空，抽真空完成后，从第二气嘴22位置向第二空腔20输气，第二密封膜21在气压差的作用下向上推动第二基板向第一基板靠近，并最终使得第一基板的贴合面与第二基板的贴合面真空贴合；或者也可以从第一气嘴12位置向第一空腔10输气，第一密封膜11在气压差的作用下向下推动第一基板向第二基板靠近；或者还可以从第一气嘴12和第二气嘴22位置同时向第一空腔10和第二空腔20输气，使第一基板和第二基板同时向中间靠近，并最终使第一基板的贴合面与第二基板的贴合面真空贴合；

最后，打开第一气嘴12和第三气嘴32，向第一空腔10和密封空腔30输气，通过第一驱动件6向上方拉动第一箱体1，将贴合完毕的第一基板和第二基板取出；当贴合完毕的第一基板和第二基板被粘附在第一密封膜11上时，也可以通过第一气嘴12向第一空腔10输气，使第一密封膜11向外鼓出，从而可以方便的将贴合后的第一基板和第二基板取出。

作为对本实施例的一种改进，还可以在第一密封膜11上设置与第一空腔10连通的第一通气孔；设置第一通气孔后，当固定第一基板时，需将第一基板覆盖住第一通气孔设置，通过对第一空腔10抽真空，将第一基板牢固固定在第一密封膜11上；而且当第一基板和第二基板贴合完毕后，第一基板仍被粘附在第一密封膜11上时，可以对第一空腔10输气，使第一密封膜11向外鼓出，从而方便从第一密封膜11上分离取下第一基板，并进一步方便取出贴合后的第一基板和第二基板。

在第一密封膜11上设有第一通气孔的情况下，操作贴合第一基板和第二基板时，需单独对第二空腔20输气，使第二密封膜21向上弹性变形，推动第二基板向第一基板靠近，实现第一基板和第二基板的贴合固定。或者在保证第一基板能够稳定固定在第一密封膜11上的情况下，对第一空腔10进行输气或者对第一空腔10和第二空腔20同时进行输气，实现第一基板贴合面和第二基板贴合面的贴合连接。

作为对本实施例的进一步改进，还可以在第二密封膜21被第二基板覆盖的部分开设有与第二空腔20连通的第二通气孔；设置第二通气孔后，在保证第二基板能够稳定固定在第二密封膜21上的情况下，对第二空腔20进行输气、或者对第一空腔10进行输气、或者对第一空腔10和第二空腔20同时进行输气，实现第一基板贴合面和第二基板贴合面的贴合连接。当第一基板和第二基板贴合完毕后，对第二空腔20抽真空，第二基板首先被吸附固定在第二密封膜21上，在对第二空腔20持续抽真空的过程中，第二密封膜21会向着远离第一密封膜11的方向变形，将贴合完毕的第一基板和第二基板拉离所述第一密封膜11，从而将贴合后的第一基板和第二基板吸附固定在第二密封膜21上，再对第二空腔20进行充气，即可方便将贴合后的第一基板和第二基板取出。

实施例3

本实施例提供一种真空贴合机，其为合页形式的真空贴合机，如图6-8所示，其与实施例1或2的不同之处在于，第一箱体1和第三箱体3的连接方式，在本实施例中，第一箱体1和第三箱体3通过铰接结构铰接连接，铰接结构在本实施例中具体为合页。

本实施例中驱动第一箱体1朝向第三箱体3转动的驱动力可以是人手，也可以是气缸、连杆等机械驱动。

在第三箱体3下部设有用于调整第二密封膜21高度的第一调节件7。在本实施例中，第一调节件7的结构与实施例1中相同，区别在于没有设置用于驱动第二输出轴71上下伸缩的气缸，需要手动推动第二输出轴上下伸缩移动，从而调整第三箱体3相对第一箱体1之间的距离大小。当然也可以直接设置第一密封膜11和第二密封膜21之间的距离为固定值，不另外设置上述第一调节件7。

使用本实施例的真空贴合机贴合第一基板和第二基板的过程如下：

首先，将第一基板放置在第一密封膜11的开设有通气孔的部分，然后从第一气嘴12位置对第一空腔10抽真空，第一基板牢牢固定在第一密封膜11上；将第二基板放置在第二密封膜22上；

然后，翻动第一箱体1相对合页转动，使得第一箱体1扣合在第三箱体3上；在密封结构的密封作用下形成密封空腔30；

接着，从第三气嘴32和第二气嘴位置对密封空腔30和第二空腔20抽真空，然后从第二气嘴22位置向第二空腔20输气，第二密封膜21在气压差的作用下向上推动第二基板向第一基板靠近，并最终使得第一基板的贴合面与第二基板的贴合面真空贴合；

最后，打开第三气嘴32，通过向反方向翻动第一箱体1相对合页转动，使第一箱体1与第二箱体2分离，将贴合完毕的第一基板和第二基板取出。

当然，上述第一密封膜11固定第一基板的方式也可以是单纯使用粘接，不设置通孔和第一气嘴12。

显然，上述实施例仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (17)

1.一种真空贴合机，其特征在于：包括与第一箱体（1）相对设置的第二箱体（2）和第三箱体（3），所述第二箱体（2）位于所述第三箱体（3）内部，所述第三箱体（3）具有顶部开口，所述第一箱体（1）和所述第三箱体（3）接触后通过密封结构密封盖住所述顶部开口形成密封空腔（30），在所述密封空腔（30）内，所述第一箱体（1）底部能够可拆卸固定第一基板；所述第二箱体（2）包括具有上开口的第二空腔（20），密封所述上开口的第二密封膜（21），所述第二密封膜（21）用于支撑第二基板，并使得所述第二基板的贴合面与所述第一基板的贴合面相距一定距离正对设置；还包括分别为所述第二空腔（20）和所述密封空腔（30）充放气的第二通气结构和第三通气结构；

所述第二密封膜（21）在所述第二箱体（2）通过所述第二通气结构充气后产生弹性变形推动所述第二基板向上，并使所述第二基板的贴合面与所述第一基板的贴合面真空贴合。

2.根据权利要求1所述的真空贴合机，其特征在于：所述第二密封膜（21）被所述第二基板覆盖的部分开设有与所述第二空腔（20）连通的第二通气孔。

3.根据权利要求1或2所述的真空贴合机，其特征在于：所述第一箱体（1）包括具有下开口的第一空腔（10）和密封所述下开口的第一密封膜（11），所述第一密封膜（11）能够可拆卸固定所述第一基板。

4.根据权利要求3所述的真空贴合机，其特征在于：所述第一密封膜（11）具有适于粘接固定所述第一基板的粘接结构。

5.根据权利要求4所述的真空贴合机，其特征在于：所述第一箱体（1）还包括为所述第一空腔（10）充放气的第一通气结构。

6.根据权利要求5所述的真空贴合机，其特征在于：所述第一密封膜（11）被所述第一基板覆盖的部分开设有与所述第一空腔（10）连通的第一通气孔。

7.根据权利要求5或6所述的真空贴合机，其特征在于：还包括覆盖所述上开口和/或所述下开口的支撑板（8），所述支撑板（8）具有透孔（81），所述第一密封膜（11）和/或所述第二密封膜（21）固定在所述支撑板（8）外部，并覆盖密封所述透孔（81）。

8.根据权利要求7所述的真空贴合机，其特征在于：所述第一密封膜（11）和/或所述第二密封膜（12）为硅胶皮，氟胶或TPU中的任意一种。

9.根据权利要求8所述的真空贴合机，其特征在于：所述第一密封膜（11）和/或所述第二密封膜（21）的厚度均为0.2-2mm。

10.根据权利要求7所述的真空贴合机，其特征在于：所述第一通气结构包括设置在所述第一箱体（1）上与所述第一空腔（10）连通的第一气嘴（12），所述第二通气结构包括设置在所述第二箱体（2）上与所述第二空腔（20）连通的第二气嘴（22），所述第三通气结构包括设置在所述第一箱体（1）或所述第三箱体（3）上的与所述密封空腔（30）连通的第三气嘴（32），所述第一气嘴（12）、所述第二气嘴（22）和所述第三气嘴（32）均适于与外界真空泵或空压机连接。

11.根据权利要求1所述的真空贴合机，其特征在于：所述密封结构包括环绕所述上开口设在所述第一箱体（1）底部和/或所述第三箱体（3）顶部的密封槽（4），以及位于所述密封槽（4）内的密封圈（5）。

12.根据权利要求7所述的真空贴合机，其特征在于：所述第一箱体（1）和所述第三箱体（3）通过动作机构实现接触或分离。

13.根据权利要求12所述的真空贴合机，其特征在于：所述动作机构包括设在所述第一箱体（1）上部的第一驱动件（6），所述第一驱动件（6）具有与所述第一箱体（1）连接且能沿竖直方向推拉所述第一箱体（1）的第一输出轴。

14.根据权利要求12所述的真空贴合机，其特征在于：所述第一箱体（1）和所述第三箱体（3）通过铰接结构铰接连接。

15.根据权利要求7所述的真空贴合机，其特征在于：还包括用于调整所述第一密封膜（11）和所述第二密封膜（21）之间相对距离大小的第一调节件（7）。

16.根据权利要求15所述的真空贴合机，其特征在于：所述第一调节件（7）包括从所述第三箱体（3）底部密封穿过、且能够沿竖直方向上下伸缩的第二输出轴（71），位于所述第三箱体（3）内部、用于连接所述第二输出轴（71）和所述第二箱体（2）的支撑件（72），所述支撑件（72）具有从所述第二箱体（2）底部托住所述第二箱体（2）的平面；所述第二输出轴（71）带动所述支撑件（72）上下伸缩时，所述支撑件（72）托住所述第二箱体（2）沿竖直方向上下移动，从而调整所述第二密封膜（21）与所述第一密封膜（11）之间的距离大小。

17.根据权利要求15或16所述的真空贴合机，其特征在于：还包括用于引导所述支撑件（72）沿竖直方向移动的导向件（73）。