CN203976974U - 一种籽晶夹持杆 - Google Patents
一种籽晶夹持杆 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203976974U CN203976974U CN201420286448.XU CN201420286448U CN203976974U CN 203976974 U CN203976974 U CN 203976974U CN 201420286448 U CN201420286448 U CN 201420286448U CN 203976974 U CN203976974 U CN 203976974U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- seed crystal
- supporting rod
- crystal supporting
- cooling water
- seed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种籽晶夹持杆，属于熔体籽晶法单晶生长设备技术领域。主要包括籽晶夹持杆、籽晶夹头、冷却水管道，其特征在于：冷却水道与籽晶夹持杆同轴，冷却水管道套在籽晶夹持杆外，冷却水管道内壁与籽晶夹持杆表面有一个空隙，冷却管道及冷却水不与籽晶夹持杆接触。本实用新型避免了冷却水进、出的动能对称重的影响，便于晶体结晶的过程控制。
Description
技术领域
本实用新型涉及熔体籽晶法单晶生长设备技术领域，尤其涉及一种蓝宝石长晶炉的籽晶夹持杆。
背景技术
参见图1，图1为目前国内外的蓝宝石长晶炉的一般籽晶夹持杆：籽晶夹持杆1的上部是中空的两层结构，中空结构是冷却水管道，冷却水2在籽晶夹持杆上部中的冷却水管道可进、出循环，实现对籽晶夹持杆的冷却。籽晶夹持杆有三个功用，一是通过在籽晶夹持杆底部的籽晶夹头3实现对籽晶4的夹持和支撑，二是籽晶夹持杆顶部与称重传感器7相连实现称重，三是在结晶过程中通过籽晶夹持杆提拉晶体5。现有的籽晶夹持杆有以下问题：由于冷却水进、出管道，有一定的动能，而导致所称重量波动、称重不准确，不便于晶体结晶的过程控制。
发明内容
本实用新型的目的在于为了解决上述现有技术的不足，提供一种改进的籽晶夹持杆，使冷却水的动能不影响称重，便于晶体结晶的过程控制。
本实用新型采用的技术方案是：一种籽晶夹持杆，主要包括籽晶夹持杆、籽晶夹头、冷却水管道，其特征在于：冷却水道与籽晶夹持杆同轴，冷却水管道套在籽晶夹持杆外，冷却水管道内壁与籽晶夹持杆表面有一个空隙，冷却管道及冷却水不与籽晶夹持杆接触。
作为本实用新型的优选技术方案，所述的籽晶夹持杆和籽晶夹头，其特征在于：籽晶夹头在籽晶夹持杆底部，籽晶夹头下部可夹持籽晶，籽晶夹持杆顶部与称重传感器相连。
作为本实用新型的优选技术方案，所述的籽晶夹持杆和籽晶夹头，其特征在于：籽晶夹持杆所用材料为有一定抗腐蚀性的金属材料，如不锈钢；籽晶夹头所用材料为耐高温的钨或钼。
作为本实用新型的优选技术方案，所述的冷却水管道，其特征在于：管道为中空、三层结构，冷却水在管道内可进、出形成循环。
作为本实用新型的优选技术方案，所述的冷却水管道，其特征在于：管道所用材料为有一定抗腐蚀性的金属材料，如不锈钢。
与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：冷却水管道套在籽晶夹持杆外，冷却水管道内壁与籽晶夹持杆表面有一个空隙，冷却管道及冷却水不与籽晶夹持杆接触，因此冷却水进、出时的动能不会影响称重，便于晶体结晶的过程控制。
附图说明
图1为现有的籽晶夹持杆结构示意图。图1标记说明：1、籽晶夹持杆，2、冷却水，3、籽晶夹头，4、籽晶，5、晶体，6、熔体，7、称重传感器。
图2为本实用新型的一种实施例的结构示意图。图2标记说明：1、冷却水管道，2、冷却水，3、籽晶夹持杆，4、籽晶夹头，5、籽晶，6、晶体，7、熔体，8、称重传感器。
具体实施方式
下面结合图2和实施例对本实用新型进一步说明。
参照图2，籽晶夹持杆3顶部与称重传感器8相连，籽晶夹持杆3底部有籽晶夹头4，籽晶夹头4下面是籽晶5、晶体6、熔体7，冷却水管道1与籽晶夹持杆3同轴，冷却水管道1为中空的三层结构，三层结构使冷却水2可进、出循环，冷却水管道1的内壁与籽晶夹持杆3的表面之间有一个空隙，避免了冷却水进、出的动能对称重的影响，便于晶体结晶的过程控制。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的实施方式，其描述较为具体与详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种籽晶夹持杆，主要包括籽晶夹持杆、籽晶夹头、冷却水管道，其特征在于：冷却水道与籽晶夹持杆同轴，冷却水管道套在籽晶夹持杆外，冷却水管道内壁与籽晶夹持杆表面有一个空隙，冷却管道及冷却水不与籽晶夹持杆接触。
2.根据权利要求1所述的籽晶夹持杆，其特征在于：所述籽晶夹头在籽晶夹持杆底部，籽晶夹头下部可夹持籽晶，籽晶夹持杆顶部与称重传感器相连。
3.根据权利要求1所述的籽晶夹持杆，其特征在于：所述籽晶夹持杆所用材料为有一定抗腐蚀性的金属材料；籽晶夹头所用材料为耐高温的钨或钼。
4.根据权利要求1所述的籽晶夹持杆，其特征在于：所述冷却水管道为中空、三层结构，冷却水在管道内可进、出形成循环。
5.根据权利要求1所述的籽晶夹持杆，其特征在于：所述冷却水管道所用材料为有一定抗腐蚀性的金属材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420286448.XU CN203976974U (zh) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 一种籽晶夹持杆 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420286448.XU CN203976974U (zh) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 一种籽晶夹持杆 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203976974U true CN203976974U (zh) | 2014-12-03 |
Family
ID=51974437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420286448.XU Expired - Fee Related CN203976974U (zh) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | 一种籽晶夹持杆 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203976974U (zh) |
-
2014
- 2014-06-03 CN CN201420286448.XU patent/CN203976974U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202072799U (zh) | 多晶硅铸锭炉溢流保护结构 | |
| CN104313682A (zh) | 一种快速提高直拉硅单晶生长速度的热场结构 | |
| CN107604439A (zh) | 一种生长大尺寸碳化硅单晶的热场结构 | |
| CN204342915U (zh) | 一种快速提高直拉硅单晶生长速度的热场结构 | |
| CN103938267A (zh) | 一种籽晶夹持杆的冷却方法 | |
| CN203976974U (zh) | 一种籽晶夹持杆 | |
| CN201400727Y (zh) | 一种硅单晶生长用勾形电磁场装置 | |
| CN204325548U (zh) | 一种蓝宝石炉侧保温结构 | |
| CN204959088U (zh) | 一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器结构 | |
| CN203333722U (zh) | 一种铜带罩式炉用退火料架 | |
| CN206486622U (zh) | 一种用于gt多晶炉铸造g7多晶硅锭的装置 | |
| CN203420008U (zh) | 一种熔体长晶用真空炉 | |
| CN202626346U (zh) | 一种新型准单晶铸锭炉 | |
| CN205576350U (zh) | 半导体晶棒熔炼拉晶装置 | |
| CN204039546U (zh) | 大容量多晶硅铸锭炉的加热装置 | |
| CN204058647U (zh) | 一种晶硅铸锭炉炉体 | |
| CN203976976U (zh) | 一种改进型蓝宝石长晶炉通气结构 | |
| CN202913021U (zh) | 一种淬火介质处理装置 | |
| CN207294941U (zh) | 方硅芯铸锭炉炉体 | |
| CN202658268U (zh) | 多晶硅铸锭炉 | |
| CN102268731A (zh) | 用于晶体生长的温场系统 | |
| CN202849586U (zh) | 一种区熔炉籽晶导向装置 | |
| CN103361714B (zh) | 一种多晶硅铸锭炉冷却块 | |
| CN203980884U (zh) | 一种具有缓冲结构的罩式炉炉罩 | |
| CN202297716U (zh) | 一种钢板淬火加热炉的加热装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20141203 Termination date: 20150603 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |