CN203569184U - 一种复合式聚对二甲苯防水膜沉积装置 - Google Patents

一种复合式聚对二甲苯防水膜沉积装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型涉及电镀技术领域，尤其是指一种复合式聚对二甲苯防水膜沉积装置，该装置具有多个并列设置的蒸发腔，多个蒸发腔的抽气端并联接到一罗茨泵上，且多个蒸发腔的抽气端设有各自管控的抽气阀门；所述多个蒸发腔的蒸发端各自对应连接有裂解室，裂解室的输出端经过蒸汽阀门连通沉积室。由此可根据不同类型的聚对二甲基苯设定蒸发腔的汽化温度以及对应的裂解温度，这样就可以同时镀两种以上的聚对二甲基苯膜，或做层状复合结构的膜。本实用新型结构简单，科学合理，制作容易，投资成本低，使用简便，符合产业利用，适用面广。

Description

一种复合式聚对二甲苯防水膜沉积装置
技术领域
本实用新型涉及电镀技术领域，尤其是指一种聚对二甲苯防水膜沉积装置。
背景技术
对于目前的制程来说，形成聚对二甲苯薄膜的方法一般为化学气相沉积法。首先，将粉末状的聚对二甲苯置于蒸发室中，并加热到150℃以使粉末状的聚对二甲苯汽化。然后，将聚对二甲苯气体传送至裂解室，并加热到650℃以进行裂解。之后，将聚对二甲苯单体传送沉积室，并沉积在基板上。
如上所述，传统高分子聚对二甲基苯沉积系统只有一个蒸发腔体，不能同时设定不同的蒸发温度来蒸发不同分子结构的聚对二甲基苯粉体；而据分子结构的不同，聚对二甲基苯可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型，所以传统沉积系统一般只能沉积一种分子结构的聚对二甲基苯膜，不能沉积复合聚对二甲基苯防水膜。
为此，本申请人秉持着研究创新、精益求精之精神，利用其专业眼光和专业知识，研究出一种复合式聚对二甲苯防水膜沉积装置。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种结构简单，易操作，可实现同时沉积两种以上分子结构的聚对二甲基苯膜，获得复合式聚对二甲苯防水膜的沉积装置。
为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种复合式聚对二甲苯防水膜沉积装置，该装置具有多个并列设置的蒸发腔，多个蒸发腔的抽气端并联接到一罗茨泵上，且多个蒸发腔的抽气端设有各自管控的抽气阀门；所述多个蒸发腔的蒸发端各自对应连接有裂解室，裂解室的输出端经过蒸汽阀门连通沉积室。
上述方案进一步是：于所述的蒸汽阀门和沉积室之间还设有纯化腔，纯化腔并接多个蒸汽阀门的输出口。
本实用新型并列设计多个独立蒸发腔及对应的裂解室，由此可根据不同类型的聚对二甲基苯设定蒸发腔的汽化温度以及对应的裂解温度，这样就可以同时镀两种以上的聚对二甲基苯膜，或做层状复合结构的膜。本实用新型结构简单，科学合理，制作容易，投资成本低，使用简便，符合产业利用，适用面广。
附图说明：
附图1为本实用新型较佳实施例结构示意图。
具体实施方式：
以下结合附图对本实用新型进一步说明：
参阅图1所示，本实用新型有关一种复合式聚对二甲苯防水膜沉积装置，该装置具有多个并列设置的蒸发腔1（图中以三个蒸发腔1为例），多个蒸发腔1的抽气端并联接到一罗茨泵2上，且多个蒸发腔1的抽气端设有各自管控的抽气阀门3，实现各自控制抽真空，利于加热汽化蒸发；所述多个蒸发腔1的蒸发端各自对应连接有裂解室4，裂解室4的输出端经过对应的蒸汽阀门5连通沉积室6。在本实施例中，于所述的蒸汽阀门5和沉积室6之间还设有纯化腔7，纯化腔7并接多个蒸汽阀门5的输出口，纯化腔7起到过滤、纯化作用，提升沉积质量，并可适当混合蒸汽阀门5输出的气体。
工作时，不同聚对二甲基苯结构，其具有不同的特性，如N型是对二甲苯的高聚物，具有最强的渗透能力，能够有效地在各种细缝或针孔表面形成薄膜；它的介电常数极低(2.65)及耗散因子小，且随外界频率的增加变化不大；同时极低摩擦系数使其有优异的润滑效果。C型是在於其芳香基中之一氢分子被氯所取代，具有极低的水分子和腐蚀性气体的穿透率，沉积速率比N型快。D型是在於其芳香基中之二个氢原子被二个氯原子所取代，因而在更高温度下具有相对更好的物理及电性能，同时与N、C型相比，具有更好的热稳定性；其沉积与聚合速度非常快，但键结压力却十分慢。F型将二甲基上的H原子替换为F原子，F-C键是已知最强的共价键，键能高达445KJ／mol，仅次于C-H键，但是键能却比C—H键强得多，因而能抵抗紫外线对它的破坏，改善抗紫外线能力；氟原子取代亚甲基上的氢原子也极大地改变化学键的极性，进而提高了其热稳定性和抗老化性能，使其在航空及半导体领域将有可观的应用前景。通过本实用新型，将不同分子结构的聚对二甲基苯粉体分别放入不同的蒸发腔1，然后设定不同蒸发腔的汽化温度以及对应裂解室4的裂解温度，由抽气阀门3及蒸汽阀门5控制，实现单独或复合沉积聚对二甲基苯防水膜，从而可在沉积室6内同时镀两种以上的聚对二甲基苯膜，或做层状复合结构的膜。多元复合结构设计，可以连续蒸发不同分子结构的聚对二甲苯防水膜，通过工艺设计可以做出各种复合结构的聚对二甲基苯膜，使复合膜具有各单层膜的优点，而避免单层膜的缺点；因此层状复合聚对二甲基苯膜，将具有更好的优点，也扩宽了产品的设计加工，适用面更广，可操作性更强。
当然，以上结合实施方式对本实用新型做了详细说明，只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限定本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (2)

1.一种复合式聚对二甲苯防水膜沉积装置，其特征在于：该装置具有多个并列设置的蒸发腔（1），多个蒸发腔（1）的抽气端并联接到一罗茨泵（2）上，且多个蒸发腔（1）的抽气端设有各自管控的抽气阀门（3）；所述多个蒸发腔（1）的蒸发端各自对应连接有裂解室（4），裂解室（4）的输出端经过蒸汽阀门（5）连通沉积室（6）。
2.根据权利要求1所述的一种复合式聚对二甲苯防水膜沉积装置，其特征在于：于所述的蒸汽阀门（5）和沉积室（6）之间还设有纯化腔（7），纯化腔（7）并接多个蒸汽阀门（5）的输出口。
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