CN101831692A - 提拉法晶体生长自动控制装置 - Google Patents

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Inventor
肖兵
王国强
周世斌
石全洲
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Chengdu Dongjun Laser Co Ltd
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Abstract

本发明公开了一种提拉法晶体生长自动控制装置，包括支撑座、籽晶杆、称重室、重量传感器、滑动接触器、冷却水套、籽晶杆定位盘；称重室位于支撑座上部，称重室底壁与支撑座之间固连有轴承座，称重室外壁连接传动装置；滑动接触器固连于称重室上端，重量传感器固连于称重室的腔室上部，重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器连接，控制器的输出端与温控仪连接；籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器软连接，其另一端穿过固连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部的籽晶杆定位盘。通过控制器采集的籽晶的重量信息来控制晶体生长的温控装置，从而实现对生长过程的自动化控制。可以减少人为误差，提高产品质量，降低人工成本。

Description

提拉法晶体生长自动控制装置
技术领域
本发明属于晶体生长技术领域，特别是提拉法晶体生长自动控制装置。
背景技术
原有提拉法晶体生长装置中，晶体生长都是人工控制。由人眼观察晶体直径，然后根据操作人员的经验来决定是采取升温还是降温来进行晶体生长。该技术有以下不足：
1、该种方法不适应大尺寸晶体的生长。晶体尺寸一旦超过观察窗的尺寸，人眼已无法观察，这样就会造成生长失控
2、对人的个体经验依赖较强，这样生长出的晶体外形重复性不好，质量不稳定
3、这种方法必须依赖人的控制，对人的经验和数量都有较高的要求，不利于生产规模的扩大。
发明内容
本发明的目的在于提供一套适用于提拉法晶体生长自动控制装置，该装置采取上称重原理，通过控制器采集的籽晶的重量信息来控制晶体生长的温控装置，从而实现对生长过程的自动化控制。
为了实现本发明目的，提拉法晶体生长自动控制装置包括支撑座、传动装置、穿过支撑座的籽晶杆、温控仪，其特征在于：还包括称重室、重量传感器、轴承座、滑动接触器、冷却水套、籽晶杆定位盘；所述称重室位于支撑座上部，称重室底壁与支撑座之间固连有轴承座，称重室外壁连接传动装置；所述滑动接触器固连于称重室上端，所述重量传感器固连于称重室的腔室上部，重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器连接，所述控制器的输出端与温控仪连接；籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器软连接，其另一端穿过固连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部的籽晶杆定位盘。
所述籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器通过连接件连接。
所述传动装置为与电机连接的皮带轮。
采用本发明装置，与炉膛内的籽晶连接的籽晶杆穿过支撑座与重量传感器连接，由重量传感器通过籽晶杆拾取晶体重量信号，然后经滑动接触器传出，最后进入控制器，由控制软件进行运算处理后输出控制信号到温度控制仪进行升或降温控制。该装置应用于提拉法晶体生长，对稳定产品质量和大尺寸晶体的研发都有相当大的好处，如果批量使用该种装置，会大大减少人工操作的误差，较大幅度减少人工成本。
附图说明
本发明将通过实施例并参照附图的方式说明：
图1是本发明实施例的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示的提拉法晶体生长自动控制装置，包括支撑座7、皮带轮5、穿过支撑座的籽晶杆8、温控仪(图中未示出)、称重室4、重量传感器2、轴承座6、滑动接触器1、冷却水套9、籽晶杆定位盘10、连接件3；所述称重室位于支撑座上部，称重室底壁与支撑座之间固连有轴承座，称重室外壁连接皮带轮；滑动接触器固连于称重室上端，重量传感器固连于称重室的腔室上部，重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器(图中未示出)连接，所述控制器的输出端与控制炉膛温度的温控仪连接；籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器通过连接件连接，其另一端穿过固连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部的籽晶杆定位盘。
本发明装置的通过控制器采集的籽晶的重量信息来控制晶体生长的温度控制，称重室在皮带轮的带动下可使籽晶杆旋转，也可随着支撑座上下移动，保持了晶体的提拉和旋转功能，从而实现对生长过程的自动化控制。
本发明并不局限于前述的具体实施方式。本发明扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合。

Claims (3)

1.一种提拉法晶体生长自动控制装置，包括支撑座、传动装置、穿过支撑座的籽晶杆、温控仪，其特征在于：还包括称重室、重量传感器、轴承座、滑动接触器、冷却水套、籽晶杆定位盘、控制器；所述称重室位于支撑座上部，称重室底壁与支撑座之间固连有轴承座，称重室外壁连接传动装置；所述滑动接触器固连于称重室上端，所述重量传感器固连于称重室的腔室上部，重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器连接，所述控制器的输出端与温控仪连接；籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器软连接，其另一端穿过固连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部的籽晶杆定位盘。
2.如权利要求1所述的提拉法晶体生长自动控制装置，其特征在于：所述籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器通过连接件连接。
3.如权利要求1所述的提拉法晶体生长自动控制装置，其特征在于：所述传动装置为与电机连接的皮带轮。
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