CN103985662B - 一种对位装置及对位平台 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种对位装置及对位平台，涉及显示技术领域，可减小对位过程中基板的破损，提高对位效率。该对位装置包括：支架台、与所述支架台连接的支撑部件、套在所述支撑部件上的对位部件、以及与所述对位部件连接的压力传感器。用于对位装置的制备。

Description

一种对位装置及对位平台

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板对位装置及对位平台。

背景技术

目前，在显示器件的制备流程中，涉及大量对阵列基板、彩膜基板等基板的加工过程，如光刻工艺、贴膜工艺、性能检测等，为了保证基板加工的精准性，对基板进行相应的加工前都需要先对基板进行对位。

在对位过程中，首先将基板放置于对位平台内，通过对位装置中的驱动装置带动对位部件从基板四边将可能偏斜的基板往中间推动，为了便于对位部件对基板进行对位调整，需要通过设置在机台表面的吹气单元向基板进行吹气，以使基板悬浮在机台表面，从而减小对位过程中基板受到的摩擦阻力，还可避免基板在移动对位的过程与机台表面发生摩擦产生磨损。

在实现上述基板的对位过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：

由于机台与基板相对的表面上存在着静电吸附，当吸附力较大时，基板无法悬浮在机台表面，此时，对位部件与基板接触后将对基板表面产生较大的挤压力，容易发生基板玻璃基材的破损，不仅增加了基板的生产成本，玻璃基材的碎块还会对机台表面产生磨损，对设备的后期维护带来不便。

发明内容

本发明的实施例提供一种对位装置及对位平台，可减小对位过程中基板的破损，提高对位效率。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，本发明实施例提供了一种对位装置，用于对支承在机台上方的基板进行对位，所述对位装置包括：支架台、与所述支架台连接的支撑部件、套在所述支撑部件上的对位部件、以及与所述对位部件连接的压力传感器。

优选的，所述压力传感器为环形压力传感器；其中，所述环形压力传感器套在所述支撑部件上、且位于所述对位部件远离所述支架台的端面上。

进一步优选的，所述对位装置还包括与所述压力传感器相连的报警单元。

进一步优选的，所述对位装置还包括与所述对位部件相连的驱动装置。

在上述基础上优选的，所述对位部件还包括对位面，所述对位面面向所述基板的侧面；所述对位部件相对所述支架台可活动，以使所述对位面与所述基板的侧面有接触。

可选的，所述支撑部件包括第一支撑杆、第二支撑杆、以及定位件；所述对位部件套在所述第一支撑杆上；其中，所述第一支撑杆远离所述对位部件的一端位于所述第二支撑杆内，所述定位件用于将所述第一支撑杆固定在所述第二支撑杆内的所需位置；或者，所述第二支撑杆靠近所述对位部件的一端位于所述第一支撑杆内，所述定位件用于将所述第二支撑杆固定在所述第一支撑杆内的所需位置。

可选的，所述支撑部件包括第一支撑杆、第二支撑杆、以及至少一个垫圈；所述对位部件套在所述第一支撑杆上；其中，所述第一支撑杆远离所述对位部件的一端位于所述第二支撑杆内，所述垫圈套在所述第一支撑杆上、且所述垫圈位于所述对位部件与所述第二支撑杆之间。

另一方面，本发明实施例还提供了一种对位平台，包括机台、支承在所述机台上方的基板，还包括上述任一项所述的对位装置；其中，所述对位装置分别设置在所述基板的至少两个相对的侧面处。

本发明实施例提供了一种对位装置及对位平台，所述对位装置用于对支承在机台上方的基板进行对位，所述对位装置包括：支架台、与所述支架台连接的支撑部件、套在所述支撑部件上的对位部件、以及与所述对位部件连接的压力传感器。

当基板与机台表面由于发生静电吸附而无法悬浮起来时，通过与对位部件相连的压力传感器可以实时检测对位部件与基板相接触面的压力，避免了对位部件对基板产生过大的挤压力，减少了基板的玻璃基材由于受到过大挤压力而产生破损，提高了基板的对位效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种对位装置的结构示意图一；

图2为图1所示的对位装置的俯视结构示意图一；

图3为图1所示的对位装置的俯视结构示意图二；

图4为通过本发明实施例提供的一种对位装置与基板的对位示意图一；

图5为通过本发明实施例提供的一种对位装置与基板的对位示意图二；

图6(a)为本发明实施例提供的一种对位装置的结构示意图二；

图6(b)为本发明实施例提供的一种对位装置的结构示意图三；

图7为本发明实施例提供的一种对位装置的结构示意图四。

附图标记：

01-对位装置；02-机台；03-基板；03a-侧面；10-支架台；20-支撑部件；201-第一支撑杆；202-第二支撑杆；203-定位件；204-垫圈；30-对位部件；30a-端面；30b-对位面；40-(环形)压力传感器。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供了一种对位装置01，所述对位装置01用于对支承在机台上方的基板进行对位，如图1所示，所述对位装置01包括：支架台10、与所述支架台10连接的支撑部件20、套在所述支撑部件20上的对位部件30、以及与所述对位部件30连接的压力传感器40。

当所述基板与所述机台表面由于发生静电吸附而无法悬浮起来时，通过与所述对位部件30相连的压力传感器40可以实时检测所述对位部件30与所述基板相接触面的压力，避免了所述对位部件30对所述基板产生过大的挤压力，减少了所述基板的玻璃基材由于受到过大挤压力而产生破损，提高了所述基板的对位效率。

如图2和图3所示，由于所述支撑部件20通常为直杆状，为了有利于所述压力传感器40与所述对位部件30的连接，进一步优选的，所述压力传感器为环形压力传感器40。

其中，所述环形压力传感器40套在所述支撑部件20上、且位于所述对位部件30远离所述支架台10的端面30a上。

需要说明的是，本领域相关技术人员应当理解，由于所述环形压力传感器40是套在所述支撑部件20上的，因此，所述环形压力传感器40的内环直径应大于等于所述支撑部件20的直径、且所述环形压力传感器40的内环截面面积应小于所述对位部件30端面30a面积，以使所述环形压力传感器40能够稳定地放置在所述对位部件30所述端面30a上，这里，参考图2和图3所示，所述环形压力传感器40的环形面积可根据需要灵活调整，在此不作限定。

在此基础上，所述对位装置01还包括与所述压力传感器40相连的报警单元。

这样，当所述基板与所述机台发生静电吸附无法悬浮起来时，所述对位部件30与所述基板接触后对所述基板的挤压力大于设定的参数后，所述报警单元将发出报警信息(例如可以是声音信息的报警，也可是图像信息的报警等)，从而能够更及时地避免对位过程中所述基板由于受到挤压而产生破损。

此外，所述对位装置01还可包括与所述对位部件30相连的驱动装置。

这样，当所述对位部件30与所述基板接触后对所述基板的挤压力过大时，可通过与所述对位部件30相连的驱动装置驱动所述对位部件30沿背离所述基板的方向移动略微移动，避免了所述对位部件30对所述基板的继续挤压。

这里，所述驱动装置例如可以是气缸或电机等驱动机构，在此不作限定。当然，所述对位装置01还可包括连接所述对位部件30与所述驱动装置的连接杆等结构。

在上述基础上，当通过设置在所述机台上的吹气单元向所述基板进行吹气，以使所述基板悬浮在所述机台表面时，为了克服所述机台与所述基板之间的静电吸附，所述机台表面向上吹的气流量通常较大，这就往往会使所述基板漂移到所述对位部件30的上方，使得二者没有接触，导致无法正确对位。

因此，在上述基础上，所述对位部件30还包括对位面30b，所述对位面30b面向所述基板03的侧面03a；所述对位部件30相对所述支架台10可活动，以使所述对位面30b与所述基板03的侧面03a有接触。

需要说明的是，本发明实施例不对所述对位部件30相对所述支架台10可活动的方式做限定，例如，如图4所示，可通过改变所述对位部件30与所述支架台10之间的垂直高度，即，当所述基板03受到所述机台02的吹气过大而漂移到所述对位部件30的上方时，可通过升高所述对位部件30的位置，以使所述对位部件30与所述基板03的侧面03a有对位接触。

或者，如图5所示，当所述基板03漂移到所述对位部件30的上方时，可更换具有不同对位面30b高度的对位部件30，以保证所述对位面30b与所述基板03的侧面03a有接触。

基于此，由于所述对位部件30相对所述支架台10可活动，当通过设置在所述机台02表面的吹气单元向所述基板03进行吹气，由于气流过大导致所述基板03漂移到所述对位部件30的上方时，可以通过活动所述对位部件30，确保所述对位面30b与所述基板03的侧面03a有接触，从而提高了对位装置01对所述基板的对位效率，并减小了由于基板的漂移而产生的破损。

进一步的，所述对位部件30相对所述支架台10可活动，以使所述对位面30b与所述基板03的侧面03a有接触，可通过例如以下两种方式实现：

方式一、所述支撑部件20包括第一支撑杆201、第二支撑杆202、以及定位件203；所述对位部件30套在所述第一支撑杆201上。

其中，所述第一支撑杆201、所述第二支撑杆202、以及所述定位件203之间具有以下两种可能的相对位置关系，即：如图6(a)所示，所述第一支撑杆201远离所述对位部件30的一端位于所述第二支撑杆202内，所述定位件203用于将所述第一支撑杆201固定在所述第二支撑杆202内的所需位置。

或者，如图6(b)所示，所述第二支撑杆202靠近所述对位部件30的一端位于所述第一支撑杆201内，所述定位件203用于将所述第二支撑杆202固定在所述第一支撑杆201内的所需位置。

这样，参考图4所示，当所述基板03漂移到所述对位部件30的上方时，可以通过调整所述第一支撑杆201在所述第二支撑杆202内的位置，或调整所述第二支撑杆202在所述第一支撑杆201，以使所述对位部件30相对于所述支架台10的高度升高，从而保证所述对位部件30的对位面30b与所述基板03的侧面03a有接触，实现对所述基板03的对位过程。

方式二、如图7所示，所述支撑部件20包括第一支撑杆201、第二支撑杆202、以及至少一个垫圈204；所述对位部件30套在所述第一支撑杆201上。

其中，所述第一支撑杆201远离所述对位部件30的一端位于所述第二支撑杆202内，所述垫圈204套在所述第一支撑杆201上、且所述垫圈204位于所述对位部件30与所述第二支撑杆202之间。

需要说明的是，本领域相关技术人员应当理解，由于所述垫圈204是套在所述第一支撑杆201上的、其目的是为了将所述对位部件30的高度垫高，因此，所述垫圈204的内环直径应大于等于所述第一支撑杆201的直径，并且，当所述垫圈204的内环直径大于所述第一支撑杆201的直径时，该直径还应满足小于等于所述第二支撑杆的直径，以使所述垫圈204能够稳定地放置在所述第二支撑杆202面向所述对位部件30的一侧上。

这样，当所述基板03漂移到所述对位部件30的上方时，可以通过在所述对位部件30与所述第二支撑杆202之间设置至少一个所述垫圈204，或更换具有不同厚度的所述垫圈204，相当于将所述对位部件30相对于所述支架台10的高度垫高，从而保证所述对位部件30的对位面30b与所述基板03的侧面03a有接触，实现对所述基板03的对位过程。

本发明实施例还提供了一种对位平台，所述对位平台包括机台02、支承在所述机台02上方的基板03、还包括上述的所述对位装置01；其中，所述对位装置01分别设置在所述基板03的至少两个相对的侧面处。

这里，考虑到所述基板03对位的准确性，在所述基板03的四个侧面处应至少设置有一个所述对位装置01，且所述对位装置01相互对称设置。

基于此，通过上述对位装置01，可避免当所述基板03与所述机台02发生静电吸附无法悬浮起来时，由于所述对位部件30对所述基板03产生过大的挤压力，而产生的所述基板03的破损。此外，当通过设置在所述机台02表面的吹气单元向所述基板03进行吹气，由于气流过大导致所述基板03漂移到所述对位部件30的上方时，可以通过活动所述对位部件30，能够确保所述对位面30b与所述基板03的侧面03a有接触，还可提高了对位装置01对所述基板的对位效率，进一步减小了由于基板的漂移而产生的破损，并提高了基板的对位效率。

需要说明的是，本发明实施例所有附图是上述对位装置及对位平台的简略的示意图，只为清楚描述本方案体现了与发明点相关的结构，对于其他的与发明点无关的结构是现有结构，在附图中并未体现或只体现部分。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (5)

1.一种对位装置，用于对支承在机台上方的基板进行对位，其特征在于，所述对位装置包括：支架台、与所述支架台连接的支撑部件、套在所述支撑部件上的对位部件、以及与所述对位部件连接的压力传感器；

所述对位部件还包括对位面，所述对位面面向所述基板的侧面；所述对位部件相对所述支架台可活动，以使所述对位面与所述基板的侧面有接触；

所述支撑部件包括第一支撑杆、第二支撑杆、以及至少一个垫圈；所述对位部件套在所述第一支撑杆上；其中，所述第一支撑杆远离所述对位部件的一端位于所述第二支撑杆内，所述垫圈套在所述第一支撑杆上、且所述垫圈位于所述对位部件与所述第二支撑杆之间。

2.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，所述压力传感器为环形压力传感器；

其中，所述环形压力传感器套在所述支撑部件上、且位于所述对位部件远离所述支架台的端面上。

3.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，还包括与所述压力传感器相连的报警单元。

4.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，还包括与所述对位部件相连的驱动装置。

5.一种对位平台，包括机台、支承在所述机台上方的基板、其特征在于，还包括如权利要求1至4任一项所述的对位装置；

其中，所述对位装置分别设置在所述基板的至少两个相对的侧面处。