CN103938267A - 一种籽晶夹持杆的冷却方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种籽晶夹持杆的冷却方法，属于熔体籽晶法单晶生长设备技术领域。主要包括籽晶夹持杆、籽晶夹头、冷却水管道，其特征在于：冷却水道与籽晶夹持杆同轴，冷却水管道套在籽晶夹持杆外，冷却水管道内壁与籽晶夹持杆表面有一个空隙，冷却管道及冷却水不与籽晶夹持杆接触。本发明避免了冷却水进、出的动能对称重的影响，便于晶体结晶的过程控制。
Description
技术领域
本发明涉及熔体籽晶法单晶生长设备技术领域，尤其涉及一种蓝宝石长晶炉的籽晶夹持杆。
背景技术
参见图1，目前国内外的蓝宝石长晶炉的籽晶夹持杆一般的冷却方法是：籽晶夹持杆1的上部是中空的两层结构，中空结构是冷却水管道，冷却水2在籽晶夹持杆上部中的冷却水管道可进、出循环，实现对籽晶夹持杆的冷却。籽晶夹持杆有三个功用，一是通过在籽晶夹持杆底部的籽晶夹头3实现对籽晶4的夹持和支撑，二是籽晶夹持杆顶部与称重传感器7相连实现称重，三是在结晶过程中通过籽晶夹持杆提拉晶体5。现有的冷却方法有以下问题：由于冷却水进、出管道，有一定的动能，而导致所称重量波动、称重不准确，不便于晶体结晶的过程控制。
发明内容
本发明的目的在于为了解决上述现有技术的不足，提供一种良好的冷却方法，使冷却水的动能不影响称重，便于晶体结晶的过程控制。
本发明采用的技术方案是：一种籽晶夹持杆的冷却方法，主要包括籽晶夹持杆、籽晶夹头、冷却水管道，其特征在于：冷却水道与籽晶夹持杆同轴，冷却水管道套在籽晶夹持杆外，冷却水管道内壁与籽晶夹持杆表面有一个空隙，冷却管道及冷却水不与籽晶夹持杆接触。
作为本发明的优选技术方案，所述的籽晶夹持杆和籽晶夹头，其特征在于：籽晶夹头在籽晶夹持杆底部，籽晶夹头下部可夹持籽晶，籽晶夹持杆顶部与称重传感器相连。
作为本发明的优选技术方案，所述的籽晶夹持杆和籽晶夹头，其特征在于：籽晶夹持杆所用材料为有一定抗腐蚀性的金属材料，如不锈钢；籽晶夹头所用材料为耐高温的钨或钼。
作为本发明的优选技术方案，所述的冷却水管道，其特征在于：管道为中空、三层结构，冷却水在管道内可进、出形成循环。
作为本发明的优选技术方案，所述的冷却水管道，其特征在于：管道所用材料为有一定抗腐蚀性的金属材料，如不锈钢。
与现有技术相比，本发明具有以下优点：冷却水管道套在籽晶夹持杆外，冷却水管道内壁与籽晶夹持杆表面有一个空隙，冷却管道及冷却水不与籽晶夹持杆接触，因此冷却水进、出时的动能不会影响称重，便于晶体结晶的过程控制。
附图说明
图1为籽晶夹持杆的现有冷却方法结构示意图。图1标记说明：1、籽晶夹持杆，2、冷却水，3、籽晶夹头，4、籽晶，5、晶体，6、熔体，7、称重传感器。
图2为本发明的一种实施例的结构示意图。图2标记说明：1、冷却水管道，2、冷却水，3、籽晶夹持杆，4、籽晶夹头，5、籽晶，6、晶体，7、熔体，8、称重传感器。
具体实施方式
下面结合图2和实施例对本发明进一步说明。
参照图2，籽晶夹持杆3顶部与称重传感器8相连，籽晶夹持杆3底部有籽晶夹头4，籽晶夹头4下面是籽晶5、晶体6、熔体7，冷却水管道1与籽晶夹持杆3同轴，冷却水管道1为中空的三层结构，三层结构使冷却水2可进、出循环，冷却水管道1的内壁与籽晶夹持杆3的表面之间有一个空隙，避免了冷却水进、出的动能对称重的影响，便于晶体结晶的过程控制。
以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为具体与详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种籽晶夹持杆的冷却方法，主要包括籽晶夹持杆、籽晶夹头、冷却水管道，其特征在于：冷却水道与籽晶夹持杆同轴，冷却水管道套在籽晶夹持杆外，冷却水管道内壁与籽晶夹持杆表面有一个空隙，冷却管道及冷却水不与籽晶夹持杆接触。
2.根据权利要求1所述的籽晶夹持杆和籽晶夹头，其特征在于：籽晶夹头在籽晶夹持杆底部，籽晶夹头下部可夹持籽晶，籽晶夹持杆顶部与称重传感器相连。
3.根据权利要求1所述的籽晶夹持杆和籽晶夹头，其特征在于：籽晶夹持杆所用材料为有一定抗腐蚀性的金属材料，如不锈钢；籽晶夹头所用材料为耐高温的钨或钼。
4.根据权利要求1所述的冷却水管道，其特征在于：管道为中空、三层结构，冷却水在管道内可进、出形成循环。
5.根据权利要求1所述的冷却水管道，其特征在于：管道所用材料为有一定抗腐蚀性的金属材料，如不锈钢。
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| CN201410197342.7A CN103938267A (zh) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | 一种籽晶夹持杆的冷却方法 |
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| CN (1) | CN103938267A (zh) |
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