CN203200373U - 一种泡生法蓝宝石视频引晶系统 - Google Patents

一种泡生法蓝宝石视频引晶系统 Download PDF

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郑伟
胡文虎
于民华
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Abstract

本实用新型涉及一种泡生法蓝宝石视频引晶系统及其控制方法,包括相机支架(1),高清相机(2),观察窗口(3),炉盖(4)和观察窗口(3)上的进/出水接口(5),所述相机支架(1)可实现在两个观察窗口(3)之间的移动,所述高清相机(2)通过交换机网络连接至炉台控制系统,在所述两个观察窗口(3)上开有进/出水接口(5),本实用新型可实现采用统一量化的标准来进行自动引晶操作,减少了对技术人员引晶水平的依赖性,可以有效提高蓝宝石晶体产量以及减少因人为因素引起的晶体质量问题。

Description

一种泡生法蓝宝石视频引晶系统
技术领域
本实用新型涉及一种泡生法生长蓝宝石的视频引晶系统。属于晶体生长技术领域。
背景技术
由于蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,因而被广泛应用于整流罩、窗口材料等军工领域以及LED衬底材料和手机屏等民用领域。近年来,随着现代科学技术的发展,蓝宝石在国际市场上的需求量越来越大,同时对晶体质量及尺寸的要求也愈来愈高。
目前,在蓝宝石晶体生长方法中,世界上公认的、最适合规模化生产大尺寸、高质量LED衬底级蓝宝石晶体的生长技术是泡生法。泡生法同提拉法相似,是在一根受冷的(多采用水冷)提拉杆上安装上籽晶,将坩埚内原料熔化为熔体,然后将籽晶与熔体接触,如果界面的温度适合,熔体则沿籽晶晶向进行结晶生长(引晶)。为了使晶体不断长大,就需要逐渐下降功率,以降低熔体的温度使之结晶;同时,需要缓慢上提晶体,以扩大散热面。
采用泡生法生长蓝宝石晶体与其他方法相比,最重要的一个过程就是引晶,晶体质量的好坏非常依赖于技术人员的引晶经验和操作水平,但目前还没有统一量化的标准和操作规程来控制引晶过程,实现自动化引晶。在引晶期间,技术人员需要通过观察窗口来查看籽晶与熔体的接触和生长情况,进而做出正确的判断。但通常引晶过程持续时间较长,从原料熔化到引晶过程结束一般为20小时左右,在此过程中,由于炉内温度高达2100℃,观察窗口只能间断式打开以免高温下观察用视镜炸裂,以及炉内钨钼等杂质挥发物会不断吸附在观察窗口上,导致观察窗口的可视性被逐渐破坏。同时,技术人员需要长时间的利用观察窗口来进行引晶,受炉内高温辐射影响,视力也会逐渐疲劳,每天只能完成最多2-3炉台的引晶工作,制约了晶体产量的提高。以上这些都给引晶工作造成极大的困难,会直接影响到晶体的质量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种泡生法蓝宝石视频引晶系统,可有效解决观察用视镜易炸裂和技术人员视力容易疲劳等问题。
本实用新型的目的是这样实现的:一种泡生法蓝宝石视频引晶系统,它包括:相机支架、高清相机、两个观察窗口和炉盖,所述高清相机固定于相机支架上,所述两个观察窗口设置于炉盖上,所述相机支架可实现在两个观察窗口之间的移动,以方便对两个观察窗口内的引晶情况进行拍摄,所述高清相机通过交换机网络连接至炉台控制系统,在所述两个观察窗口上开有进/出水接口。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型使用视频图像、图像增强算法和专业图像分析程序可实现采用统一量化的标准来进行自动引晶操作,减少了对技术人员引晶水平的依赖性,引晶一致性好,操作方便,生产过程简单,可以有效提高蓝宝石晶体产量以及减少因人为因素引起的晶体质量问题。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
其中: 
相机支架1
高清相机2
观察窗口3
炉盖4
进/出水接口5。
具体实施方式
参见图1,本实用新型涉及一种泡生法蓝宝石视频引晶系统,所述系统包括:相机支架1,高清相机2,观察窗口3,炉盖4和观察窗口3上的进/出水接口5,配备合适滤光片的工业用耐高温的高清相机2置于用于固定相机并调节拍摄角度的相机支架1上,所述相机支架1可实现在两个观察窗口3之间的移动,以方便对两个观察窗口3内的引晶情况进行拍摄,所述高清相机2通过交换机网络技术连接至炉台控制系统,炉台控制系统采集相机拍摄的图像,并成像在控制系统的显示屏上。同时,在炉盖4上的两个观察窗口3上开有进/出水接口5,用以连接进/出水管路,以实现通水冷却观察窗口内的观察用视镜,防止其炸裂。

Claims (1)

1.一种泡生法蓝宝石视频引晶系统,其特征在于它包括:相机支架(1)、高清相机(2)、两个观察窗口(3)和炉盖(4),所述高清相机(2)固定于相机支架(1)上,所述两个观察窗口(3)设置于炉盖(4)上,所述相机支架(1)可实现在两个观察窗口(3)之间的移动,以方便对两个观察窗口(3)内的引晶情况进行拍摄,所述高清相机(2)通过交换机网络连接至炉台控制系统,在所述两个观察窗口(3)上开有进/出水接口(5)。
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