CN203513289U - 四氯化硅转化三氯氢硅反应器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种四氯化硅转化三氯氢硅反应器，包括筒体以及设置在筒体上、下端的上封头和下封头，在所述上封头上设置有气体出口，在所述下封头上设置有气体进口，在所述筒体内、靠近下封头一端设置有带风帽的气体分布板，在所述筒体上部设置有至少一个硅粉进管，在所述筒体内设置有至少一个测温元件。本实用新型适用于年产10万吨三氯氢硅的生产工艺，采用冷氢化技术，将四氯化硅和硅粉、氢气在本实用新型的结构中反应生成三氯氢硅，具有电耗低、生产成本低、转化率高的优点，同时可取消多晶硅生产中采用“热氢化技术”必须设置的尾气回收系统，对减少多晶硅装置的投资，降低工厂综合电耗更有利。
Description
技术领域
本实用新型属于多晶硅冷氢化生产装置，特别涉及一种四氯化硅转化三氯氢硅反应器。
背景技术
在国内多晶硅装置中，四氯化硅转化三氯氢硅的技术大都是采用电化学还原氢化的技术，俗称“热氢化”技术。该技术电耗高、四氯化硅转化率低、加热片需定期更换，生产成本高。
实用新型内容
本实用新型的发明目的在于：针对上述存在的问题，提供一种适用于年产10万吨三氯氢硅生产工艺的四氯化硅转化三氯氢硅反应器。
本实用新型的技术方案是这样实现的：四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于：包括筒体以及设置在筒体上、下端的上封头和下封头，在所述上封头上设置有气体出口，在所述下封头上设置有气体进口，在所述筒体内、靠近下封头一端设置有带风帽的气体分布板，在所述筒体上部设置有至少一个硅粉进管，在所述筒体内设置有至少一个测温元件。
本实用新型所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其所述上封头呈椭圆状，所述下封头呈锥形。
本实用新型所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其所述硅粉进管与硅粉自动加料系统连接。
本实用新型所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其在所述气体出口的管路上设置有急冷液喷淋。
本实用新型所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其在所述反应器顶部上方设置有旋风分离器，所述旋风分离器的料腿插入反应器内部。
本实用新型适用于年产10万吨三氯氢硅的生产工艺，采用冷氢化技术，将四氯化硅和硅粉、氢气在本实用新型的结构中反应生成三氯氢硅，具有电耗低、生产成本低、转化率高的优点，同时可取消多晶硅生产中采用“热氢化技术”必须设置的尾气回收系统，对减少多晶硅装置的投资，降低工厂综合电耗更有利。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中标记：1为筒体，2为上封头，3为下封头，4为气体出口，5为气体进口，6为带风帽的气体分布板，7为硅粉进管，8为测温元件。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1所示，一种四氯化硅转化三氯氢硅反应器，包括筒体1以及设置在筒体1上、下端的上封头2和下封头3，在所述上封头2上设置有气体出口4，在所述下封头3上设置有气体进口5，在所述筒体1内、靠近下封头3一端设置有带风帽的气体分布板6，在所述筒体1上部设置有两个硅粉进管7，在所述筒体1内设置有四个测温元件8，所述四个测温元件沿筒体径向分布。
其中，所述上封头2呈椭圆状，所述下封头3呈锥形，所述硅粉进管7与硅粉自动加料系统连接，在所述气体出口4的管路上设置有急冷液喷淋，在所述反应器顶部上方设置有旋风分离器，所述旋风分离器的料腿插入反应器内部。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于：包括筒体（1）以及设置在筒体（1）上、下端的上封头（2）和下封头（3），在所述上封头（2）上设置有气体出口（4），在所述下封头（3）上设置有气体进口（5），在所述筒体（1）内、靠近下封头（3）一端设置有带风帽的气体分布板（6），在所述筒体（1）上部设置有至少一个硅粉进管（7），在所述筒体（1）内设置有至少一个测温元件（8）。
2.根据权利要求1所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于：所述上封头（2）呈椭圆状，所述下封头（3）呈锥形。
3.根据权利要求2所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于：所述硅粉进管（7）与硅粉自动加料系统连接。
4.根据权利要求2所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于：在所述气体出口（4）的管路上设置有急冷液喷淋。
5.根据权利要求2所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于：在所述反应器顶部上方设置有旋风分离器，所述旋风分离器的料腿插入反应器内部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320593245.0U CN203513289U (zh) | 2013-09-25 | 2013-09-25 | 四氯化硅转化三氯氢硅反应器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320593245.0U CN203513289U (zh) | 2013-09-25 | 2013-09-25 | 四氯化硅转化三氯氢硅反应器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203513289U true CN203513289U (zh) | 2014-04-02 |
Family
ID=50372248
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201320593245.0U Expired - Lifetime CN203513289U (zh) | 2013-09-25 | 2013-09-25 | 四氯化硅转化三氯氢硅反应器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203513289U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112279256A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-01-29 | 淮阴工学院 | 三氯氢硅流化床反应器 |
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2013
- 2013-09-25 CN CN201320593245.0U patent/CN203513289U/zh not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN112279256A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-01-29 | 淮阴工学院 | 三氯氢硅流化床反应器 |
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Legal Events
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Granted publication date: 20140402 |
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