CN203700509U - 一种旋转平台机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种旋转平台机构，包括：一驱动组件、一与驱动组件连接的旋转组件和一固定在旋转组件上的限位组件，驱动组件驱动旋转组件上的旋转盘转动，限位组件的旋转光电感应器、感应棒和感应信号元件固定在旋转组件上，限位组件控制旋转盘的运动。与现有技术相比，该旋转平台机构尤其适用于真空镀膜生产线中连接基片传送流水线与与镀膜流水线，使基片传送流水线上的基片安全可靠的调转方向180度进入镀膜流水线，防止基片出现重心不稳现象，节约人力物力，减少占地面积，安全可靠迅速，因此其应用前景十分广阔。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜生产线领域，具体说，是涉及一种用于真空镀膜生产线的旋转平台机构。
背景技术
真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的玻璃或其他材料被称为基片，镀的材料被称为靶材。
为了节约占地面积和提高工作效率，本实用新型人提供了一种将基片传送流水线与镀膜流水线平行设置的生产线，然后建立圆弧轨道连接在一起。然而这种连接方式，基片传送装置需要是柔性的，或者说基片传送装置是能弯曲的，然而传送装置一般传送的基片一般为整块的，例如玻璃、塑料，需要传送装置很平稳的将基片传送至进口腔内，这样就使得圆弧轨道的弧度很大，这样占地面积将扩大，而且当传送装置在圆弧轨道上运行时，基片传送装置的稳定性不可靠，特别是当传送装置“转弯”时，基片传送装置很有可能因为重心不稳，基片传送装置倒下，造成装置损坏和人员伤亡的情况。因此，如何使基片安全可靠的调转方向180度镀膜是亟需解决的问题。
发明内容
针对现有技术存在的上述问题，本实用新型的目的是提供一种旋转平台机构，该旋转平台机构应用于真空镀膜生产线中，使基片安全可靠迅速的运送，节约占地面积，提高工作效率。
为实现上述发明目的，本实用新型采用的技术方案如下：
一种旋转平台机构，包括：
一驱动组件，驱动组件包括一电机、一第一驱动元件和一第二驱动元件，电机与第一驱动元件连接，第一驱动元件与第二驱动元件连接；
一旋转组件，旋转组件与驱动组件连接，旋转组件包括一固定架和一旋转盘，旋转盘与第二驱动元件连接，电机安装在固定架上；和
一限位组件，限位组件固定在旋转组件上，限位组件包括一旋转光电感应器、一感应棒和至少一个感应信号元件，感应信号元件与旋转光电感应器连接，感应信号元件与感应棒之间通过光电距离感应，感应信号元件设置在固定架上，旋转光电感应器和感应棒安装在旋转盘上。
优选地，旋转平台机构进一步包括一控制器，控制器与旋转光电感应器和电机连接。
更优选地，该控制器优选为PLC可编程控制器。
优选地，电机进一步包括一旋转轴，第一驱动元件设置在旋转轴上。
优选地，第二驱动元件设置在旋转盘上，第一驱动元件与第二驱动元件通过齿轮啮合连接，电机上的旋转轴驱动第一驱动元件运动，第一驱动元件带动第二驱动元件运动。
更优选地，第一驱动元件为一齿轮，第二驱动元件为一回转支承，第一驱动元件与第二驱动元件通过齿轮啮合。
优选地，旋转平台机构进一步包括基片传送组件，基片传送组件固定在旋转盘上，当旋转盘旋转时，带动基片传送组件随同旋转盘运动。
更优选地，基片传送组件进一步包括至少一个传动座和一驱动电机，传动座与驱动电机连接，驱动电机驱动传动座传动，这样带动传动座上的基片运动。
优选地，旋转平台机构的旋转盘的直径不小于基片或基片架的直径。
优选地，旋转光电感应器设置在旋转盘的一端，感应棒与感应信号元件之间通过光电距离感应，感应信号元件围绕旋转盘的中心分布在固定架，感应信号元件的分布位置与感应棒随旋转盘旋转的轨迹一致。
更优选地，感应棒与感应信号元件之间的距离不大于10mm时，感应信号元件发射信号给旋转光电感应器。
更优选地，限位组件进一步包括至少一个导位槽，导位槽围绕旋转盘的中心分布在旋转盘上，导位槽的分布位置与感应棒随旋转盘旋转的轨迹一致，感应棒安装在导位槽内。
优选地，真空镀膜生产线包括基片传送流水线与镀膜流水线，旋转平台机构设置在基片传送流水线与镀膜流水线的两端部，连接基片传送流水线和镀膜流水线。
与现有技术相比，本实用新型提供的一种旋转平台机构，通过电机带动旋转盘转动，且设置有限位组件，限位组件的感应棒设置在旋转盘上，感应信号元件通过感应旋转盘上感应棒的位置传递给旋转光电感应器自动控制旋转盘的启动、停止和往复动作，高智能化，该旋转平台机构尤其适用于真空镀膜生产线中，使基片安全可靠的调转方向180度进入镀膜，防止基片出现重心不稳现象，节约人力物力，减少占地面积，安全可靠迅速，因此其应用前景十分广阔。
附图说明
图1为本实用新型提供的旋转平台机构的一种优选实施方式的主视图；
图2为本实用新型提供的旋转平台机构的一种优选实施方式的俯视图；
图3为本实用新型提供的旋转平台机构的一种优选实施方式的侧视图。
具体实施方式
下面结合实施方式及附图对本实用新型作进一步详细、完整地说明。
图1至图3为本实用新型提供的旋转平台机构的一种优选实施方式。如图1至图3所示，为旋转平台机构一种优选实施方式的示意图。该旋转平台机构应用于真空镀膜生产线中，旋转平台机构包括一驱动组件10、一旋转组件20和一限位组件30，驱动组件10与旋转组件20连接，限位组件30设置在旋转组件20上。
驱动组件10进一步包括一第一驱动元件11、一第二驱动元件12和一电机13，电机13与第一驱动元件11连接，第一驱动元件11与第二驱动元件12连接。电机13进一步包括一旋转轴131，第一驱动元件11设置在旋转轴131上。
旋转组件20与驱动组件10连接，旋转组件20进一步包括一固定架21和一旋转盘22，旋转盘22与第二驱动元件12连接，电机13安装在固定架21上。旋转盘22的直径不小于基片的直径。第二驱动元件12设置在旋转盘22上，第一驱动元件11与第二驱动元件12通过齿轮啮合连接，电机13上的旋转轴131驱动第一驱动元件11运动，第一驱动元件11带动第二驱动元件12运动。
第一驱动元件11优选为一齿轮，第二驱动元件12优选为一回转支承，第一驱动元件11与第二驱动元件12通过齿轮啮合。
限位组件30进一步包括一旋转光电感应器31、一感应棒32和至少一个感应信号元件33，旋转光电感应器31与感应棒32连接，感应信号元件33设置在固定架21上，旋转光电感应器31和感应棒32安装在旋转盘22上。旋转光电感应器31设置在旋转盘22的一端，感应棒32与感应信号元件33之间通过光电距离感应，感应信号元件33围绕旋转盘22的中心分布在固定架21，感应信号元件33的分布位置与感应棒32随旋转盘22旋转的轨迹一致。优选感应棒32与感应信号元件33之间的距离不大于10mm时，感应信号元件33发射信号给旋转光电感应器31。优选地，2个感应信号元件33围绕旋转盘22的中心呈180度分布在固定架21上。
限位组件30进一步包括至少一个导位槽34，导位槽34围绕旋转盘22的中心分布在旋转盘22上，导位槽34的分布位置与感应棒32随旋转盘22旋转的轨迹一致，感应棒32安装在导位槽34内。优选地，2个导位槽34围绕旋转盘22的中心呈180度分布在旋转盘22。
第一驱动元件11为齿轮，第二驱动元件12包括一驱动齿轮122，第一驱动元件11与第二驱动元件12通过齿轮传动，第一驱动元件11的齿轮直径小于驱动齿轮122的齿轮直径，这样当电机13的旋转轴131带动第一驱动元件11旋转时，第一驱动元件11快速旋转，带到第二驱动元件12的驱动齿轮122旋转。
旋转平台机构进一步包括基片传送组件40，基片传送组件40固定在旋转盘22上，当旋转盘22旋转时，带动基片传送组件40运动。基片传送组件40进一步包括至少一个传动座41和一驱动电机42，传动座41与驱动电机42连接，驱动电机42驱动传动座41传动，这样带动传动座41上的基片运动。
旋转平台机构进一步包括一控制器50（图中未显示），控制器50与旋转光电感应器31和电机13连接，控制器50接收旋转光电感应器31的信号控制电机13的运动。该控制器50优选为PLC可编程控制器。
真空镀膜生产线包括基片传送流水线和镀膜流水线，旋转平台机构处于基片传送流水线和镀膜流水线的两端部，将基片传送流水线上的基片运送到镀膜流水线中，同时将镀膜流水线中镀完膜的基片从镀膜流水线中运送至基片传送流水线中卸下基片。基片在基片传送流水线中，首先安装在基片架上，基片架移动至传送车上的传送座上，通过传送车运送至旋转平台机构上，当旋转平台机构的基片传动组件40接收到基片传送流水线上运送过来的基片架，基片架运送至旋转盘22上基片传送组件41的传动座41上，电机13启动，电机13的旋转轴131转动，旋转轴131带动第一驱动元件11转动，第一驱动元件11与第二驱动元件12通过齿轮啮合，第一驱动元件11带动第二驱动元件12旋转，第二驱动元件12上固定有旋转盘22，第二驱动元件12同时带动旋转盘22旋转，这样旋转盘22的传送座41上的基片架随着旋转盘22旋转；当旋转盘22旋转180度时，旋转盘22上的基片架旋转了180度，基片架与镀膜流水线平齐，旋转盘22上的感应棒32旋转了180度，感应棒32与感应信号元件33之间的距离小于10mm，感应信号元件33发射信号给旋转光电感应器31，控制器50与旋转光电感应器31和电机13连接，控制器50控制电机13停止旋转，这样电机13的旋转轴131停止旋转，带动旋转轴131上的第一驱动元件11停止运动，与第一驱动元件11啮合的第二驱动元件12停止运动，安装在第二驱动元件12上旋转盘22停止运动，同时安装在旋转盘22上驱动电机42启动，驱动电机42驱动基片传送组件40的传送座41，传送座41上的基片架移动，至基片架移动至镀膜流水线上时，电机13启动，电机13的旋转轴131转动，旋转轴131带动第一驱动元件11转动，第一驱动元件11与第二驱动元件12通过齿轮啮合，第一驱动元件11带动第二驱动元件12旋转，第二驱动元件12上固定的旋转盘22同时随着第二驱动元件12旋转，当旋转盘22旋转了180度时，旋转盘22上的感应棒32旋转180度，感应棒32与感应信号元件33之间的距离小于10mm，感应信号元件33发射信号给旋转光电感应器31，控制器50与旋转光电感应器31和电机13连接，控制器50使电机13停止，这样电机13的旋转轴131停止旋转，带动旋转轴131上的第一驱动元件11停止运动，与第一驱动元件11啮合的第二驱动元件12停止运动，安装在第二驱动元件12上旋转盘22停止运动，旋转盘22回到初始位置，再次接收基片传送流水线上运送的基片架。优选，旋转盘22上传动座41分为两列，当基片传送流水线上有基片架通过一列传动座41传送至旋转盘22上时，同时旋转盘22上另一列的传动座41将之前旋转过来的基片架传送至镀膜流水线上，这样缩短停留时间，提高传送效率。优选，旋转平台机构放置在基片传送流水线和镀膜流水线之间的中心位置，当旋转盘22旋转180度时，旋转盘22上始终保持一列传动座41对准基片传送流水线，同时另一列传动座41对准镀膜流水线。
最后有必要在此说明的是：以上实施例只用于对本实用新型的技术方案作进一步详细地说明，不能理解为对本实用新型保护范围的限制，本领域的技术人员根据本实用新型的上述内容作出的一些非本质的改进和调整均属于本实用新型的保护范围。
Claims (12)
1.一种旋转平台机构，其特征在于，包括：
一驱动组件，所述驱动组件包括一第一驱动元件、一第二驱动元件和一电机，所述电机与所述第一驱动元件连接，所述第一驱动元件与所述第二驱动元件连接；
一旋转组件，所述旋转组件与所述驱动组件连接，所述旋转组件包括一固定架和一旋转盘，所述旋转盘与所述第二驱动元件连接，所述电机安装在所述固定架上；和
一限位组件，所述限位组件安装在所述旋转组件上，所述限位组件包括一旋转光电感应器、一感应棒和至少一个感应信号元件，所述感应信号元件与所述旋转光电感应器连接，所述感应信号元件与所述感应棒之间通过光电距离感应，所述感应信号元件设置在所述固定架上，所述旋转光电感应器和所述感应棒安装在所述旋转盘上。
2.根据权利要求1所述的旋转平台机构，其特征在于：所述旋转平台机构进一步包括一控制器，控制器与旋转光电感应器和电机连接。
3.根据权利要求2所述的旋转平台机构，其特征在于：所述控制器为PLC可编程控制器。
4.根据权利要求2所述的旋转平台机构，其特征在于：所述电机进一步包括一旋转轴，所述第一驱动元件设置在所述旋转轴上所述第一驱动元件与所述第二驱动元件通过齿轮啮合连接。
5.根据权利要求4所述的旋转平台机构，其特征在于：所述第一驱动元件为一齿轮，所述第二驱动元件为一回转支承，所述第一驱动元件与第二驱动元件通过齿轮啮合。
6.根据权利要求2所述的旋转平台机构，其特征在于：所述旋转光电感应器设置在所述旋转盘的一端，所述感应棒与所述感应信号元件之间通过光电距离感应。
7.根据权利要求2所述的旋转平台机构，其特征在于：所述限位组件进一步包括至少一个导位槽，所述感应棒安装在所述导位槽内。
8.根据权利要求1所述的旋转平台机构，其特征在于：所述旋转平台机构进一步包括一基片传送组件，所述基片传送组件固定在所述旋转盘上。
9.根据权利要求8所述的旋转平台机构，其特征在于：所述基片传送组件进一步包括至少一个传动座和一驱动电机，所述传动座与所述驱动电机连接，所述驱动电机驱动所述传动座传动。
10.根据权利要求1所述的旋转平台机构，其特征在于：旋转平台机构应用于真空镀 膜生产线中，所述真空镀膜生产线包括基片传送流水线和镀膜流水线，所述旋转平台机构设置在所述基片传送流水线与所述镀膜流水线的两端部，连接所述基片传送流水线和所述镀膜流水线。
11.根据权利要求6所述的旋转平台机构，其特征在于：所述感应信号元件围绕所述旋转盘的中心分布在所述固定架上，所述感应信号元件的分布位置与所述感应棒随所述旋转盘旋转的轨迹一致。
12.据权利要求7所述的旋转平台机构，其特征在于：所述导位槽围绕所述旋转盘的中心分布在所述旋转盘上，所述导位槽的分布位置与所述感应棒随所述旋转盘旋转的轨迹一致。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104711532A (zh) * | 2013-12-16 | 2015-06-17 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 一种真空镀膜生产线用旋转平台机构 |
| CN105970173A (zh) * | 2016-06-14 | 2016-09-28 | 肇庆市大力真空设备有限公司 | 一种真空磁控溅射镀膜设备 |
| CN108706303A (zh) * | 2018-06-19 | 2018-10-26 | 陕西宝光真空电器股份有限公司 | 多规格太阳能集热管自动排气生产系统 |
| CN112718510A (zh) * | 2020-12-05 | 2021-04-30 | 江苏润阳光伏科技有限公司 | 一种旋转分选设备 |
| CN113808974A (zh) * | 2021-09-07 | 2021-12-17 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 一种基片旋转式处理设备及方法 |
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104711532A (zh) * | 2013-12-16 | 2015-06-17 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 一种真空镀膜生产线用旋转平台机构 |
| CN104711532B (zh) * | 2013-12-16 | 2018-02-06 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 一种真空镀膜生产线用旋转平台机构 |
| CN105970173A (zh) * | 2016-06-14 | 2016-09-28 | 肇庆市大力真空设备有限公司 | 一种真空磁控溅射镀膜设备 |
| CN108706303A (zh) * | 2018-06-19 | 2018-10-26 | 陕西宝光真空电器股份有限公司 | 多规格太阳能集热管自动排气生产系统 |
| CN112718510A (zh) * | 2020-12-05 | 2021-04-30 | 江苏润阳光伏科技有限公司 | 一种旋转分选设备 |
| CN113808974A (zh) * | 2021-09-07 | 2021-12-17 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 一种基片旋转式处理设备及方法 |
| CN113808974B (zh) * | 2021-09-07 | 2024-02-20 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 一种基片旋转式处理设备及方法 |
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Granted publication date: 20140709 |