CN203390668U - 一种区熔料棒多功能加工机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种区熔料棒多功能加工机，包括机床、工作台、料棒固定装置和料棒加工装置，工作台通过机床导轨装配在机床上并可在机床上做水平方向的往复运动，料棒固定装置装配在工作台的轴向工作台导轨上，料棒加工装置装配在机床径向的一侧，所述的料棒加工装置包括磨削部件和径向进给平台，径向进给平台的上表面设有径向进给导轨，其特征在于：所述的料棒加工装置还包括开槽部件、斜向进给平台和加工平台，斜向进给平台的上表面设有斜向进给导轨，斜向进给导轨与径向进给导轨在水平面上形成45°的夹角，所述的磨削部件和开槽部件固定在加工平台上。本实用新型的有益效果：可精确、快速实现长度不等的区熔料棒的磨圆、磨锥和开槽的加工操作。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体行业的高纯硅区熔料棒加工装置，尤其是一种区熔料棒多功能加工机。
背景技术
目前，市场上并无区熔料棒专用的加工机床，一般都是传统的外圆磨床，靠横向导轨的双层工作台实现区熔料棒的加工，当工作台与导轨运行方向一致时，区熔料棒滚磨为圆柱形，当转动上层工作台与导轨成一定角度时，区熔料棒加工为锥度，锥角即为工作台与导轨夹角2倍，但是操作中需反复进行调整，并且区熔料棒滚圆部分易产生锥度偏差，使加工效率较低，而传统的磨锥定心方式采用表面静摩擦方式，不适宜洁净要求的料棒加工。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种专用的可进行磨圆、磨锥、开槽的区熔料棒多功能加工机。
为了完成上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
一种区熔料棒多功能加工机，包括机床、工作台、料棒固定装置和料棒加工装置，工作台通过机床导轨装配在机床上并可在机床上做水平方向的往复运动，料棒固定装置装配在工作台的轴向工作台导轨上，料棒加工装置装配在机床径向的一侧，所述的料棒加工装置包括磨削部件和径向进给平台，径向进给平台的上表面设有径向进给导轨，所述的料棒加工装置还包括开槽部件、斜向进给平台和加工平台，斜向进给平台的上表面设有斜向进给导轨，斜向进给导轨与径向进给导轨在水平面上形成45°的夹角，所述的磨削部件和开槽部件固定在加工平台上。
所述的料棒加工装置为多层平台结构，所述的径向进给平台设置在下层，所述的斜向进给平台设置在中间层，斜向进给平台的底部与径向进给平台上的径向进给导轨相配合，所述的加工平台设置在上层，加工平台的底部与斜向进给平台上的斜向进给导轨相配合。
所述的料棒固定装置包括主动固定座、从动调整座和料棒旋转电机，料棒旋转电机与主动固定座相连并驱动主动固定座带动料棒工件转动，主动固定座通过固定螺栓固定在工作台导轨的一端，从动调整座可在工作台导轨上做轴向移动并通过固定螺栓固定。
所述的主动固定座和从动调整座都设有卡固料棒工件的料棒固定部件，主动固定座和从动调整座的料棒固定部件的轴心都位于同一个水平轴线上，所述的料棒固定部件为自定心三爪卡盘。
所述的自定心三爪卡盘的盘面圆心部位设有大孔径的通孔，通孔的直径大于等于料棒工件的直径。
所述的工作台导轨为滚珠式导轨。
本实用新型的有益效果是：可以精确、快速实现长度不等的区熔料棒的磨圆、磨锥和开槽的加工操作。
附图说明
图1是本实用新型的俯视图。
图2是本实用新型中机床、工作台和料棒固定装置的结构示意图。
图中，1、机床，2、工作台，3、磨削部件，4、径向进给平台，5、开槽部件，6、斜向进给平台，7、加工平台，8、主动固定座，9、从动调整座，10、料棒旋转电机，11、料棒工件，12、料棒固定部件。
具体实施方式
本实用新型为一种区熔料棒多功能加工机，可以精确、快速实现长度不等的区熔料棒的磨圆、磨锥和开槽的加工操作。
下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
具体实施例，如图1、图2所示，一种区熔料棒多功能加工机，包括机床1、工作台2、料棒固定装置和料棒加工装置，工作台2通过机床导轨装配在机床1上并可在机床1上做水平方向的往复运动，料棒固定装置装配在工作台2的轴向工作台导轨上，所述的工作台导轨为滚珠式导轨，料棒加工装置装配在机床1径向的一侧，所述的料棒加工装置包括磨削部件3和径向进给平台4，径向进给平台4的上表面设有径向进给导轨，所述的料棒加工装置还包括开槽部件5、斜向进给平台6和加工平台7，斜向进给平台6的上表面设有斜向进给导轨，斜向进给导轨与径向进给导轨在水平面上形成45°的夹角，所述的磨削部件3和开槽部件5固定在加工平台7上。
所述的料棒加工装置为多层平台结构，所述的径向进给平台4设置在下层，所述的斜向进给平台6设置在中间层，斜向进给平台6的底部与径向进给平台4上的径向进给导轨相配合，所述的加工平台7设置在上层，加工平台7的底部与斜向进给平台6上的斜向进给导轨相配合。
所述的料棒固定装置包括主动固定座8、从动调整座9和料棒旋转电机10，料棒旋转电机10与主动固定座8相连并驱动主动固定座8带动料棒工件11转动，主动固定座8通过固定螺栓固定在工作台导轨的一端，从动调整座9可在工作台导轨上做轴向移动并通过固定螺栓固定；所述的主动固定座8和从动调整座9都设有卡固料棒工件11的料棒固定部件12，主动固定座8和从动调整座9的料棒固定部件12的轴心都位于同一个水平轴线上，所述的料棒固定部件12为自定心三爪卡盘；所述的自定心三爪卡盘的盘面圆心部位设有大孔径的通孔，通孔的直径大于等于料棒工件11的直径。
当需要对料棒工件11进行磨圆加工时，将主动固定座8和从动调整座9在需要加工的长度固定，将料棒工件11穿过自定心三爪卡盘盘面圆心的通孔，然后将主动固定座8和从动调整座9的料棒固定部件12进行定心操作并将料棒工件11固定，启动料棒旋转电机10使主动固定座8转动并带动从动调整座9进行转动，将加工平台7进行调整使其沿径向进给平台4上的径向进给导轨移动，当加工平台7移动到适当位置时，工作台2做往复运动使磨削部件3对料棒工件11进行磨圆加工。
当需要对料棒工件11进行磨锥加工时，将加工平台7进行调整使其沿斜向进给平台6上的斜向进给导轨移动，当加工平台7移动到适当位置时，加工平台7上固定的削部件3对料棒工件11进行磨锥加工。
当需要对料棒工件11进行开槽加工时，将加工平台7进行调整使其沿径向进给平台4上的径向进给导轨移动，当开槽部件5移动到适当位置时，料棒工件11进行轴向转动即可完成开槽加工。
将料棒固定装置的料棒固定部件12进行改进，使用盘面圆心带有通孔的自定心三爪卡盘，可以方便的对长度较长的料棒进行加工；将料棒加工装置设为多层平台结构，径向进给平台4、斜向进给平台6可以自如的调整，使加工时避免了很多重复操作，提高了工作效率；加装了开槽部件5，可以使本实用新型精确、快速实现长度不等的区熔料棒的磨圆、磨锥和开槽的加工操作。
Claims (6)
1.一种区熔料棒多功能加工机，包括机床（1）、工作台（2）、料棒固定装置和料棒加工装置，工作台（2）通过机床导轨装配在机床（1）上并可在机床（1）上做水平方向的往复运动，料棒固定装置装配在工作台（2）的轴向工作台导轨上，料棒加工装置装配在机床（1）径向的一侧，所述的料棒加工装置包括磨削部件（3）和径向进给平台（4），径向进给平台（4）的上表面设有径向进给导轨，其特征在于：所述的料棒加工装置还包括开槽部件（5）、斜向进给平台（6）和加工平台（7），斜向进给平台（6）的上表面设有斜向进给导轨，斜向进给导轨与径向进给导轨在水平面上形成45°的夹角，所述的磨削部件（3）和开槽部件（5）固定在加工平台（7）上。
2.根据权利要求1所述的一种区熔料棒多功能加工机，其特征在于：所述的料棒加工装置为多层平台结构，所述的径向进给平台（4）设置在下层，所述的斜向进给平台（6）设置在中间层，斜向进给平台（6）的底部与径向进给平台（4）上的径向进给导轨相配合，所述的加工平台（7）设置在上层，加工平台（7）的底部与斜向进给平台（6）上的斜向进给导轨相配合。
3.根据权利要求1所述的一种区熔料棒多功能加工机，其特征在于：所述的料棒固定装置包括主动固定座（8）、从动调整座（9）和料棒旋转电机（10），料棒旋转电机（10）与主动固定座（8）相连并驱动主动固定座（8）带动料棒工件（11）转动，主动固定座（8）通过固定螺栓固定在工作台导轨的一端，从动调整座（9）可在工作台导轨上做轴向移动并通过固定螺栓固定。
4.根据权利要求3所述的一种区熔料棒多功能加工机，其特征在于：所述的主动固定座（8）和从动调整座（9）都设有卡固料棒工件（11）的料棒固定部件（12），主动固定座（8）和从动调整座（9）的料棒固定部件（12）的轴心都位于同一个水平轴线上，所述的料棒固定部件（12）为自定心三爪卡盘。
5.根据权利要求4所述的一种区熔料棒多功能加工机，其特征在于：所述的自定心三爪卡盘的盘面圆心部位设有大孔径的通孔，通孔的直径大于等于料棒工件（11）的直径。
6.根据权利要求1所述的一种区熔料棒多功能加工机，其特征在于：所述的工作台导轨为滚珠式导轨。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109605192A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-04-12 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种半导体全自动滚圆机 |
| CN110153812A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-08-23 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种半导体滚圆开槽磨锥一体机 |
| CN110480433A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-11-22 | 陕西瀚瑞医疗科技有限公司 | 医用旋转工具加工用六轴磨床 |
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