CN203279462U - 作业线 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种提高作业机产生的振动的降低效果、并能够容易地移动作业机的作业线。本实用新型的作业线（1）是多个作业机（21～28）在横向（箭头X方向）上彼此离开地配置的作业线（1），具有联动装置（8），该联动装置（8）以能够在横向（箭头X方向）上进退的方式设置在相邻的作业机的至少一个作业机上，联动装置（8）前进而与对方侧联动装置（8）或对方侧作业机抵接，联动装置（8）的抵接部至少传递横向（箭头X方向）的力。

Description

作业线

技术领域

本实用新型涉及一种多个作业机在横向上彼此离开地配置的作业线，详细而言，涉及降低作业机产生的振动。

背景技术

作为降低作业机中产生的振动的作业线的一例，例如专利文献1列举的发明为人所知。专利文献1所述的作业线中，在相邻的作业机分别设有联动装置。并且，通过使联动装置彼此抵接，提高相邻的作业机彼此的外观上的质量及刚性，以减低相邻的作业机产生的振动。并且，专利文献1也公开了如下方法：通过联动装置将作业机彼此连接，从而降低相邻的作业机产生的振动。

专利文献

专利文献1：日本特开2007-329208号公报

实用新型内容

但是，当作业机的可动部大型化、高速化时，作业机产生的振动变大，因此需要进一步提高作业机产生的振动的降低效果。并且，在通过联动装置将作业机彼此连接的方法中，例如在移动作业机时必须解除作业机的连接，作业机的移动作业变得复杂。

本实用新型鉴于以上情况而作出，其目的在于提供一种提高作业机产生的振动的降低效果、并能够容易地移动作业机的作业线。

技术方案1涉及的作业线是多个作业机在横向上彼此离开地配置的作业线，其中，上述作业线具有联动装置，该联动装置以能够在上述横向上进退的方式设置在相邻的上述作业机的至少一个作业机上，上述联动装置前进而与对方侧联动装置或对方侧作业机抵接，上述联动装置的抵接部至少传递上述横向的力。

技术方案2涉及的作业线以技术方案1所述的作业线为基础，上述联动装置具有在上述抵接时能够弹性变形的缓冲部。

技术方案3涉及的作业线以技术方案2所述的作业线为基础，上述联动装置具有：气缸，具有能够在上述横向上进退的杆部；和弹性部件，设置在上述杆部的前端以作为上述缓冲部。

技术方案4涉及的作业线以技术方案1～3中的任一项所述的作业线为基础，上述多个作业机分别具有：底座部；作业部，以能够在与上述横向成直角的纵向上移动的方式架装于该底座部。

技术方案5涉及的作业线以技术方案4所述的作业线为基础，上述作业部具有：基板搬运装置，将基板搬入至安装位置并从安装位置搬出基板；元件供给装置，供给被安装于上述基板上的元件；及元件移载装置，能够在上述横向及上述纵向上移动，从上述元件供给装置吸附上述元件并将上述元件安装于被搬入到上述安装位置的上述基板上。

根据技术方案1涉及的作业线，具有以能够在配置作业机的方向上进退的方式设置的联动装置。并且，联动装置前进而与对方侧联动装置或对方侧作业机抵接，联动装置的抵接部至少传递横向的力。由此，可提高相邻的作业机彼此的外观上的质量及刚性，可降低作业机产生的振动，并且通过联动装置进退而使抵接部传递力，从而可降低作业机产生的振动。并且，在载设作业机时，通过使联动装置进退，可吸收作业机彼此的配置间隔的误差，因此作业机的配置作业比较容易。

根据技术方案2涉及的作业线，联动装置具有在与对方侧联动装置或对方侧作业机抵接时可弹性变形的缓冲部，因此联动装置与对方侧联动装置或对方侧作业机抵接而使作业机产生的振动降低，并且缓冲部弹性变形而能够吸收作业机产生的振动。缓冲部吸收自身的作业机产生的振动的同时，抑制向对方侧的作业机传递的力，因此可提高作业机产生的振动的降低效果。

根据技术方案3涉及的作业线，联动装置具有：气缸，具有能够在配置作业机的方向上进退的杆部；和弹性部件，作为缓冲部而设置在杆部的前端。因此，可通过气缸形成的气垫效果来降低作业机产生的振动，并且弹性部件发生弹性变形而能够吸收作业机产生的振动。因此，可提高作业机产生的振动的降低效果。

根据技术方案4涉及的作业线，多个作业机分别具有：底座部；和作业部，以能够在与配置作业机的方向成直角的方向上移动的方式架装于该底座部上。本实用新型涉及的作业线能够通过使联动装置后退而容易地解除作业机的联动，因此与作业机被连接装置固定的情况相比，作业部相对于底座部的移动比较容易。

根据技术方案5涉及的作业线，是作业部具有基板运送装置、元件供给装置及元件移载装置的元件安装线。模块化的多个元件安装机大多是构造相同，形状、尺寸也相同。因此，各元件安装机的固有频率变得相同，当一个元件安装机开始振动时，其他元件安装机共振，振幅增大，从而可动部的定位精度下降。

即使在这种结构的元件安装线中，联动装置前进而与对方侧联动装置或对方侧元件安装机抵接，联动装置的抵接部至少传递横向的力。因此，元件安装机产生的振动的降低效果提高，能够维持可动部的定位精度而不降低可动部的移动速度。因此，与降低可动部的移动速度来抑制元件安装机产生的振动的情况相比，可缩短各元件安装机中将安装元件安装于基板时所需的生产节拍时间。

附图说明

图1是表示元件安装线1的整体构成的一例的立体图。

图2是表示图1的元件安装机27、28的立体图。

图3涉及第一实施方式，是表示联动装置8的构成的一例的构成图。

图4是表示联动装置8的一例的立体图。

图5涉及第一实施方式，是表示联动装置8、8彼此抵接的状态的沿着I-I’线的截面图。

图6是表示底座部11的一例的局部切缺立体图。

图7是表示在底座部11上搭载了作业部9的状态的局部切缺侧视图。

图8涉及第二实施方式，是表示联动装置8的构成的一例的构成图。

图9涉及第3实施方式，是与沿着图2的I-I’线的截面图相当的截面图。

图10涉及第4实施方式，是与沿着图2的I-I’线的截面图相当的截面图。

附图标记

1：作业线

21～28：元件安装机（作业机）

3：基板搬运装置

4：元件供给装置

5：元件移载装置

8：联动装置

81：气缸

81c：杆部

82：弹性部件（缓冲部）

9：作业部

11：底座部

具体实施方式

以下根据附图说明本实用新型的实施方式。对各实施方式中相同的部位标注相同的附图标记而使之对应，从而省略重复性说明。此外，各附图是概念图，并未规定到细节构造的尺寸的地步。

（1）第一实施方式

（元件安装线1）

作为作业线的一例，详细说明元件安装线1。图1是表示元件安装线1的整体构成的一例的立体图。图2是表示图1的元件安装机27、28的立体图。元件安装线1并列设置有4个搭载了2台相同构造的元件安装机的底座部11。因此，元件安装线1中直列地配置有8台元件安装机21～28。当将图1的图纸左面内侧的元件安装机21设为前段侧、将图纸右面近前侧的元件安装机28设为后段侧时，基板被从前段侧的元件安装机21搬入而从后段侧的元件安装机28搬出。在元件安装机21～28中，在基板被依次搬运的期间，元件被安装到基板上。

在该图1中，将基板的搬运方向设为横向（箭头X方向）、将在水平面内与横向（箭头X方向）正交的方向设为纵向（箭头Y方向）。并且，将水平面的法线方向设为高度方向（箭头Z方向）。以下，以后段侧的元件安装机28为例来说明元件安装机的构成。并且，以相邻的元件安装机27、28为例来详细说明传递至元件安装机的力的降低方法。此外，元件安装机21～27具有和元件安装机28相同的构成。

如图2所示，元件安装机28具有：基板搬运装置3、元件供给装置4、元件移载装置5、元件相机61、嘴收容装置62、控制计算机7及联动装置8，它们组装到作业部9上。作业部9以能够沿着纵向（箭头Y方向）移动的方式架装于底座部11。

（基板搬运装置3）

基板搬运装置3配置在元件安装机28的纵向（箭头Y方向）的中央附近，是第一搬运装置31及第二搬运装置32并列设置的所谓双输送机型的搬运装置。第一搬运装置31具有：在作业部9上与横向（箭头X方向）平行地并列设置的未图示的一对导轨；由一对导轨引导，载置并搬运基板的未图示的一对输送带。并且，第一搬运装置31上设有未图示的夹紧装置，夹紧装置对被搬运到元件安装位置为止的基板从作业部9一侧进行上推并定位。第二搬运装置32具有和第一搬运装置31相同的构成。

（元件供给装置4）

元件供给装置4设置在元件安装机28的纵向（箭头Y方向）的前部（图2的纸面左方向侧），多个盒式供料器41可装卸地安装在主体部上。盒式供料器41相当于元件收容部。盒式供料器41具有：供料器主体42；供给带盘43，可旋转且可装卸地安装在供料器主体42上；元件供给部44，设置在供料器主体42的前端侧（靠近元件安装机28的中央）。

供给带盘43是供给元件的介质，缠绕有以一定间隔保持有规定个数元件的未图示的载带。载带的前端拉出至元件供给部44，按照各载带而供给不同的元件。盒式供料器41例如可供给芯片元件等较小型的元件。此外，对于元件收容部而言，除了盒式供料器41以外，例如也可使用料盘单元。料盘单元例如可将IC元件、LSI元件等较大型的元件以收容于盘内的状态进行供给。

（元件移载装置5）

元件移载装置5是能够沿着横向（箭头X方向）及纵向（箭头Y方向）移动的所谓XY机械手型移载装置。元件移载装置5配置于从元件安装机28的纵向（箭头Y方向）的后部（图2的纸面右方向内侧）到前部（图2的纸面左方向近前侧）的元件供给装置4的上方。元件移载装置5具有头驱动机构51及元件安装头52。

元件安装头52具有多种，操作人员可选择元件安装头52的种类并安装到元件移载装置5上。头驱动机构51可将元件安装头52沿横向（箭头X方向）及纵向（箭头Y方向）驱动。此外，可通过第一搬运装置31及第二搬运装置32交替地搬入及搬出基板，并由元件移载装置5交替地进行元件的安装。

（元件相机61、嘴收容装置62）

元件相机61可判断元件安装头52的吸嘴所吸附的元件是否适当及元件的吸附状态是否良好。元件相机61配置在元件供给部44和第一搬运装置41之间的作业部9上。并且，在作业部9上，与元件相机61相邻地配置有嘴收容装置62。

嘴收容装置62具有多个嘴保持孔，可将吸嘴收容于嘴保持孔。在嘴收容装置62中，可更换吸嘴。在更换吸嘴时，元件安装头52移动到嘴收容装置62，将不再需要的吸嘴返回至嘴收容装置62。并且，将更换的吸嘴从嘴收容装置62取出，并搭载于元件安装头52。

（控制计算机7）

控制计算机7配置在上部的罩91的前侧上部，具有未图示的微型计算机。微型计算机具有CPU、存储器及通信接口，它们经由总线连接。若以控制块来表示，则微型计算机具有显示控制部、通信控制部及安装控制部。显示控制部可将元件的安装情况、元件安装机28的状态等显示到监视器上。

各元件安装机21～28的各控制计算机7及未图示的主计算机通过有线或无线通信线路连接。通信线路例如可使用LAN。通信控制部可控制与其他元件安装机21～27及主计算机之间的通信，可收发各种数据及控制信号。各种数据包括：安装到基板上的元件的元件信息、元件收容信息、元件的安装顺序、元件的安装位置、元件安装头52的种类及吸嘴的种类等。

各元件安装机21～28的通信控制部可经由通信线路下载主计算机所生成的元件的安装程序，各元件安装机21～28的安装控制部可通过执行安装程序与其他元件安装机协同动作，从而将元件安装到基板上。此外，也可替代主计算机，元件安装机21～28中的任一元件安装机生成元件的安装程序，并向其他元件安装机发送元件的安装程序。

安装控制部能够根据元件的安装程序来驱动基板搬运装置3、元件供给装置4及元件移载装置5，从而将元件安装到基板上。通过安装控制部的指令，元件移载装置5的元件安装头52首先向元件供给装置4移动并吸附元件。而且，元件安装头52向元件相机61的摄像部移动，元件相机61拍摄元件的吸附状态。而且，元件相机61的图像判定部判定所吸附的元件是否适当及元件的吸附状态是否良好。

接着，元件安装头52向被基板搬运装置3定位后的基板的规定的安装位置移动并安装元件，最后返回至元件供给装置4。在各元件安装机21～28反复进行同样的步骤，从而可将分配到各元件安装机21～28的元件种类的元件安装到基板上。在各元件安装机21～28中，将元件安装于基板时所需的时间称为生产节拍时间。

（联动装置8）

图3是表示联动装置8的构成的一例的构成图。元件安装机28具有能够相对于相邻的元件安装机27沿横向（箭头X方向）进退的联动装置8、8。并且，元件安装机27具有能够相对于相邻的元件安装机28沿横向（箭头X方向）进退的联动装置8、8。元件安装机27所具有的联动装置8、8和元件安装机28所具有的联动装置8、8分别在横向（箭头X方向）上相向。各联动装置8配置在图2所示的上方的框架92上。此外，在该图中，示意地记载了联动装置8、8的一部分。

如图3所示，联动装置8具有气缸81及弹性部件82。联动装置8经由配管83与设置在元件安装机27、28的外部的减压阀84、电磁阀85及气源86连接。纵向（箭头Y方向）相邻的联动装置8、8的气缸81、81以通用的配管83连通，共用减压阀84、电磁阀85及气源86。此外，减压阀84根据需要而设置，气源86按照每个元件安装机27、28而设置。

元件安装机27可安装能够相对于相邻的元件安装机26沿横向（箭头X方向）进退的以虚线表示的联动装置8、8。元件安装机28可安装能够相对于在元件安装机27相反一侧增设或移动的元件安装机沿横向（箭头X方向）进退的以虚线表示的联动装置8、8。如该图3所示，虚线所示的气缸81及弹性部件82以外的配管83、减压阀84、电磁阀85及气源86已经设置，并能够容易地应对与其他元件安装机的替换、元件安装机的增设或减设。例如，替换元件安装机27、28时，在元件安装机27、28中，分别将实线所示的气缸81及弹性部件82替换为虚线所示的气缸81及弹性部件82。

图4是表示联动装置8的一例的立体图。图5是表示联动装置8、8相互抵接的状态的沿着I-I’线的截面图，省略联动装置8以外的内部机构的记载。

如图5所示，元件安装机27侧的气缸81具有气缸主体部81a、活塞部81b及杆部81c。在气缸主体部81a的内部，以能够沿横向（箭头X方向）滑动的方式嵌合有活塞部81b。在活塞部81b的横向一端侧（箭头X1方向侧）一体形成有杆部81c，杆部81c通过设置于气缸主体部81a的贯通孔81d而延伸到气缸主体部81a的外部。此外，活塞部81b通过弹簧等弹性部件而被向箭头X2方向施力。并且，将由活塞部81b的横向另一端侧（箭头X2方向侧）的侧面81b1和气缸主体部81a的内壁包围的区域设为气室8A。

在杆部81c的前端设有长方体形状的弹性部件82。弹性部件82例如可由树脂、橡胶等弹性材料形成。特别是若弹性部件82是橡胶制成的，则弹力强，为优选。并且，弹性部件82例如优选使用减振橡胶等减振性强的弹性材料。

在气缸主体部81a的上表面设有可与配管83连接的端口81e。如图3所示，配管83的一侧与气缸主体部81a的端口81e连通，配管83的另一侧经由减压阀84、电磁阀85与气源86连接。减压阀84根据来自控制计算机7的指令，可将从气源86供给的压缩空气的气压设定为所期望的气压。并且，减压阀84即使在压缩空气的流量变动时，也可使气压维持恒定。

电磁阀85是具有四个端口的电磁阀，气源86与第一输入端口851连接，减压阀84与第一输出端口853连接。第二输入端口852及第二输出端口854处于未连接。在电磁阀85的螺线管未被施加电压的状态下，可阻止来自气源86的压缩空气的供给。此时，第一输出端口853和第二输入端口852连通，经由配管83、减压阀84及电磁阀85排出气缸81内的压缩空气。

另一方面，当电磁阀85的螺线管被施加电压时，第一输入端口851和第一输出端口853连通，从气源86经由电磁阀85、减压阀84及配管83向气缸81供给压缩空气。基于来自控制计算机7的指令来进行对电磁阀85的螺线管施加电压。

在图3中，对实线所示的气缸81及弹性部件82进行控制的一侧的电磁阀85用电磁阀85a来表示，对虚线所示的控制气缸81及弹性部件82进行控制的一侧的电磁阀85用电磁阀85b来表示，并对它们进行区分。并且，气源86具有未图示的压缩机（空气压缩机），通过驱动压缩机，可向气缸81供给压缩空气。

如图5所示，例如，当向元件安装机27侧的气缸81的气室8A供给压缩空气而使气室8A的室压增加时，活塞部81b、杆部81c及弹性部件82向箭头X1方向移动。另一方面，当气室8A内的压缩空气被排出而使气室8A的室压减少时，通过气缸81的弹簧等弹性部件的复原力，活塞部81b、杆部81c及弹性部件82向箭头X2方向移动。

在图5中，用可动距离L1来表示活塞部81b的横向（箭头X方向）可动距离，用气室长度L2来表示气室8A的横向（箭头X方向）长度。气室长度L2设定成大于活塞部81b的可动距离L1。

元件安装机28侧的联动装置8具有和元件安装机27侧的联动装置8相同的构成。设弹性部件82与对方侧部件抵接的面为抵接面82a时，元件安装机27侧的联动装置8及元件安装机28侧的联动装置8是以抵接面82a为边界面而呈镜像关系。因此，元件安装机28侧的气缸81和元件安装机27侧的气缸81相比，活塞部81b、杆部81c及弹性部件82的移动方向相反。

在开始元件安装机21～28对元件的安装之前，控制计算机7向元件安装机27侧的电磁阀85a及元件安装机28侧的电磁阀85a的各螺线管施加电压。当元件安装机27侧的电磁阀85a的螺线管被施加电压时，压缩空气从元件安装机27侧的气源86经由电磁阀85a、减压阀84及配管83供给至元件安装机27侧的气缸81。由此，压缩空气供给至元件安装机27侧的气缸81的气室8A，气室8A的室压增加，活塞部81b、杆部81c及弹性部件82向箭头X1方向移动。

当元件安装机28侧的电磁阀85a的螺线管被施加电压时，压缩空气从元件安装机28侧的气源86经由电磁阀85a、减压阀84及配管83供给至元件安装机28侧的气缸81。由此，压缩空气供给至元件安装机28侧的气缸81的气室8A，气室8A的室压增加，活塞部81b、杆部81c及弹性部件82向箭头X2方向移动。

图5表示元件安装机27侧的弹性部件82和元件安装机28侧的弹性部件82由压缩空气推压并抵接的状态。即，元件安装机27侧的气室8A的室压和元件安装机28侧的气室8A的室压设定为相同的室压。在该状态下，例如，由于元件安装机27侧的可动部（例如元件安装头52）的移动而使元件安装机27侧的框架92向箭头X1方向移动（振动）。由此，元件安装机28侧的弹性部件82被加压，元件安装机28侧的弹性部件82、杆部81c及活塞部81b要向箭头X1方向移动。

此时，元件安装机27侧的弹性部件82和元件安装机28侧的弹性部件82在抵接面82a处彼此弹性变形。由此，吸收元件安装机27产生的振动，并且吸收从元件安装机27传递至元件安装机28的横向（箭头X方向）、纵向（箭头Y方向）及高度方向（箭头Z方向）的力。进而，通过供给至元件安装机27侧的气室8A的压缩空气及供给至元件安装机28侧的气室8A的压缩空气的气垫效果，可降低元件安装机27产生的振动，并且可减低从元件安装机27传递至元件安装机28的横向（箭头X方向）、纵向（箭头Y方向）及高度方向（箭头Z方向）的力。

如该图5所示，气室长度L2设定成大于活塞部81b的可动距离L1，因此防止了活塞部81b的侧面81b1和气体主体部81a的内壁的底面81a1的抵接。因此，可获得由压缩空气产生的充分的气垫效果，能够降低从元件安装机27传递至元件安装机28的力。并且，由于防止了活塞部81b的侧面81b1和气缸主体部81a的底面81a1的抵接，所以能够防止活塞部81b和气缸主体部81a的底面81a1的接触疲劳，从而提高气缸81的耐久性。

当元件安装机27侧的框架92向箭头X2方向进行了移动（振动）时，对元件安装机28侧的弹性部件82的推压减小，从元件安装机27传递至元件安装机28的力减小。并且，由于元件安装机28侧的可动部（例如元件安装头52）的移动而使元件安装机28侧的框架92移动（振动）的情况下也同样地能够获得与上述效果相同的效果。

在元件安装机27与相邻的元件安装机26之间，也可以设置同样的联动装置8、8、8、8。由此，可降低元件安装机27侧的框架92向箭头X2方向移动（振动）时产生的振动，并且可降低从元件安装机27传递至元件安装机26的力。在此情况下，在元件安装机27增设图3的虚线所示的气缸81及弹性部件82。并且，在元件安装机26，在和元件安装机27相向的一侧增设气缸81和弹性部件82。

在元件安装机21和元件安装机22之间、元件安装机23和元件安装机24之间及元件安装机25和元件安装机26之间，也设有与图3所示的构成相同构成的联动装置8、8、8、8。由此，各元件安装机21～26也能够获得与对元件安装机27、28已述的效果相同的效果。

在本实施方式中，具有以能够沿着配置元件安装机21～28的横向（箭头X方向）进退的方式设置的联动装置8。并且，联动装置8前进而与对方侧联动装置8抵接，联动装置8的抵接部至少传递横向（箭头X方向）的力。由此，可提高相邻的元件安装机彼此的外观上的质量及刚性并降低元件安装机产生的振动，并且通过联动装置8进退而使抵接部传递力，从而可降低元件安装机产生的振动。此外，联动装置8的抵接部不仅能够传递横向（箭头X方向）的力，还能够传递纵向（箭头Y方向）、高度方向（箭头Z方向）的力。联动装置8的抵接部传递多个方向的力，从而可进一步提高元件安装机产生的振动的降低效果。

并且，在本实施方式中，联动装置8具有在与对方侧联动装置8抵接时能够弹性变形的弹性部件82（缓冲部），因此联动装置8与对方侧联动装置8抵接并降低元件安装机产生的振动，并且，弹性部件82（缓冲部）弹性变形而能够吸收元件安装机产生的振动。弹性部件82（缓冲部）吸收自身的元件安装机产生的振动，并且抑制传递至对方侧元件安装机的力，因此可提高元件安装机产生的振动的降低效果。

进而，在本实施方式中，联动装置8具有：气缸81，具有能够沿着配置元件安装机21～28的横向（箭头X方向）进退的杆部81c；和弹性部件，作为缓冲部而设于杆部81c的前端。因此，可通过由气缸81产生的气垫效果来降低元件安装机产生的振动，并且弹性部件82（缓冲部）弹性变形而能够吸收元件安装机产生的振动。因此，可提高元件安装机产生的振动的降低效果。

（底座部11）

元件安装机27、28可装卸地安装在底座部11上。元件安装机27的底座部11和元件安装机28的底座部11一体形成。底座部11载设于设置部12。图6是表示底座部11的一例的局部切缺立体图。图7是表示在底座部11上搭载了作业部9的状态的局部切缺侧视图。

如图6所示，在底座部11的上表面设有4个轨道部962、962、962、962。在各轨道部962，沿着纵向（箭头Y方向）并列设置有导轨960。4个轨道部962可分为2个轨道对964、964，轨道对964、964分别引导元件安装机27、28。并且，底座部11针对各轨道对964在底座部11后部的导轨960、960之间具有作为卡定部件的止动件966。

底座部11针对各轨道对964在底座部11的纵向（箭头Y方向）的大致中央部的导轨960、960之间具有施力装置970。施力装置970具有杆972及转动装置974。杆972是可转动地设置在底座部11上的施力部件。转动装置974是使杆972转动的施力部件驱动装置。转动装置974例如可由气缸构成。

如图7所示，通过活塞杆978的伸缩，杆972转动，设置在杆972的自由端部的卡合部980可在从底座部11的上表面向上方突出的施力位置（固定位置）和从底座部11的上表面向下方收容的退避位置（解除位置）之间移动。元件安装机27、28分别被轨道对964、964引导，可在纵向（箭头Y方向）上相对移动。

各元件安装机27、28中，并列设置两列每列四个共8个车轮990经由轴承可旋转地保持于在作业部9的下部。并且，在作业部9的下部，在后端部的2个车轮列之间，设有作为被卡定部件的抵接部件992。并且，在纵向（箭头Y方向）的大致中央部中，设有作为被施力部件的突起部994。当向底座部11安装元件安装机27、28时，车轮990载置在导轨960上，各车轮990转动的同时使元件安装机27、28后退。此外，导轨960呈横向（箭头X方向）的外侧部分向上方突出的形状，可防止各车轮990脱落。

当向底座部11安装元件安装机27时，杆972向退避位置退避，在抵接部件992抵接于止动件966的状态下向施力位置转动，卡合部980与突起部994卡合，向后方对元件安装机27施力。由此，抵接部件992被推压在止动件966上，元件安装机27向纵向（箭头Y方向）的移动被限制，从而被固定到底座部11上。将元件安装机28安装到底座部11的情况也相同。另一方面，在使杆972向退避位置转动而解除元件安装机27、28相对底座部11的固定时，可使元件安装机27、28向前方移动。

在本实施方式中，各元件安装机21～28具有：底座部11；和作业部9，以能够在与配置元件安装机21～28的横向（箭头X方向）成直角的方向即纵向（箭头Y方向）上移动的方式架装在底座部11上。本实施方式的元件安装线1能够通过使联动装置8后退来容易地解除元件安装机21～28的联动，因此，与元件安装机21～28被连接装置固定的情况相比，元件安装机21～28相对与底座部11的移动比较容易。

进而，在本实施方式中，是作业部9具有基板搬运装置3、元件供给装置4及元件移载装置5的元件安装线1。并且，模块化的元件安装机21～28的构造相同，形状、尺寸也相同。因此，各元件安装机21～28的固有频率变得相同，当一个元件安装机开始振动时，其他元件安装机共振，振幅增大，从而可动部的定位精度可能会下降。

在这种构成的元件安装线1中，联动装置8前进而与对方侧联动装置8抵接，联动装置8的抵接部至少传递横向（箭头X方向）的力。因此，元件安装机21～28产生的振动的降低效果提高，例如，可维持元件安装头（可动部）的定位精度而不降低元件安装头52（可动部）的移动速度。因此，与降低元件安装头52（可动部）的移动速度来抑制元件安装机21～28产生的振动的情况相比，可缩短在各元件安装机21～28中将安装元件安装到基板上时所需的生产节拍时间。

元件安装头52（可动部）配置在元件安装机21～28的上方，在横向（箭头X方向）及纵向（箭头Y方向）上移动。因此，与在元件安装机21～28的下方产生的振动相比，在元件安装机21～28的上方产生的振动大。联动装置8配置在元件安装机21～28的上方的框架92上，因此可提高元件安装机21～28产生的振动的降低效果。此外，可动部不限定于元件安装头52，例如，对于基板搬运装置3的输送带等各种可动部、驱动装置，也能够获得与上述效果相同的效果。

（2）第二实施方式

本实施方式与第一实施方式相比，不同点在于，联动装置8与对方侧的元件安装机抵接。对和第一实施方式相同的部位标注相同的附图标记使之对应，从而省略重复性说明。图8是表示联动装置8的构成的一例的构成图。如该图8所示，元件安装机27侧的联动装置8、8的弹性部件82、82分别与元件安装机28侧的框架92抵接。并且，元件安装机28侧的联动装置8、8的弹性部件82、82分别与元件安装机27侧的框架92抵接。除了上述内容以外均和第一实施方式相同。

例如，设由于元件安装机27侧的可动部（例如元件安装头52）的移动而使元件安装机27侧的框架92向箭头X1方向进行了移动（振动）。由此，元件安装机27侧的弹性部件82被加压，元件安装机27侧的弹性部件82、杆部81c及活塞部81b要向箭头X2方向移动。此时，元件安装机27侧的弹性部件82弹性变形，吸收元件安装机27产生的振动，并且吸收从元件安装机27向元件安装机28传递的横向（箭头X方向）、纵向（箭头Y方向）及高度方向（箭头Z方向）的力。进而，通过供给至元件安装机27侧的气缸81的气室8A的压缩空气的气垫效果，可降低元件安装机27产生的振动，并且可降低从元件安装机27向元件安装机28传递的横向（箭头X方向）、纵向（箭头Y方向）及高度方向（箭头Z方向）的力。

并且，当元件安装机27侧的框架92向箭头X1方向移动（振动）时，元件安装机28侧的弹性部件82被加压，元件安装机28侧的弹性部件82、杆部81c及活塞部81b要向箭头X1方向移动。此时，元件安装机28侧的弹性部件82弹性变形，吸收元件安装机27产生的振动，并且吸收从元件安装机27向元件安装机28传递的横向（箭头X方向）、纵向（箭头Y方向）及高度方向（箭头Z方向）的力。进而，通过供给至元件安装机28侧的气缸81的气室8A的压缩空气的气垫效果，可降低元件安装机27产生的振动，并且可减低从元件安装机27向元件安装机28传递的横向（箭头X方向）、纵向（箭头Y方向）及高度方向（箭头Z方向）的力。

当元件安装机27侧的框架92向箭头X2方向进行了移动（振动）时，对元件安装机27侧的弹性部件82及元件安装机28侧的弹性部件82的推压减小，从元件安装机27传递至元件安装机28的力减小。并且，由于元件安装机28侧的可动部（例如元件安装头52）的移动而使元件安装机28侧的框架92移动（振动）的情况下也同样，能够获得与上述效果相同的效果。

在元件安装机27与相邻的元件安装机26之间，也可以设置同样的联动装置8、8、8、8。由此，可降低元件安装机27侧的框架92向箭头X2方向移动（振动）时产生的振动，并且可降低从元件安装机27传递至元件安装机26的力。在此情况下，在元件安装机27增设图8的虚线所示的气缸81及弹性部件82。并且，在元件安装机26，在元件安装机27侧增设气缸81和弹性部件82。

在元件安装机21和元件安装机22之间、元件安装机23和元件安装机24之间及元件安装机25和元件安装机26之间，也设有与图8所示的构成相同构成的联动装置8、8、8、8。由此，各元件安装机21～26也能够获得对元件安装机27、28已述的效果相同的效果。

（3）第三实施方式

本实施方式和第二实施方式相比，不同点在于，元件安装机21～28不经由底座部11而直接载设于设置部12上。对与第一实施方式及第二实施方式相同的部位标注相同的附图标记使之对应，从而省略重复性说明。图9是与沿着图2的I-I’线的截面图相当的截面图，省略联动装置8以外的内部机构的记载。并且，在该图9中，用L3来表示元件安装机27和元件安装机28之间的横向（箭头X方向）距离。

在第一实施方式及第二实施方式中，在向底座部11安装元件安装机27、28时，轨道对964、964分别引导元件安装机27、28。因此，容易将元件安装机27、28的横向距离L3设定为规定距离。另一方面，不经由底座部11而直接将元件安装机27、28载设于设置部12时，与与规定距离无误差地设定元件安装机27、28的横向距离L3并不容易。在本实施方式中，在载设元件安装机27、28时，使联动装置8进退，消除元件安装机27、28彼此的配置间隔的误差。具体而言，弹性部件82一边推压元件安装机27的框架92一边使元件安装机27移动。这些情况对元件安装机21～26而言也是同样的。

在本实施方式中，当载设元件安装机21～28时，使联动装置8进退，从而可吸收元件安装机21～28彼此的配置间隔的误差，因此容易进行元件安装机21～28的配置作业。此外，联动装置8也可仅设置在相邻的元件安装机的一个元件安装机上。并且，联动装置8也可以设置在相邻的元件安装机的各个元件安装机上，并可以调节彼此的配置间隔。

（4）第四实施方式

本实施方式和第一实施方式相比，不同点在于，搭载于底座部11的元件安装机的个数不同。对与第一实施方式相同的部位标注相同的附图标记使之对应，从而省略重复性说明。图10是与沿着图2的I-I’线的截面图相当的截面图，省略联动装置8以外的内部机构的记载。

在本实施方式中，元件安装线1并列设置有2个搭载了4台相同构造的元件安装机的底座部11。该图10表示4台元件安装机25～28并列设置于一个底座部11的情况。如该图10所示，设相邻的元件安装机25、26为一对，设相邻的元件安装机27、28为一对。并且，元件安装机25在元件安装机26侧具有联动装置8，而在元件安装机24侧不具有联动装置8。并且，元件安装机26在元件安装机25侧具有联动装置8，而在元件安装机27侧不具有联动装置8。元件安装机27、28这一对也同样。

如此，将相邻的2个元件安装机作为一对，在该一对元件安装机内设置联动装置8、8，从而可降低传递至一对内的元件安装机的力，并可抑制向并列设置于底座部11的其他对的元件安装机传递的力。这一点对于搭载元件安装机21～24的底座部11也同样，可使联动装置8的设置个数适度并且实现元件安装线1整体的振动的降低。

此外，搭载于一个底座部11的元件安装机的个数不限定为4个，也可将6个以上的偶数个元件安装机搭载于一个底座部11。并且，也可仅在一对之中相邻的元件安装机的一个元件安装机上设置联动装置8。这一点对于第二实施方式中也同样，联动装置8的弹性部件82也可与对方侧的元件安装机的框架92抵接。

（5）其他

本实用新型并不仅限定为上述内容及附图所示的实施方式，在不脱离主旨的范围内可适当变更并实施。例如，作业线不限定为元件安装线1，作业机也不限定为元件安装机。例如，作业机也可是丝网印刷机、流体涂布机、焊料回流炉或基板检查机等。并且，作业线也可组合这些作业机而构成。

联动装置8也可仅设置在相邻的作业机的一个作业机上。并且，沿纵向（箭头Y方向）配置的联动装置8的个数不限于2个，可是1个，也可以是3个以上。并且，沿纵向（箭头Y方向）设置多个联动装置8时，对于一部分的联动装置8，可使联动装置8和对方侧联动装置8抵接，对于剩余的联动装置8，可使联动装置8和对方侧作业机的框架抵接。即，可以形成将第一实施方式和第二实施方式组合而得到的实施方式。此外，联动装置8不限定为气缸，也可使用液压缸等各种致动器。

Claims (5)

1.一种作业线，多个作业机在横向上彼此离开地配置，其特征在于，

所述作业线具有联动装置，所述联动装置以能够在所述横向上进退的方式设置在相邻的所述作业机的至少一个作业机上，

所述联动装置前进而与对方侧联动装置或对方侧作业机抵接，所述联动装置的抵接部至少传递所述横向的力。

2.根据权利要求1所述的作业线，其特征在于，

所述联动装置具有在所述抵接时能够弹性变形的缓冲部。

3.根据权利要求2所述的作业线，其特征在于，

所述联动装置具有：

气缸，具有能够在所述横向上进退的杆部；和

弹性部件，设置于所述杆部的前端以作为所述缓冲部。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的作业线，其特征在于，

所述多个作业机分别具有：

底座部；和

作业部，以能够在与所述横向成直角的纵向上移动的方式架装于该底座部上。

5.根据权利要求4所述的作业线，其特征在于，

所述作业部具有：

基板搬运装置，将基板搬入至安装位置并将基板从安装位置搬出；

元件供给装置，供给被安装于所述基板上的元件；及

元件移载装置，能够在所述横向及所述纵向上移动，从所述元件供给装置吸附所述元件并将所述元件安装于被搬入到所述安装位置的所述基板上。

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