CN205576350U - 半导体晶棒熔炼拉晶装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体致冷件的原材料—晶棒的生产技术领域，名称是半导体晶棒熔炼拉晶装置，半导体晶棒熔炼拉晶装置，包括机座，在机座上具有可以升降的主立杆，主立杆和机座上有拉晶管的固定夹具，在机座上还有副立杆，副立杆上有升降动力装置，升降动力装置连接电磁加热线圈，电磁加热线圈内部具有套接在拉晶管外面的结构，在所述的电磁加热线圈内部和盛装拉晶管外面还安装有不锈钢套管；使用本实用新型可以得到受热更均匀、品质更好的晶棒。
Description
技术领域
本发明涉及半导体致冷件的原材料—晶棒的生产技术领域，具体地说是涉及半导体晶棒熔炼拉晶装置。
背景技术
半导体致冷件的原材料—晶棒的主要原料是三碲化二铋，这些原料在拉晶管中经过高温形成分子排列整齐的晶棒，在高温下原料的分子重新排列的过程就是拉晶，拉晶后的晶棒进行线切割生成半导体晶粒，然后将晶粒焊接在瓷板上就制造成半导体致冷件。
晶粒排列的整齐程度决定了半导体致冷件的效率，原料分子排列越整齐，半导体致冷件的致冷效率越高，反之，原料分子排列越杂乱，半导体致冷件的致冷效率越低，所以拉晶的效果决定了半导体致冷件的品质。
晶棒是在拉晶装置上进行的，拉晶装置具有加热环，现有技术中，拉晶炉的加热环是电加热的,这样的拉晶炉具有晶板温度升高不均匀的缺点,影响了拉晶的质量。
发明内容
本发明的目的就是针对上述缺点，提供一种晶棒受热更均匀、品质更好半导体晶棒熔炼拉晶装置。
本发明半导体晶棒的拉晶装置是这样实现的: 半导体晶棒熔炼拉晶装置，包括机座，在机座上具有可以升降的主立杆，主立杆和机座上有拉晶管的固定夹具，其特征是：在机座上还有副立杆，副立杆上有升降动力装置，升降动力装置连接电磁加热线圈，电磁加热线圈内部具有套接在拉晶管外面的结构，在所述的电磁加热线圈内部和盛装拉晶管外面还安装有不锈钢套管。
本发明的有益效果是：这样的使用半导体晶棒的装置，可以得到受热更均匀、品质更好的晶棒。
附图说明
图1是本发明半导体晶棒的拉晶装置的结构示意图。
其中：1、机座 2、主立杆 3、固定夹具 4、副立杆 5、升降动力装置 6、电磁加热线圈 7、拉晶管 8、不锈钢套管。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的的说明。
如图1所示，半导体晶棒熔炼拉晶装置，包括机座1，在机座上具有可以升降的主立杆2，主立杆和机座上有拉晶管的固定夹具3，其特征是：在机座上还有副立杆4，副立杆上有升降动力装置5，升降动力装置连接电磁加热线圈6，电磁加热线圈内部具有套接在拉晶管7外面的结构，在所述的电磁加热线圈内部和盛装拉晶管外面还安装有不锈钢套管8。这样不锈钢管耐温1200℃，可以起到切割磁力线的作用，产生热量，还具有防止拉晶管破裂，另外其还具有均温的作用，拉晶的效果也更好。
以上所述仅为本发明的具体实施例，但本发明的结构特征并不限于此，任何本领域的技术人员在本发明的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本发明的专利范围内。
Claims (1)
1.半导体晶、半导体晶棒熔炼拉晶装置，包括机座，在机座上具有可以升降的主立杆，主立杆和机座上有拉晶管的固定夹具，其特征是：在机座上还有副立杆，副立杆上有升降动力装置，升降动力装置连接电磁加热线圈，电磁加热线圈内部具有套接在拉晶管外面的结构，在所述的电磁加热线圈内部和盛装拉晶管外面还安装有不锈钢套管。
Priority Applications (1)
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| CN201620413568.0U CN205576350U (zh) | 2016-05-10 | 2016-05-10 | 半导体晶棒熔炼拉晶装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105887184A (zh) * | 2016-05-10 | 2016-08-24 | 河南鸿昌电子有限公司 | 半导体晶棒熔炼拉晶装置和熔炼拉晶的方法 |
| CN108048904A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-05-18 | 安徽省恒伟铋业有限公司 | 一种铋晶体制作设备 |
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2016
- 2016-05-10 CN CN201620413568.0U patent/CN205576350U/zh active Active
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |