CN204325548U - 一种蓝宝石炉侧保温结构 - Google Patents

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武海军
时刚
刘统青
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Abstract

本实用新型提供一种蓝宝石炉侧保温结构,包括设置在外层的第一保温结构和设置在内层的第二保温结构,所述第一保温结构包括环形底座以及设置在所述底座上的保温筒体,所述第二保温结构包括底部铺设的耐火砖、设置在所述耐火砖上的钼垫板以及设置在所述钼垫板上的钨筒和反射屏,所述反射屏设置在所述保温筒体与所述钨筒之间。本实用新型的保温层结构设置成外层填充保温结构和内层反射屏保温结构的组合形式,不仅显著提高了保温效果,降低了能耗,延长了热场寿命,而且减少了杂质的挥发,保证了单晶品质。此外,本实用新型的外层保温结构可以方便地从炉室内提拉出,便于后期的检查和维护。

Description

一种蓝宝石炉侧保温结构
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石炉温度场技术领域,具体涉及一种蓝宝石炉侧保温结构。
背景技术
蓝宝石单晶由于具有极好的热导性、电气绝缘性、透光性、化学稳定性,以及耐高温、高强度、高硬度等一系列优良特性,广泛应用于工业、国防、科技等领域。
人工生长蓝宝石单晶的方法很多,其中泡生法渐渐成为生长大尺寸蓝宝石单晶的主流方法。要生长高品质的蓝宝石单晶,在炉室内部提供合适的温度场至关重要,其中以侧面保温传递的热量为最大,其结构设计的好坏直接关系到晶体的品质。传统的侧保温结构为多层钼反射屏组成,能耗高,变形大。为了避免这些缺点,在此基础上采用的新结构是用氧化锆砖或纤维板等用作侧保温结构,保温效果不太显著,而且氧化锆砖或纤维板通常都是一次性在炉室内码装,无法整体提出炉室,由于炉内空间限制后期无法检查维护。此外,氧化锆制品在高温下长时间使用会有杂质挥发而影响单晶品质,还会不可避免地发生龟裂,进一步降低保温效果。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种保温效果良好的蓝宝石炉侧保温结构,同时该保温结构可以整体提出炉室便于维修,并且降低了杂质的挥发。
本实用新型实施例提供一种蓝宝石炉侧保温结构,包括设置在外层的第一保温结构和设置在内层的第二保温结构,所述第一保温结构包括环形底座以及设置在所述底座上的保温筒体,所述第二保温结构包括底部铺设的耐火砖、设置在所述耐火砖上的钼垫板以及设置在所述钼垫板上的钨筒和反射屏,所述反射屏设置在所述保温筒体与所述钨筒之间。
结合上述方案,在第一种可能的实现方式中,所述底座上设有两个提拉板和多个加强筋,所述提拉板分别位于所述保温筒体的两侧。
结合上述方案,在第二种可能的实现方式中,所述保温筒体包括外侧筒体、内侧筒体以及位于所述外侧筒体和所述内侧筒体之间的保温层,所述保温层内填充有保温材料。
结合上述方案的第二种可能的实现方式,在第三种可能的实现方式中,所述保温层上部设置顶部封板,所述顶部封板的两侧分别与所述外侧筒体和所述内侧筒体连接。
结合上述方案的第二种可能的实现方式,在第四种可能的实现方式中,所述保温材料包括氧化锆板、纤维板和空心球。
本实用新型的保温层结构设置成外层填充保温结构和内层反射屏保温结构的组合形式,不仅显著提高了保温效果,降低了能耗,延长了热场寿命,而且减少了杂质的挥发,保证了单晶品质。此外,本实用新型通过将外层的保温结构设置在底座上,并在底座上进一步设置有便于提拉的提拉板和用于加固底座的加强筋,使得外层保温结构可以方便地从炉室内提拉出,便于后期的检查和维护。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例提供的一种蓝宝石炉侧保温结构的剖面结构示意图;
图2为本实用新型实施例提供的一种蓝宝石炉侧保温结构的立体结构示意图。
其中,1、底座,2、外侧筒体,3、内侧筒体,4、顶部封板,5、保温层,6、耐火砖,7、钨筒,8、钼垫板,9、反射屏,10、提拉板,11、加强筋。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
本实用新型实施例公开了一种蓝宝石炉侧保温结构,为蓝宝石单晶提供合适的温度环境。该保温结构包括设置在外层的第一保温结构和设置在内层的第二保温结构,第一保温结构包括环形底座1以及设置在该底座1上的保温筒体,第二保温结构包括底部铺设的耐火砖6、设置在该耐火砖6上的钼垫板8以及设置在钼垫板上的钨筒7和反射屏9,其中反射屏9设置在保温筒体与钨筒7之间。设置两层保温结构,可以显著提高保温效果,降低能耗,并延长热场寿命。
具体地,第一保温结构中的底座1上设有两个提拉板10和多个加强筋11,这两个提拉板分别位于保温筒体的两侧。设置便于提拉的提拉板10和用于加固底座的加强筋11,可以方便地将该第一保温结构从炉室内提拉出,便于后期的检查和维护。
本实用新型实施例公开的蓝宝石炉侧保温结构中,为进一步提高保温效果,保温筒体包括外侧筒体2、内侧筒体3以及位于该外侧筒体2和该内侧筒体3之间的保温层5,保温层5内填充有保温材料。其中,填充的保温材料包括氧化锆板、纤维板和空心球。为了减少保温层5内填充的保温材料在高温下杂质的挥发,保温层5上部设置顶部封板4,顶部封板4的两侧分别与外侧筒体2和内侧筒体3连接。
在实际使用过程中,由于底座1和外侧筒体2处的温度较低,采用不锈钢材质制作;内侧筒体3和反射屏9靠近加热器和坩埚,该处温度较高,采用钼或钨等金属材质制作,可以耐高温;顶部封板4也采用钼材质制作。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种蓝宝石炉侧保温结构,其特征在于,包括设置在外层的第一保温结构和设置在内层的第二保温结构,所述第一保温结构包括环形底座以及设置在所述底座上的保温筒体,所述第二保温结构包括底部铺设的耐火砖、设置在所述耐火砖上的钼垫板以及设置在所述钼垫板上的钨筒和反射屏,所述反射屏设置在所述保温筒体与所述钨筒之间。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石炉侧保温结构,其特征在于,所述底座上设有两个提拉板和多个加强筋,所述提拉板分别位于所述保温筒体的两侧。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石炉侧保温结构,其特征在于,所述保温筒体包括外侧筒体、内侧筒体以及位于所述外侧筒体和所述内侧筒体之间的保温层,所述保温层内填充有保温材料。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石炉侧保温结构,其特征在于,所述保温层上部设置顶部封板,所述顶部封板的两侧分别与所述外侧筒体和所述内侧筒体连接。
5.根据权利要求3所述的蓝宝石炉侧保温结构,其特征在于,所述保温材料包括氧化锆板、纤维板和空心球。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105040093A (zh) * 2015-08-25 2015-11-11 哈尔滨工业大学 一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉
CN108342771A (zh) * 2018-05-22 2018-07-31 苏州恒嘉晶体材料有限公司 一种复合式侧保温屏
CN113584572A (zh) * 2019-08-21 2021-11-02 眉山博雅新材料有限公司 一种晶体制备装置
US11566341B2 (en) 2019-08-21 2023-01-31 Meishan Boya Advanced Materials Co., Ltd. Open czochralski furnace for single crystal growth

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105040093A (zh) * 2015-08-25 2015-11-11 哈尔滨工业大学 一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉
CN108342771A (zh) * 2018-05-22 2018-07-31 苏州恒嘉晶体材料有限公司 一种复合式侧保温屏
CN113584572A (zh) * 2019-08-21 2021-11-02 眉山博雅新材料有限公司 一种晶体制备装置
CN113584572B (zh) * 2019-08-21 2022-05-10 眉山博雅新材料股份有限公司 一种晶体制备装置
US11566341B2 (en) 2019-08-21 2023-01-31 Meishan Boya Advanced Materials Co., Ltd. Open czochralski furnace for single crystal growth
US11566343B2 (en) 2019-08-21 2023-01-31 Meishan Boya Advanced Materials Co., Ltd. Open Czochralski furnace for single crystal growth
US11566342B2 (en) 2019-08-21 2023-01-31 Meishan Boya Advanced Materials Co., Ltd. Open Czochralski furnace for single crystal growth
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