CN203627343U - 高真空油扩散泵油位观察窗 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及油扩散泵技术领域，公开了一种高真空油扩散泵油位观察窗。它包括法兰、紧固件、玻璃观察窗、法兰与接管焊接在一起组成的观察窗座，所述法兰与所述玻璃观察窗之间设有金属密封垫，在所述法兰与所述金属密封垫的接触端面上设有刃角。采用法兰与玻璃观察窗通过钎焊工艺封接为一体，以避免玻璃在安装和使用过程中由于受力不均而造成破损；本实用新型具有适宜于在高真空或超高真空环境中使用、耐高温可烘烤、不污染泵油、无需更换密封垫和高可靠密封、使用寿命长的特点，节约了生产和维修成本、增强了油扩散泵的真空性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及油扩散泵技术领域，具体的说是一种能够在高温环境下正常使用、可靠性高、维修成本低、使用寿命长的高真空油扩散泵油位观察窗。
背景技术
普通的高真空油扩散泵玻璃观察窗常采用法兰与独立的玻璃之间通过橡胶密封圈进行密封的结构，该结构在安装后常温状态下满足真空密封要求，观察窗在油扩散泵正常工作过程中经常发生泄漏，可以看到有连续气泡产生，在长期使用后气泡现象更频繁发生。为了克服以上缺点，制造厂商通过提高密封面加工精度、将普通丁腈橡胶密封圈更换为氟橡胶密封圈或硅橡胶密封圈，甚至加长油管长度和在油管上焊接冷却水管或冷却水套结构来保证密封的可靠性。
在实际使用过程中，该结构存在如下几点缺点：1）橡胶密封圈在大于300℃的高温条件下容易发生变形，失去高真空密封要求所需的弹性，不能满足真空密封要求；2）橡胶密封圈在常温环境中其使用寿命不大于2年，需要经常更换；3）安装过程中和高温状态下，玻璃外圈受到金属法兰施加到橡胶密封圈表面上外力的作用，会使玻璃受力不均匀，可能发生玻璃破裂和炸裂的现象；4）在更换橡胶密封圈过程中容易发生故障。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案为：
一种高真空油扩散泵油位观察窗，它包括法兰、紧固件、玻璃观察窗、法兰与接管焊接在一起组成的观察窗座，所述法兰与所述玻璃观察窗之间设有金属密封垫，在所述法兰与所述金属密封垫的接触端面上设有刃角。
作为本实用新型的进一步改进，所述金属密封垫材料为紫铜，厚度为2mm～3mm。
作为本实用新型的更进一步改进，所述金属密封垫的表面粗糙度为3.0μm～3.2μm。
作为本实用新型的更进一步改进，所述玻璃观察窗与所述法兰通过钎焊工艺封接为一体。
本实用新型在法兰端面上设置刃角，金属密封垫放置在玻璃观察窗和法兰之间，法兰的刃角接触到金属密封垫。当两个法兰通过紧固件连接并紧固时，法兰的刃角压向金属密封垫，分别在金属密封垫两侧压出新鲜的金属表面，从而形成可靠的密封面。当两个法兰紧固到位后，法兰面之间仍然保持有1mm左右的间隙，以防止金属密封垫过薄而使得法兰面完全贴合，刃角无法有效压出足够深度的新鲜密封面；紫铜材质的金属密封垫具有耐高温、塑性好的特点，高精度的表面粗糙度能够满足油位观察窗的密封性能要求；采用法兰与玻璃观察窗通过钎焊工艺封接为一体，以避免玻璃在安装和使用过程中由于受力不均而造成破损；本实用新型具有适宜于在高真空或超高真空环境中使用、耐高温可烘烤、不污染泵油、无需更换密封垫、高可靠密封性能、使用寿命长的特点，节约了生产和维修成本、增强了油扩散泵的真空性能。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是图1中本实用新型的刃角局部放大图；
图3是本实用新型的立体图；
图4是图3中本实用新型的剖视图；
图5是本实用新型安装到油扩散泵上的结构示意图；
图中：1、紧固件，2、金属密封垫，3、玻璃观察窗，4、接管，5、法兰，6、观察窗座，7、刃角。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1至图5所示的一种高真空油扩散泵油位观察窗，它包括法兰5、紧固件1、玻璃观察窗3、法兰5与接管4焊接在一起组成的观察窗座6，法兰5与玻璃观察窗3之间设有金属密封垫2，在法兰5与金属密封垫2的接触端面上设有刃角7。
金属密封垫2材料为紫铜，厚度为2mm～3mm，表面粗糙度为3.0μm～3.2μm。
玻璃观察窗3与法兰5通过钎焊工艺封接为一体，形成金属法兰玻璃观察窗。
在安装过程中，对观察窗座6上的焊缝进行压力检测和真空氦质谱检测，满足真空密封要求后，将观察窗座6焊接到油扩散泵的油锅上，焊接后对焊缝进行真空氦质谱检测。
将金属法兰玻璃观察窗、金属密封垫2、法兰5通过紧固件1连接在一起，依次并逐次对紧固件按照对角拧紧，最后进行真空氦质谱检漏，密封面满足真空密封要求。则本实用新型安装完毕。
Claims (4)
1.一种高真空油扩散泵油位观察窗，它包括法兰（5）、紧固件（1）、玻璃观察窗（3）、法兰（5）与接管（4）焊接在一起组成的观察窗座（6），其特征在于：所述法兰（5）与所述玻璃观察窗（3）之间设有金属密封垫（2），在所述法兰（5）与所述金属密封垫（2）的接触端面上设有刃角（7）。
2.根据权利要求1所述的高真空油扩散泵油位观察窗，其特征在于：所述金属密封垫（2）材料为紫铜，厚度为2mm～3mm。
3.根据权利要求1或2所述的高真空油扩散泵油位观察窗，其特征在于：所述金属密封垫（2）的表面粗糙度为3.0μm～3.2μm。
4.根据权利要求1所述的高真空油扩散泵油位观察窗，其特征在于：所述玻璃观察窗（3）与所述法兰（5）通过钎焊工艺封接为一体。
Priority Applications (1)
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| CN201320846187.8U CN203627343U (zh) | 2013-12-20 | 2013-12-20 | 高真空油扩散泵油位观察窗 |
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| CN201320846187.8U CN203627343U (zh) | 2013-12-20 | 2013-12-20 | 高真空油扩散泵油位观察窗 |
Publications (1)
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| CN203627343U true CN203627343U (zh) | 2014-06-04 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN203627343U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109926748A (zh) * | 2019-03-22 | 2019-06-25 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种金属焊料封接的真空观察窗及其制作方法 |
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2013
- 2013-12-20 CN CN201320846187.8U patent/CN203627343U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109926748A (zh) * | 2019-03-22 | 2019-06-25 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种金属焊料封接的真空观察窗及其制作方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140604 Termination date: 20211220 |