CN203833166U - 玻璃基板监测装置 - Google Patents

玻璃基板监测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN203833166U
CN203833166U CN201420093928.4U CN201420093928U CN203833166U CN 203833166 U CN203833166 U CN 203833166U CN 201420093928 U CN201420093928 U CN 201420093928U CN 203833166 U CN203833166 U CN 203833166U
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
monitoring device
sensor
glass substrate
pillar stiffener
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN201420093928.4U
Other languages
English (en)
Inventor
刘峻承
谭莉
曾瑞轩
林信安
黄于维
林志明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd
Original Assignee
EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd filed Critical EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd
Priority to CN201420093928.4U priority Critical patent/CN203833166U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN203833166U publication Critical patent/CN203833166U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种基板检测装置,包括一设置于旋转腔体中的旋转机台,其特征在于,所述旋转机台包括一底座,位于所述底座上垂直设置多个有定位结构及支撑柱,所述支撑柱用于支撑基板,所述定位销用于基板的固定防止基板产生偏移;部分所述定位结构和/或支撑柱设置有传感器,每个所述传感器均与所述基板相接触,用于检测所述基板对所述定位结构和/或支撑柱产生的压力。在机台带动玻璃基板进行旋转时,通过延展臂上设置的压力传感器对基板进行实时监测,如果基板一旦出现严重偏移甚至破片,压力传感器则会通过报警装置发出报警信息通知操作人员机台上放置的基板已产生异常并进行排查,避免造成更大的损失。

Description

玻璃基板监测装置
技术领域
本实用新型涉及显示面板制造领域,具体涉及一种玻璃基板监测装置,在玻璃基板旋转过程中实现对玻璃基板的异常情况进行监测。 
背景技术
如今,随着手机、电脑的迅速发展,人们对屏幕的要求也越来越高,显示面板行业也得到了飞速的发展。 
传统工艺中,制备液晶显示器或玻璃基板等离子体显示器等显示器件时,使用的玻璃基板容易在保管或运输过程中,在其表面上容易产生瑕疵或污迹,进而造成产品缺陷。尤其是在需要对玻璃基板进行旋转操作时,需要将玻璃基板放置于旋转腔体中进行旋转,玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板具体的: 
图1为传统的旋转腔体中旋转机台的结构示意图,如图1所示,该旋转机台上放置有玻璃基板7。该机台包括一圆形可旋转底座1,底座1中心设置有一光学感应器2。同时该底座1向外延伸有四根延展臂3及多根延伸杆4;每个延展臂3的末端皆垂直设置有两根固定销5,且每根固定销的高度皆相等; 
在每根延展臂3、延伸杆4和底座上1方还设置有多根支撑柱6,支撑柱6在延展臂3、延伸杆4和底座呈均匀分布且每根支撑柱的顶面高度低于固定销5的高度。 
在运输过程中,利用机械手臂将玻璃基板7放置于机台上,机台带动玻璃基板7并进行旋转。在传统技术中,可通过在底座1上增设一光学感应器2来监测机台上方是否放置有基板:如果光学感应器2 感应到机台上方没有放置玻璃基板,则会通过报警装置通知操作人员。 
但是操作人员发现,在机台带动玻璃基板进行旋转的过程中,玻璃基板极易产生碎片的情况,而传统技术中增设的光学感应器只能监测机台上方是否存在玻璃基板,无法监测玻璃基板的破片情况,如果有破损的玻璃基板没有被及时发现就进入下一道工序时,则会给生产造成不利影响,进而给生产造成损失。 
中国专利(CN202594969U)公开了一种改善膜层厚度不均的玻璃基板旋转台,包括挡板外框,位于挡板外框内的旋转大盘,位于挡板外框和旋转大盘中心的台板旋转轴,固定在台板旋转轴上的方形台板;所述方形台板的尺寸略小于玻璃基板的尺寸,所述方形台板的边缘设有吸附孔,用于吸附玻璃基板的图像边缘。 
但是在旋转过程中,玻璃基板可能受到旋转时离心力的作用容易产生偏移甚至破片,该文献也并没有提及如何来对玻璃基板的完好性进行实时监测,如果操作人员也无法及时获悉基板的异常状态,异常的基板就会直接进入下一工序,进而给工艺生产造成更大损失。 
实用新型内容
本实用新型根据传统技术无法对基板完整性进行监测的不足,提供了一种基板监测装置,通过在旋转机台上设置有压力感应器,在将玻璃基板放置在机台上时,压力感应器与玻璃基板相接触,如果玻璃基板一旦产生偏移或者破片,压力感应器无法接收到来自玻璃基板正常的接触反馈,通过连接报警装置通过操作人员进行排查,避免产生异常的玻璃基板进入下一工序,进而造成更大的生产损失。 
本实用新型采用的技术方案为: 
一种基板监测装置,包括一设置于旋转腔体中的旋转机台,其特征在于,所述旋转机台包括一底座,位于所述底座上垂直设置多个有定位结构及支撑柱,所述支撑柱用于支撑基板,所述定位结构用于基板的固定防止基板产生偏移; 
部分所述定位结构和/或支撑柱设置有传感器,每个所述传感器均与所述基板相接触,用于监测所述基板对所述定位结构和/或支撑柱产生的压力。 
上述的基板监测装置,其特征在于,所述传感器在所述机台静止时和机台转动时分别设置有不同的压力接触感测值范围来对基板进行监测。 
上述的基板监测装置,其特征在于,所述旋转机台设置有多根延伸臂,所述定位结构均设置于所述延伸臂末端,且该定位结构为固定销。 
上述的基板监测装置,其特征在于,所述传感器设置于所述固定销上和/或支撑柱的顶部表面。 
上述的基板监测装置,其特征在于,相邻所述延展臂之间设置有多根延伸杆。 
上述的基板监测装置,其特征在于,所述延伸杆的长度小于所述延展臂的长度。 
上述的基板监测装置,其特征在于,所述延展臂关于所述底座中心对称,且所述延伸杆关于所述底座中心对称。 
上述的基板监测装置,其特征在于,所述支撑柱的顶端低于所述固定销的顶端。 
上述的基板监测装置,其特征在于,所述底座中心处设置有一传感器。 
上述的基板监测装置,其特征在于,所述传感器为压力感应器或非接触式光学感应器。 
上述的基板监测装置,其特征在于,各所述传感器均与一报警装置相连。 
本实用新型通过在旋转机台的延展臂之上设置有压力感应器来对玻璃基板进行实时监测,如果玻璃基板某一位置处产生异常(如偏移或碎片),压力感应器会及时通过报警装置通知操作人员进行排查,避免异常的玻璃基板进入到下一工序,造成更大的损失。 
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图,重点在于示出本实用新型的主旨。 
图1为传统的基板监测装置的示意图; 
图2为本实用新型一种基板监测装置的示意图; 
图3为本实用新型一种基板监测装置的局部示意图。 
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明: 
如图2所示为本实用新型一种基板监测装置的示意图,本实用新型提供了一种基板监测装置,包括一设置于旋转腔体中的旋转机台,该机台包括一圆形的可旋转底座1,在该底座中心设置有一光学感应器2,该光学感应器2与一报警装置相连接。 
底座上1上设置有定位结构和基板支撑柱,如图所示:底座1向外延伸有多根延展臂3及多根延伸杆4,延伸杆4的长度小于延展臂3的长度,且延展臂3和延伸杆4分别关于底座1的圆心中心对称。在本实用新型的实施例中,优选的,该机台设有4根延展臂。 
每根延展臂3的末端皆设置有两根固定销8组成定位结构,同时在每根延展臂3、延伸杆4和底座1上方还设置有多根支撑柱6;由于支撑柱6的顶部高度低于固定销8的顶面高度,在支撑柱6将基板进行支撑的同时,固定销8组成的定位结构可放置基板在运动时滑出。 
其中,部分固定销8和/或支撑柱6设置有传感器,每个传感器均与机台上方放置的基板相接触,该传感器为压力感应器或非接触式光学感应器,且每个传感器均与报警装置相连,用于监测所述基板对定位结构和/或支撑柱产生的压力。如果基板一旦产生偏移或破损,传感器即可接收到非正常的反馈信号,通过报警装置发出报警信息提醒操作人员,避免造成更大的生产损失。 
图3为本实用新型一种基板监测装置的局部示意图,如图所示,延展臂3上的部分固定销8和/或支撑柱6的顶部表面设置有传感器9(图示传感器设置在固定销8上),该传感器为压力感应器或非接触式光学感应器。当将玻璃基板7放置在机台上方时,玻璃基板7位于 支撑柱6上方,并与每个传感器形成接触。 
在机台工作时,底座1中心的光学感应器可实时监控机台上方是否放置有玻璃基板,如果机台上方没有放置玻璃基板,光学感应器通过报警装置发出报警信息及时通知操作人员;如果机台上方放置有玻璃基板,则光学感应器不通过报警装置发出报警信息; 
进一步的,当机台上方放置有基板时,延展臂3和延伸杆4上设置的支撑柱6将玻璃基板7承托起来;由于各支撑柱的顶部高度皆位于同一水平面上且与该水平面与地面平行,使得玻璃基板位于一水平状态,同时由于固定销8也很好的将基板进行固定,避免基板滑出。 
在机台静止状态时,压力感应器会以一接触感测值范围S1为标准来进行监测,如果传感器接收到来自玻璃基板对传感器施加的压力在该范围内,则说明玻璃基板没有产生偏移或破片,如果传感器接收到来自玻璃基板对传感器施加的压力不在该范围内,则说明玻璃基板已产生偏移甚至有破片的情况,压力感应器通过报警装置发出报警信息提供相关操作人员进行调整; 
在机台旋转过程中,玻璃基板受到力的作用可能会产生偏移,甚至可能会产生破片的情况产生;所以在玻璃基板旋转过程中,压力感应器会以另一接触感测值范围S2为标准来进行监测:如果玻璃基板7在旋转过程中,也并没有产生严重偏移或破片的情况,则玻璃基板会对压力感应器施加一正常的压力反馈,即该压力位于接触感测值范围S2内,压力感应器接收到基板正常的压力反馈,则不会通过报警装置发出相关报警信息; 
如果玻璃基板由于旋转而引起玻璃基板产生不在允许范围内的偏移甚至破片,则产生异常位置处的玻璃基板不会对传感器施加一位于接触感测值范围S2内的压力反馈,如果任何一个感应器接收到非 正常的压力反馈,则通过报警装置发出警报信息,及时提醒操作人员玻璃基板的异常情况,避免造成更大的损失。 
同时,在本实用新型的实施例中,可在每根固定销和支撑柱上皆设置一传感器,可实现对玻璃基板的更多方位进行监测,进而更好的提高监测效果,但是随着压力感应器数量的增多,不可避免增加了生产成本,所以可根据实际需求来选择传感器的数量,在保证生产成本的前提下尽可能提高监测精度。同时在本发明的实际应用中,优选采用压力感应器来对基板进行监测,由于压力感应器的识别度更高,相比较非接触式光学感应器监测效果更加精准,进而提高检测的精准性,同时成本也较之光学感应器较低。 
综上所述,由于本实用新型采用了以上技术方案,通过在旋转机台的固定销和/或支撑柱上设置有传感器,该传感器在机台旋转和静止时可实时监测玻璃基板是否产生非正常的偏移或破片,一旦玻璃基板出现异常,传感器则及时通过报警装置通知操作人员,操作人员获悉玻璃基板产生异常后,人工将异常玻璃基板进行排除即可,避免了生产造成的损失。以上对本实用新型的较佳实施例进行了描述。需要理解的是,本实用新型并不局限于上述特定实施方式,其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施;任何熟悉本领域的技术人员,在不脱离本实用新型技术方案范围情况下,都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰,或修改为等同变化的等效实施例,这并不影响本实用新型的实质内容。因此,凡是未脱离本实用新型技术方案的内 容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰,均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。 

Claims (10)

1.一种基板监测装置,包括一设置于旋转腔体中的旋转机台,其特征在于,所述旋转机台包括一底座,位于所述底座上垂直设置有多个定位结构及支撑柱,所述支撑柱用于支撑基板,所述定位结构用于防止基板产生偏移;
部分所述定位结构和/或支撑柱设置有传感器,用于监测所述基板对所述定位结构和/或支撑柱产生的压力。
2.如权利要求1所述的基板监测装置,其特征在于,所述传感器在所述机台静止时和机台转动时分别设置有不同的压力接触感测值范围来对基板进行监测。
3.如权利要求1所述的基板监测装置,其特征在于,所述机台设置有多根延伸臂,所述定位结构均设置于所述延伸臂末端,且该定位结构包括多个定位销。
4.如权利要求3所述的基板监测装置,其特征在于,所述传感器设置于所述定位销上和/或支撑柱的顶部。
5.如权利要求1所述的基板监测装置,其特征在于,相邻所述延展臂之间设置有多根延伸杆。
6.如权利要求3所述的基板监测装置,其特征在于,所述延伸杆的长度小于所述延展臂的长度。
7.如权利要求6所述的基板监测装置,其特征在于,所述支撑柱的顶端低于所述固定销的顶端。
8.如权利要求1所述的基板监测装置,其特征在于,所述底座中心处设置有一传感器。
9.如权利要求1或8所述的基板监测装置,其特征在于,所述传感器为压力感应器或非接触式光学感应器。
10.如权利要求9所述的基板监测装置,其特征在于,各所述传感器均与一报警装置相连。
CN201420093928.4U 2014-03-03 2014-03-03 玻璃基板监测装置 Expired - Lifetime CN203833166U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201420093928.4U CN203833166U (zh) 2014-03-03 2014-03-03 玻璃基板监测装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201420093928.4U CN203833166U (zh) 2014-03-03 2014-03-03 玻璃基板监测装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN203833166U true CN203833166U (zh) 2014-09-17

Family

ID=51511037

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201420093928.4U Expired - Lifetime CN203833166U (zh) 2014-03-03 2014-03-03 玻璃基板监测装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN203833166U (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104729766A (zh) * 2015-03-13 2015-06-24 福耀玻璃工业集团股份有限公司 一种支撑曲面玻璃的方法及其支撑台
WO2017016055A1 (zh) * 2015-07-29 2017-02-02 深圳市华星光电技术有限公司 一种支撑结构及真空设备
CN109211449A (zh) * 2018-08-24 2019-01-15 山东大学 一种飞机挡风玻璃疲劳实时监测装置
CN109254564A (zh) * 2017-07-13 2019-01-22 杭州海康机器人技术有限公司 物品搬运方法、装置、终端及计算机可读存储介质
CN109580194A (zh) * 2018-11-28 2019-04-05 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 检测承接座之异常端子的方法
CN117373942A (zh) * 2023-12-07 2024-01-09 苏州瑞霏光电科技有限公司 一种晶圆缺陷检测装置及检测方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104729766A (zh) * 2015-03-13 2015-06-24 福耀玻璃工业集团股份有限公司 一种支撑曲面玻璃的方法及其支撑台
CN104729766B (zh) * 2015-03-13 2017-03-01 福耀玻璃工业集团股份有限公司 一种支撑曲面玻璃的方法及其支撑台
WO2017016055A1 (zh) * 2015-07-29 2017-02-02 深圳市华星光电技术有限公司 一种支撑结构及真空设备
CN109254564A (zh) * 2017-07-13 2019-01-22 杭州海康机器人技术有限公司 物品搬运方法、装置、终端及计算机可读存储介质
US11402847B2 (en) 2017-07-13 2022-08-02 Hangzhou Hikrobot Technology Co., Ltd. Article transportation method, terminal and computer-readable storage medium
CN109211449A (zh) * 2018-08-24 2019-01-15 山东大学 一种飞机挡风玻璃疲劳实时监测装置
CN109211449B (zh) * 2018-08-24 2020-11-24 山东大学 一种飞机挡风玻璃疲劳实时监测装置
CN109580194A (zh) * 2018-11-28 2019-04-05 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 检测承接座之异常端子的方法
WO2020107745A1 (zh) * 2018-11-28 2020-06-04 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 检测承接座的异常端子的方法
CN117373942A (zh) * 2023-12-07 2024-01-09 苏州瑞霏光电科技有限公司 一种晶圆缺陷检测装置及检测方法
CN117373942B (zh) * 2023-12-07 2024-02-23 苏州瑞霏光电科技有限公司 一种晶圆缺陷检测装置及检测方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203833166U (zh) 玻璃基板监测装置
US10108031B2 (en) Substrate detection apparatus and protrusion height detection method
CN201654377U (zh) 点灯平台装置
CN204229078U (zh) 摩尔纹调试装置
CN105527464A (zh) 一种面板测试点定位方法、装置和测试面板的方法、系统
CN205879804U (zh) 一种用于检测工业产品成品率的检测仪
CN105548217A (zh) 镀膜制品的外观检测装置及检测方法
CN206160933U (zh) 自动检测装置
CN104391390B (zh) 基板检查装置及方法
CN105806301A (zh) 表面翘曲度测量装置及方法
CN205404430U (zh) 实时可视化宝石偏光装置
KR20150087648A (ko) 글라스 강도 측정 장치 및 방법
CN105865374B (zh) 一种圆柱形滚子曲率半径的测量方法
CN207366694U (zh) 一种pcb板测试治具的多工位旋转机构
CN106092033A (zh) 平整度自动检测装置
CN203941362U (zh) 液晶面板
CN201653364U (zh) 晶圆固定框检测装置
CN106990573B (zh) 光学测量装置及方法
CN208606731U (zh) 基板翘曲检测装置
CN209197691U (zh) 液晶屏外框自动检测机
CN207066342U (zh) 一种精度测量治具
WO2018227923A1 (zh) 一种光学检测装置及光学检测方法
CN204255267U (zh) 高精密同轴度检测仪
CN104469288A (zh) 一种局部放电故障源可视化标识装置
CN103985662B (zh) 一种对位装置及对位平台

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 201506, room two, building 1, building 100, 208 Industrial Road, Shanghai, Jinshan District

Patentee after: Shanghai Hehui optoelectronic Co.,Ltd.

Address before: 201506, room two, building 1, building 100, 208 Industrial Road, Shanghai, Jinshan District

Patentee before: EverDisplay Optronics (Shanghai) Ltd.

CP01 Change in the name or title of a patent holder
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20140917

CX01 Expiry of patent term