CN107462228A - 定位装置及定位方法、彩膜涂布机 - Google Patents

定位装置及定位方法、彩膜涂布机 Download PDF

Info

Publication number
CN107462228A
CN107462228A CN201710583040.7A CN201710583040A CN107462228A CN 107462228 A CN107462228 A CN 107462228A CN 201710583040 A CN201710583040 A CN 201710583040A CN 107462228 A CN107462228 A CN 107462228A
Authority
CN
China
Prior art keywords
projecting apparatus
servomotor
laser projecting
coordinate
servo
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710583040.7A
Other languages
English (en)
Inventor
周文辉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Priority to CN201710583040.7A priority Critical patent/CN107462228A/zh
Priority to PCT/CN2017/096552 priority patent/WO2019014984A1/zh
Priority to US15/750,436 priority patent/US10955239B2/en
Publication of CN107462228A publication Critical patent/CN107462228A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C15/00—Surveying instruments or accessories not provided for in groups G01C1/00 - G01C13/00
    • G01C15/002—Active optical surveying means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points

Abstract

本发明提供了一种定位装置，包括激光投射器以及驱动激光投射器以及对坐标数据进行采集的伺服系统。本发明还提供了一种定位方法以及一种彩膜涂布机，包括一仓体以及设于仓体内的大理石平台，还包括所述的定位装置，所述激光投射器设于仓体的内侧顶部，激光投射器的投射方向与大理石平台的表面相对。与现有技术相比，设置激光投射器以及与之相连的伺服系统，通过获知激光投射器的当前位置从而输出相应的坐标，使得能够在大理石平台上快速的根据坐标找到对应的目标异物，及时清除，节省检查时间，从而提升产品的良率。

Description

定位装置及定位方法、彩膜涂布机
技术领域
本发明涉及一种检测技术，特别是一种定位装置及定位方法、彩膜涂布机。
背景技术
平板显示制造产业中，异物尘埃是影响生产的重要问题。生产过程中当一粒尘埃落在彩膜涂布机的大理石平台上，生产的产品将产生Mura(条纹)造成品质不良。通常Mura检查机检出该不良后，工程人员根据检查机提供的精确坐标，对应清洁涂布机大理石平台上的微粒尘埃，复机生产终止不良产生。随着面板厂世代越来越大，涂布机大理石平台尺寸也越来越大，在一个如同房间那么大的区域内，如何准确快速找到那颗微粒尘埃所在位置并将其清除，是维持工厂高效生产的关键。
因此彩膜涂布机一般在大理石平台边缘贴上带刻度的标尺，工程人员根据X方向以及Y方向标尺提供的参考来估算尘埃微粒所在位置，进而对其进行清洁；由于标尺是贴在大理石平台边缘，当目标异物的坐标在大理石平台的四周边缘位置时，可以在比较小的误差内锁定目标，但是当目标异物在大理石平台远离四周边缘的位置时，由于人眼的误差，以及工程人员爬上大理石平台后移动时带来的误差，导致无法精确定位到目标异物的坐标，从而延长了检查以及清除的时间。
发明内容
为克服现有技术的不足，本发明提供一种定位装置及定位方法、彩膜涂布机，使得能够快速准确的对目标异物进行定位，从而节省检查时间，降低产品的不良率。
本发明提供了一种定位装置，包括激光投射器以及驱动激光投射器以及对坐标数据进行采集的伺服系统。
进一步地，所述伺服系统包括至少两个用于驱动激光投射器实现球坐标旋转的伺服电机、与伺服电机连接的伺服驱动器，所述伺服驱动器用于控制伺服电机的转动角度以及坐标数据的输出，两个伺服电机中其中一个伺服电机用于驱动激光投射器实现水平方向旋转，另一个伺服电机用于驱动激光投射器实现垂直方向旋转，用于驱动激光投射器实现垂直方向旋转的伺服电机固定于用于驱动激光投射器实现水平方向旋转的伺服电机的输出轴上，激光投射器固定在用于驱动激光投射器实现垂直方向旋转的伺服电机的输出轴上。
进一步地，所述伺服系统包括一用于驱动激光投射器实现垂直方向旋转的一伺服电机、用于驱动激光投射器实现水平方向移动的直线电机、及与伺服电机和直线电机连接的伺服驱动器，所述伺服驱动器用于控制伺服电机的转动角度、直线电机的移动距离以及坐标数据的输出，伺服电机固定于直线电机上，伺服电机的轴线与直线电机平行，激光投射器固定在伺服电机的输出轴上。
进一步地，所述伺服系统还包括一计算机，用于与伺服驱动器连接以实现坐标数据显示以及坐标数据的输入。
本发明还提供了一种定位方法，包括一激光投射器，所述定位方法包括：
以激光投射器为球心建立球坐标系；
建立一平面直角坐标系；
将球坐标系的坐标原点与平面直角坐标系的坐标原点对应，并且将球坐标系中的坐标与平面直角坐标系中的坐标一一对应；
通过获取激光投射器投射点的球坐标并且进行球坐标系与直角坐标系的转换，得到激光投射器投射点所对应的直角坐标，提取直角坐标中x、y的值从而获得激光投射器投射点所在平面直角坐标系中的坐标。
本发明进一步地提供了另一种定位方法，包括一激光投射器，所述定位方法包括：
以激光投射器所在的垂直轴线作为Z轴，建立柱坐标系；
建立一平面直角坐标系；
将柱坐标系的坐标原点与平面直角坐标系的坐标原点对应，并且将柱坐标系中的坐标与平面直角坐标系中的坐标一一对应；
获取激光投射器投射点的柱坐标并且进行柱坐标系与直角坐标系的转换，得到激光投射器投射点所对应的直角坐标，提取直角坐标中x、y的值，从而获得激光投射器投射点所在平面坐标系中的坐标。
本发明还提供了一种彩膜涂布机，包括一仓体以及设于仓体内的大理石平台，还包括所述的定位装置，所述激光投射器设于仓体的内侧顶部，激光投射器的投射方向与大理石平台的表面相对。
进一步地，所述伺服系统包括至少两个用于驱动激光投射器实现球坐标旋转的伺服电机、与伺服电机连接的伺服驱动器，所述伺服驱动器用于控制伺服电机的转动角度以及坐标数据的输出，两个伺服电机中其中一个伺服电机用于驱动激光投射器实现水平方向旋转，另一个伺服电机用于驱动激光投射器实现垂直方向旋转，用于驱动激光投射器实现垂直方向旋转的伺服电机固定于用于驱动激光投射器实现水平方向旋转的伺服电机的输出轴上，用于驱动激光投射器实现水平方向旋转的伺服电机通过支架固定在仓体的内侧顶部，激光投射器固定在用于驱动激光投射器实现垂直方向旋转的伺服电机的输出轴上。
进一步地，所述伺服系统包括一用于驱动激光投射器实现垂直方向旋转的一伺服电机、用于驱动激光投射器实现水平方向移动的直线电机、及与伺服电机和直线电机连接的伺服驱动器，所述伺服驱动器用于控制伺服电机的转动角度、直线电机的移动距离以及坐标数据的输出，伺服电机固定于直线电机上，伺服电机的轴线与直线电机平行，激光投射器固定在伺服电机的输出轴上。
进一步地，所述伺服系统还包括一计算机，用于与伺服驱动器连接以实现坐标数据显示以及坐标数据的输入。
本发明与现有技术相比，设置激光投射器以及与之相连的伺服系统，通过获知激光投射器的当前位置从而输出相应的坐标，使得能够在大理石平台上快速的根据坐标找到对应的目标异物，及时清除，节省检查时间，从而提升产品的良率。
附图说明
图1是本发明的第一种定位装置的结构示意图；
图2是本发明的第二种定位装置的结构示意图；
图3是本发明的第一种定位方法的流程图；
图4是本发明的第二种定位方法的流程图；
图5是本发明第一种定位装置安装在彩膜涂布机中的结构示意图；
图6是本发明第二种定位装置安装在彩膜涂布机中的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
如图1所示，本发明的定位装置，包括激光投射器1以及驱动激光投射器1以及对坐标数据进行采集的伺服系统2。
本发明中，伺服系统2可采用两种方式实现，下面对伺服系统2的结构做详细的说明。
如图1所示，本发明实施例1的定位装置中，伺服系统2包括至少两个用于驱动激光投射器1实现球坐标旋转的伺服电机3、与伺服电机3连接的伺服驱动器4以及与伺服驱动器4连接的计算机5，其中：伺服驱动器4用于控制伺服电机3的转动角度以及坐标数据的输出，本实施例中伺服电机3设置两个，分别为第一伺服电机31、第二伺服电机32，第一伺服电机31用于驱动激光投射器1实现水平方向旋转，第二伺服电机32用于驱动激光投射器1实现垂直方向旋转，第二伺服电机32通过支架连接在第一伺服电机31的输出轴上，第二伺服电机32的轴线与第一伺服电机31的轴线垂直，激光投射器1固定在地二伺服电机32的输出轴上，计算机5通过与伺服驱动器4连接以实现将伺服驱动器4发来的坐标数据进行显示以及坐标数据的输入，从而使伺服驱动器4根据输入的坐标数据驱动伺服电机3旋转最终使激光投射器1的投射点投射到对应的坐标上。
本发明的第一种定位方法结合实施例1，如图3所示，其步骤如下：
以激光投射器1为球心建立球坐标系
建立一平面直角坐标系(x，y)；
将球坐标系的坐标原点与平面直角坐标系的坐标原点对应，并且将球坐标系中的坐标与平面直角坐标系中的坐标一一对应；
通过两个伺服电机3的转角从而获取激光投射器1投射点的球坐标并且进行球坐标系与直角坐标系的转换，得到激光投射器1投射点所对应的直角坐标(x，y，z)，提取直角坐标中x、y的值从而获得激光投射器1投射点所在平面坐标系中的坐标(x，y)，这里值得注意的是，激光投射器1投射点的球坐标可通过获取伺服电机3的转角而确定，球坐标系与直角坐标系的转换可采用现有技术的转换公式：z＝rcosθ而获得，在此不做详细的阐述。
如图2所示，本发明实施例2的定位装置中，伺服系统2包括一用于驱动激光投射器1实现垂直方向旋转的一伺服电机3、用于驱动激光投射器1实现水平方向移动的直线电机6、与伺服电机3、直线电机6连接的伺服驱动器4、及与伺服驱动器4连接的计算机5，其中，伺服电机3通过支架固定于直线电机6的动子上，伺服电机3的轴线与直线电机6平行，激光投射器1固定在伺服电机3的输出轴上，伺服驱动器4用于控制伺服电机3的转动角度、直线电机6的移动距离以及坐标数据的输出，计算机5通过与伺服驱动器4连接以实现将伺服驱动器4发来的坐标数据进行显示以及坐标数据的输入，从而使伺服驱动器4根据输入的坐标数据驱动伺服电机3旋转以及直线电机6移动最终使激光投射器1的投射点投射到对应的坐标上。
本发明的第一种定位方法结合实施例1，如图4所示，其步骤如下：
以激光投射器1所在的垂直轴线作为Z轴，建立柱坐标系(r，θ，z)；
建立一平面直角坐标系(x，y)；
将柱坐标系的坐标原点与平面直角坐标系的坐标原点对应，并且将柱坐标系中的坐标与平面直角坐标系中的坐标一一对应；
通过直线电机6的移动距离以及伺服电机3的转角从而获取激光投射器1投射点的柱坐标并且进行柱坐标系与直角坐标系的转换，得到激光投射器1投射点所对应的直角坐标(x，y，z)，提取直角坐标中x、y的值从而获得激光投射器1投射点所在平面坐标系中的坐标(x，y)，这里值得注意的是，激光投射器1投射点的柱坐标可通过获取直线电机6的位置以及伺服电机3的转角而确定，柱坐标系与直角坐标系的转换可采用现有技术的转换公式：x＝rcosθ；y＝rsinθ；z＝z而获得，在此不做详细的阐述。
如图5所示，本发明的第一种彩膜涂布机包括一仓体7以及设于仓体7内的大理石平台8、及实施例1中的定位装置，其中，所述激光投射器1设于仓体7的内侧顶部，第一伺服电机31通过支架固定在仓体7的内侧顶部，激光投射器1固定在第二伺服电机31的输出轴上，激光投射器1的投射方向与大理石平台8的表面相对，第一伺服电机31的轴线与大理石平台8的表面平行，而第二伺服电机32的轴线则与大理石平台的表面垂直，此处，在用于定位装置实施例1的定位方法中，平面直角坐标系由大理石平台8的表面构建，这里值得注意的是，激光投射器1可以与大理石平台8的其中一个顶角相对，而该顶角作为平面直角坐标系的坐标原点，该原点则可作为激光投射器1的初始化位置，计算机5以及伺服驱动器4设置在仓体7外。
如图6所示，本发明第二种彩膜涂布机包括一仓体7以及设于仓体7内的大理石平台8、及实施例2中的定位装置，其中，所述激光投射器1设于仓体7的内侧顶部，直线电机6通过支架固定在仓体7的内侧顶部，激光投射器1固定在伺服电机31的输出轴上，激光投射器1的投射方向与大理石平台8的表面相对，直线电机6与大理石平台8的表面平行，而伺服电机3的轴线则与大理石平台的表面平行，此处，在用于定位装置实施例2的定位方法中，平面直角坐标系由大理石平台8的表面构建，这里值得注意的是，激光投射器1可以与大理石平台8的其中一个顶角相对，而该顶角作为平面直角坐标系的坐标原点，该原点则可作为激光投射器1的初始化位置，计算机5以及伺服驱动器4设置在仓体7外。
本发明中激光投射器1、伺服驱动器4以及计算机5还与电源连接，其中激光投射器1的开启可通过计算机5进行控制，也可通过设置手动开关实现开启，在此不作具体限定。
本发明中伺服驱动器对直线电机以及伺服电机的控制以及计算均采用现有技术，在此不做具体限定，仅需要能够实现上述功能即可。
本发明在已知坐标情况下，通过在计算机上输入坐标值，启动该定位装置，伺服驱动器换算成相应的转角或位置后，伺服电机或直线电机从初始化位置转动至目标位置，实现精准定位，生产异常问题快速解决对应，提升产线稼动率；及时终止不良品产出，提升产品品质良率；目标平面上某处出现目标异物，操作人员手动转动该装置将镭射投光至目标位置，按下读取坐标按钮，伺服系统复位，控制电脑通过伺服系统复位过程的转动角度来回推计算出目标异物的坐标值，实现精准获取坐标功能。
本发明的定位装置除可用于彩膜涂布机外还可用于巨观检查机。
虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。

Claims (10)

1.一种定位装置，其特征在于：包括激光投射器(1)以及驱动激光投射器(1)以及对坐标数据进行采集的伺服系统(2)。
2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于：所述伺服系统(2)包括至少两个用于驱动激光投射器(1)实现球坐标旋转的伺服电机(3)、与伺服电机(3)连接的伺服驱动器(4)，所述伺服驱动器(4)用于控制伺服电机(3)的转动角度以及坐标数据的输出，两个伺服电机(3)中其中一个伺服电机(3)用于驱动激光投射器(1)实现水平方向旋转，另一个伺服电机(3)用于驱动激光投射器(1)实现垂直方向旋转，用于驱动激光投射器(1)实现垂直方向旋转的伺服电机(3)固定于用于驱动激光投射器(1)实现水平方向旋转的伺服电机(3)的输出轴上，激光投射器(1)固定在用于驱动激光投射器(1)实现垂直方向旋转的伺服电机(3)的输出轴上。
3.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于：所述伺服系统(2)包括一用于驱动激光投射器(1)实现垂直方向旋转的一伺服电机(3)、用于驱动激光投射器(1)实现水平方向移动的直线电机(6)、及与伺服电机(3)和直线电机(6)连接的伺服驱动器(4)，所述伺服驱动器(4)用于控制伺服电机(3)的转动角度、直线电机(6)的移动距离以及坐标数据的输出，伺服电机(3)固定于直线电机(6)上，伺服电机(3)的轴线与直线电机(6)平行，激光投射器(1)固定在伺服电机(3)的输出轴上。
4.根据权利要求2或3所述的定位装置，其特征在于：所述伺服系统(2)还包括一计算机(5)，用于与伺服驱动器(4)连接以实现坐标数据显示以及坐标数据的输入。
5.一种定位方法，其特征在于：包括一激光投射器(1)，所述定位方法包括：
以激光投射器(1)为球心建立球坐标系；
建立一平面直角坐标系；
将球坐标系的坐标原点与平面直角坐标系的坐标原点对应，并且将球坐标系中的坐标与平面直角坐标系中的坐标一一对应；
通过获取激光投射器(1)投射点的球坐标并且进行球坐标系与直角坐标系的转换，得到激光投射器(1)投射点所对应的直角坐标，提取直角坐标中x、y的值从而获得激光投射器(1)投射点所在平面直角坐标系中的坐标。
6.一种定位方法，其特征在于：包括一激光投射器(1)，所述定位方法包括：
以激光投射器(1)所在的垂直轴线作为Z轴，建立柱坐标系；
建立一平面直角坐标系；
将柱坐标系的坐标原点与平面直角坐标系的坐标原点对应，并且将柱坐标系中的坐标与平面直角坐标系中的坐标一一对应；
获取激光投射器(1)投射点的柱坐标并且进行柱坐标系与直角坐标系的转换，得到激光投射器(1)投射点所对应的直角坐标，提取直角坐标中x、y的值，从而获得激光投射器(1)投射点所在平面坐标系中的坐标。
7.一种彩膜涂布机，包括一仓体(7)以及设于仓体(7)内的大理石平台(8)，其特征在于：还包括如权利要求1所述的定位装置，所述激光投射器(1)设于仓体(7)的内侧顶部，激光投射器(1)的投射方向与大理石平台(8)的表面相对。
8.根据权利要求7所述的彩膜涂布机，其特征在于：所述伺服系统(2)包括至少两个用于驱动激光投射器(1)实现球坐标旋转的伺服电机(3)、与伺服电机(3)连接的伺服驱动器(4)，所述伺服驱动器(4)用于控制伺服电机(3)的转动角度以及坐标数据的输出，两个伺服电机(3)中其中一个伺服电机(3)用于驱动激光投射器(1)实现水平方向旋转，另一个伺服电机(3)用于驱动激光投射器(1)实现垂直方向旋转，用于驱动激光投射器(1)实现垂直方向旋转的伺服电机(3)固定于用于驱动激光投射器(1)实现水平方向旋转的伺服电机(3)的输出轴上，用于驱动激光投射器(1)实现水平方向旋转的伺服电机(3)通过支架固定在仓体(7)的内侧顶部，激光投射器(1)固定在用于驱动激光投射器(1)实现垂直方向旋转的伺服电机(3)的输出轴上。
9.根据权利要求7所述的彩膜涂布机，其特征在于：所述伺服系统(2)包括一用于驱动激光投射器(1)实现垂直方向旋转的一伺服电机(3)、用于驱动激光投射器(1)实现水平方向移动的直线电机(6)、及与伺服电机(3)和直线电机(6)连接的伺服驱动器(4)，所述伺服驱动器(4)用于控制伺服电机(3)的转动角度、直线电机(6)的移动距离以及坐标数据的输出，伺服电机(3)固定于直线电机(6)上，伺服电机(3)的轴线与直线电机(6)平行，激光投射器(1)固定在伺服电机(3)的输出轴上。
10.根据权利要求8或9所述的彩膜涂布机，其特征在于：所述伺服系统(2)还包括一计算机(5)，用于与伺服驱动器(4)连接以实现坐标数据显示以及坐标数据的输入。
CN201710583040.7A 2017-07-17 2017-07-17 定位装置及定位方法、彩膜涂布机 Pending CN107462228A (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710583040.7A CN107462228A (zh) 2017-07-17 2017-07-17 定位装置及定位方法、彩膜涂布机
PCT/CN2017/096552 WO2019014984A1 (zh) 2017-07-17 2017-08-09 定位装置及定位方法、彩膜涂布机
US15/750,436 US10955239B2 (en) 2017-07-17 2017-08-09 Positioning device and positioning method, color film coating machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710583040.7A CN107462228A (zh) 2017-07-17 2017-07-17 定位装置及定位方法、彩膜涂布机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107462228A true CN107462228A (zh) 2017-12-12

Family

ID=60544306

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710583040.7A Pending CN107462228A (zh) 2017-07-17 2017-07-17 定位装置及定位方法、彩膜涂布机

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN107462228A (zh)
WO (1) WO2019014984A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108267875A (zh) * 2018-02-01 2018-07-10 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种面板点灯测试系统及测试方法
CN109507815A (zh) * 2018-12-05 2019-03-22 武汉精立电子技术有限公司 一种液晶显示屏背光检测中快速定位缺陷位置的方法
CN109874019A (zh) * 2019-03-26 2019-06-11 深圳大学 一种不平等误差保护辅助关注区域无线全景视频的方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1221500A (zh) * 1996-06-06 1999-06-30 波音公司 提高机器精度的方法
JP2002001195A (ja) * 2000-06-19 2002-01-08 Toray Ind Inc 塗布方法および塗布装置並びにカラーフィルタの製造方法およびその製造装置
JP2006110488A (ja) * 2004-10-15 2006-04-27 Toray Eng Co Ltd 塗布装置
CN1894557A (zh) * 2003-12-16 2007-01-10 特里伯耶拿有限公司 探测仪器的校准
JP2007173387A (ja) * 2005-12-20 2007-07-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
CN202124565U (zh) * 2011-06-16 2012-01-25 北京京东方光电科技有限公司 一种apr板的异物清除装置和涂布设备
CN104808213A (zh) * 2015-05-11 2015-07-29 合肥京东方光电科技有限公司 异物检测装置和涂布系统
CN105527656A (zh) * 2015-11-26 2016-04-27 中国民用航空总局第二研究所 塔架式机场跑道异物定位方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4593223B2 (ja) * 2004-02-19 2010-12-08 株式会社トプコン 座標測定システム
TWI381289B (zh) * 2009-05-13 2013-01-01 Chih Hsiung Lin An input device and method comprising a photosensitive element
CN102012571B (zh) * 2010-10-13 2012-08-29 苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 平板显示器的显示屏基板上贴敷acf膜的对位方法
CN103101060B (zh) * 2011-11-11 2015-07-01 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 机器人工具中心点的传感校正方法
CN102975375A (zh) * 2012-12-05 2013-03-20 成都飞机工业（集团）有限责任公司 激光定位检测复合材料自动铺带质量的方法
CN104298244B (zh) * 2013-07-17 2016-12-28 刘永 一种工业机器人三维实时高精度定位装置的定位方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1221500A (zh) * 1996-06-06 1999-06-30 波音公司 提高机器精度的方法
JP2002001195A (ja) * 2000-06-19 2002-01-08 Toray Ind Inc 塗布方法および塗布装置並びにカラーフィルタの製造方法およびその製造装置
CN1894557A (zh) * 2003-12-16 2007-01-10 特里伯耶拿有限公司 探测仪器的校准
JP2006110488A (ja) * 2004-10-15 2006-04-27 Toray Eng Co Ltd 塗布装置
JP2007173387A (ja) * 2005-12-20 2007-07-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
CN202124565U (zh) * 2011-06-16 2012-01-25 北京京东方光电科技有限公司 一种apr板的异物清除装置和涂布设备
CN104808213A (zh) * 2015-05-11 2015-07-29 合肥京东方光电科技有限公司 异物检测装置和涂布系统
CN105527656A (zh) * 2015-11-26 2016-04-27 中国民用航空总局第二研究所 塔架式机场跑道异物定位方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108267875A (zh) * 2018-02-01 2018-07-10 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种面板点灯测试系统及测试方法
CN109507815A (zh) * 2018-12-05 2019-03-22 武汉精立电子技术有限公司 一种液晶显示屏背光检测中快速定位缺陷位置的方法
CN109507815B (zh) * 2018-12-05 2022-06-21 武汉精立电子技术有限公司 一种液晶显示屏背光检测中快速定位缺陷位置的方法
CN109874019A (zh) * 2019-03-26 2019-06-11 深圳大学 一种不平等误差保护辅助关注区域无线全景视频的方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2019014984A1 (zh) 2019-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107462228A (zh) 定位装置及定位方法、彩膜涂布机
CN106814550B (zh) 工件台基板交接装置与预对准方法
CN103962347B (zh) 一种清洁系统和方法
TW201707934A (zh) 列印平台調校系統及其調校方法
CN106194943A (zh) 主摄像头模组主动对准的组装机台
WO2016188348A1 (zh) 一种对盒设备、对位方法
CN204088274U (zh) 探针台的晶圆芯粒自动对准装置
CN105304541A (zh) 一种半导体晶圆自动定位装置
JP2006346593A (ja) ペースト塗布装置
CN206235296U (zh) 五金件视觉检测设备
CN111097660B (zh) 一种基于旋转点胶装置的视觉定位纠偏方法
CN102267274B (zh) 微米精度三层平面工件对位机器人系统
CN205785105U (zh) 一种检测平面的检测仪
KR101668085B1 (ko) 곡면 디스플레이 패널 검사장치
CN105933605A (zh) 一种摄像头调焦部自动校正装置与方法
CN101718541B (zh) 涂敷层nd方向膜厚的自动测量装置及方法
CN103293867A (zh) 一种方形基板预对准装置及方法
CN207557649U (zh) 边缘光刻胶去除装置及涂胶机
CN113358070A (zh) 一种汽车刹车片平整度及销钉高度检测系统及其检测方法
TWM443850U (en) Automated optical inspection mechanism
US10955239B2 (en) Positioning device and positioning method, color film coating machine
CN206772244U (zh) 一种电芯r角检测装置及电芯r角检测箱
KR101279733B1 (ko) 평판 디스플레이 장치용 글라스기판 스크라이버
CN102183880A (zh) Led自动曝光机基板快速预定位装置
CN205537628U (zh) 视觉立体检测模组

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20171212

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication