CN219104304U - 一种检测旋转靶材背管气密性装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于气密性检测技术领域，公开了一种检测旋转靶材背管气密性装置，所述装置包括检漏盖和检漏环；所述检漏盖的端面设有环形凹槽；所述背管卡接于所述环形凹槽并与之密封；所述检漏环套设于所述背管的外周面，并与所述检漏盖的端面固定连接；所述检漏盖上设有与背管相通的通孔，所述通孔与充气阀连接。本气密性装置成本较低、结构简洁、零部件较少，可将现场现有的设备用在检测上，克服了现有技术气密性检测设备价格高的缺陷；并且装配方便、操作简单、检测准确、结果直观。

Description

一种检测旋转靶材背管气密性装置

技术领域

本实用新型属于气密性检测技术领域，特别涉及一种检测旋转靶材背管气密性装置。

背景技术

旋转靶材是一种在太阳能薄膜产业、建筑玻璃、半导体镀膜中不可替代的靶材。在旋转靶材溅射过程中，背管需要抽真空，因而对背管的气密性有较高的要求。尤其焊接背管是一端需要焊接，对焊缝的气密性要求较高。因此需要检测焊接背管的气密性。

现有检测气密性的方法包括采用氦气检测仪以及抽真空检测。这两种方法虽然可以测焊接背管的气密性，但其设备成本较高、操作相对复杂，需要借助新设备完成。

实用新型内容

为了解决以上问题，本实用新型提供一种检测旋转靶材背管气密性装置，具有成本低、操作简便的特点。具体技术方案如下：

一种检测旋转靶材背管气密性装置，所述装置包括检漏盖和检漏环；所述检漏盖的端面设有环形凹槽；所述背管卡接于所述环形凹槽并与之密封；所述检漏环套设于所述背管的外周面，并与所述检漏盖的端面固定连接；所述检漏盖上设有与背管相通的通孔，所述通孔与充气阀连接。

进一步地，所述检漏盖通过环形凹槽内设的环形密封垫与背管密封。

进一步地，所述背管为焊接背管，焊接背管外周设有环形密封槽；所述检漏环的内壁设置有与环形密封槽相适配的环形凸起，所述环形凸起嵌入环形密封槽中。

进一步地，所述检漏环由一对骑马卡组合而成。

进一步地，所述检漏环与检漏盖通过螺栓固定。

进一步地，所述通孔为螺纹孔，与充气阀的气管接头螺纹连接。

进一步地，所述气管接头的入口处串联有压力表和球阀。

进一步地，所述检漏盖包括从检漏盖端面凸起并嵌入背管内腔的凸起部。

进一步地，所述凸起部的外周面设有O型密封槽，通过内设的O型密封圈与背管内壁密封。

进一步地，所述通孔设置于所述凸起部的中心位置。

与现有技术相比，上述技术方案之一或多个技术方案能达到至少以下有益效果之一：

（1）成本较低：本装置结构简洁、零部件较少，且可将现场现有的设备用在检测上，克服了现有技术气密性检测设备价格高的缺陷。

（2）操作简单；在进行检测时，仅需对装置进行简单组装即可，装配方便。

（3）检测结果直观、准确；采用本装置进行气密性检测，可通过压力表、观测水中气泡直观显示反馈，达到检测焊接背管气密性的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为实施例1检测旋转靶材背管气密性装置的剖视图。

图2为实施例1检测旋转靶材背管气密性装置的立体结构示意图。

图3为实施例1检漏盖的立体结构示意图。

图4为实施例1检漏环的立体结构示意图。

图中，1、检漏盖；11、环形凹槽；12、凸起部；121、O形密封槽；13、通孔；2、检漏环；21、环形凸起；22、螺栓一；23、螺栓二；3、焊接背管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

如图1和图2所示，本实施例提供一种检测旋转靶材背管气密性装置，包括检漏盖1和检漏环2。本实施例以焊接背管3的检测为例。

如图3所示，检漏盖1的端面设有环形凹槽11；焊接背管3卡接于环形凹槽11并与之密封；具体地，检漏盖1通过环形凹槽11内设的环形密封垫与背管3密封。检漏盖1还包括凸起部12。凸起部12从检漏盖1设有环形凹槽11的端面凸起并嵌入焊接背管3的内腔，凸起部12的外周面设有O型密封槽121，通过内设的O型密封圈与焊接背管3内壁密封。

检漏盖1上设有与焊接背管3相通的通孔13，通孔13设置于检漏盖1的中心位置。通孔13与充气阀连接。通孔13为螺纹孔，与充气阀的气管接头螺纹连接。气管接头的入口处串联有压力表和球阀。

如图4所示，作为较佳实施方式，检漏环2由一对骑马卡组合而成，两个骑马卡通过螺栓一22连接。检漏环2的内径与背管3相适配，固定套设于背管3的外周面。具体地，检漏环2的内壁设有环形凸起21，焊接背管3的外周设有环形密封槽；环形凸起21与环形密封槽相适配，环形凸起21嵌入到环形密封槽中，实现检漏环2与焊接背管3固定连接。检漏环2通过螺栓二23与检漏盖1的端面固定连接。

本实施例的检测原理如下所述。

在保证使用的气管接头气密性完好的前提下，将检漏环2的一对骑马卡进行组合连接；检漏环2通过环形凸起21与环形密封槽配合而套设于焊接背管3外周；将检漏盖1通过螺栓二23与检漏环2连接，通过检漏盖1中环形凹槽11的环形密封垫，O型密封槽121的O型密封圈与焊接背管3密封。

根据上述方法固定好装置后，在检漏盖1的通孔13通入一定压强的压缩空气，直到压力表显示稳定的数值后使用球阀停止压缩空气的通入，每间隔一定时间记录一次压力表数据。

如果压力表数据稳定则说明焊接背管3的气密性完好，焊缝无漏气情况。如果压力表数据减少，则说明焊缝的气密性不好。气密性不好的焊接背管3则需要将焊接背管3浸入水中，打开压缩空气观察气泡形成的位置，对焊缝存在的空隙进行焊缝修补。

本实施例的检测旋转靶材背管气密性装置成本低、操作简便、检测准确、结果直观。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型的技术方案所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护之内。

Claims (10)

1.一种检测旋转靶材背管气密性装置，其特征在于，所述装置包括检漏盖和检漏环；所述检漏盖的端面设有环形凹槽；所述背管卡接于所述环形凹槽并与之密封；所述检漏环套设于所述背管的外周面，并与所述检漏盖的端面固定连接；所述检漏盖上设有与背管相通的通孔，所述通孔与充气阀连接。

2.根据权利要求1所述的检测旋转靶材背管气密性装置，其特征在于，所述检漏盖通过环形凹槽内设的环形密封垫与背管密封。

3.根据权利要求2所述的检测旋转靶材背管气密性装置，其特征在于，所述背管为焊接背管，焊接背管外周设有环形密封槽；所述检漏环的内壁设置有与环形密封槽相适配的环形凸起，所述环形凸起嵌入环形密封槽中。

4.根据权利要求3所述的检测旋转靶材背管气密性装置，其特征在于，所述检漏环由一对骑马卡组合而成。

5.根据权利要求3所述的检测旋转靶材背管气密性装置，其特征在于，所述检漏环与检漏盖通过螺栓固定。

6.根据权利要求1所述的检测旋转靶材背管气密性装置，其特征在于，所述通孔为螺纹孔，与充气阀的气管接头螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的检测旋转靶材背管气密性装置，其特征在于，所述气管接头的入口处串联有压力表和球阀。

8.根据权利要求1至7任意一项所述的检测旋转靶材背管气密性装置，其特征在于，所述检漏盖包括从检漏盖端面凸起并嵌入背管内腔的凸起部。

9.根据权利要求8所述的检测旋转靶材背管气密性装置，其特征在于，所述凸起部的外周面设有O型密封槽，通过内设的O型密封圈与背管内壁密封。

10.根据权利要求8所述的检测旋转靶材背管气密性装置，其特征在于，所述通孔设置于所述凸起部的中心位置。

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