CN203173962U - 玻璃基板的制造装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供一种玻璃基板的制造装置，其能够抑制澄清管向气相空间下垂。制造玻璃基板的玻璃基板的制造方法包含：在熔解炉中将玻璃原料熔解从而形成熔融玻璃的工序；将所述熔融玻璃供给至铂制或铂合金制的澄清管从而进行熔融玻璃的澄清的工序；和对澄清后的熔融玻璃进行成型从而形成玻璃基板的工序。所述澄清管中，按照在所述熔融玻璃的流路上方具有气相空间的方式使所述熔融玻璃流动。所述澄清管上设置有连通所述气相空间与外部空气的通气管，该通气管在所述澄清管的外壁面上以烟筒状向所述澄清管的外侧突出，在所述通气管上设置有澄清管形状变化抑制手段，其用于抑制所述澄清管中的与气相空间接触的部分因受热而向所述气相空间下垂。

Description

玻璃基板的制造装置
技术领域
本实用新型涉及一种玻璃基板的制造装置，其通过对熔融玻璃进行成型来制造玻璃基板，所述熔融玻璃是通过对玻璃原料进行熔融而得到的。
背景技术
玻璃基板一般是经过由玻璃原料生成熔融玻璃之后，将熔融玻璃成型为玻璃基板的工序来制造的。上述工序中，包括将熔融玻璃内含的微小气泡除去的工序(以下也称为澄清)。澄清是通过下述方法进行的：一边对澄清管进行加热，一边使配合有As2O3等澄清剂的熔融玻璃通过澄清管，利用澄清剂的氧化还原反应来除去熔融玻璃中的气泡，由此来进行澄清。更具体而言，按照下述方式进行澄清：进一步提高粗熔解后的熔融玻璃的温度以使澄清剂发挥功能，进行气泡的上浮脱泡后，降低温度，由此使熔融玻璃吸收未完全脱泡而残留的较小的气泡。即，澄清包含使气泡上浮脱泡的处理(以下称为脱泡处理)以及使小泡吸收至熔融玻璃中的处理(以下称为吸收处理)。在脱泡处理中，使熔融玻璃通过澄清管时，在澄清管的内部上方的表面与熔融玻璃的液面之间具有恒定面积的脱泡用的气相空间。
为了由高温的熔融玻璃进行高品质的玻璃基板的量产，期望考虑作为玻璃基板缺陷的主要因素的杂质等不要从制造玻璃基板的任何装置中混入到熔融玻璃中。因此，在玻璃基板的制造过程中，与熔融玻璃接触的部件的内壁需要根据与该部件接触的熔融玻璃的温度、所要求的玻璃基板的品质等由适当的材料构成。例如，已知构成上述澄清管的管的材料，一般使用铂或铂合金等铂族金属(专利文献1)。铂或铂合金等虽然价格高但熔点高、对熔融玻璃的耐腐蚀性也优异，因此适合用于澄清管。
在脱泡处理时对澄清管进行加热的温度根据想要成型的玻璃基板的组成而不同，为1000℃～1650℃左右。特别是从降低环境负荷的观点出发，近年来开始使用SnO2或Fe2O3等来代替澄清功能高但毒性也高的As2O3。但是，与As2O3相比，这些物质的澄清功能较差，发挥澄清功能的温度比As2O3高。因此，脱泡处理时的熔融玻璃的温度设定为1500℃～1650℃。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特表2006-522001号公报
这样的玻璃基板的制造装置的澄清管进行长时间澄清工序时，由于长期处于高温，因此机械强度下降。另外，铂或铂合金的一部分挥发而使厚度部分性变薄，因此机械强度进一步下降。进一步，在厚度变薄的部分，对澄清管进行通电加热时的电阻变高，加热温度部分性变高。由此，强度进一步下降，同时促进了上述挥发，因此厚度更进一步变薄，强度下降。与气相空间接触的地方会因该强度的下降而无法承受来自澄清管内侧的熔融玻璃的压力，因此容易因自重而下垂。
另一方面，为了将通过脱泡处理从熔融玻璃放出的氧等气体排出到外部空气，在澄清管上设置有连通气相空间与外部空气的烟筒状的通气管。该通气管连接于澄清管中的与气相空间接触的地方，因此在该通气管的与澄清管连接的连接部分上加载有通气管的负荷，澄清管容易以通气管为中心向下方下垂。
由于这样的下垂，设置在澄清管与澄清管周围的耐火物部件之间会产生间隙，空气容易从外部进入该间隙。若空气进入该间隙，则有可能促进铂或铂合金从与间隙接触的澄清管的外壁面挥发。
特别是一部分通气管的下垂有可能导致大量的金属性杂质向熔融玻璃混入。具体而言，从与澄清管的气相空间接触的内壁面挥发的铂或铂合金与具有较低温度的通气管的内壁面的周围接触而发生凝缩、固化，形成大量的铂杂质等金属性杂质。因此，在通气管的周围的内壁面下垂并沉入熔融玻璃中的情况下，形成在通气管的周围的内壁面的金属性杂质混入熔融玻璃中的可能性变高。
另外，若通气管的下沉变大，则施加在澄清管的壁上的应变也变大，因此厚度变薄的澄清管越来越容易损坏。
因此，本实用新型的目的在于提供一种玻璃基板的制造装置，其能够在玻璃基板的制作工序中的通过加热澄清管来进行澄清处理时，抑制澄清管向气相空间下垂。
本实用新型的一个方式是制造玻璃基板的玻璃基板的制造装置。该制造装置具有：
熔解槽，在熔解炉中将玻璃原料熔解从而形成熔融玻璃；
澄清管，将所述熔融玻璃供给至铂制或铂合金制的澄清管从而进行熔融玻璃的澄清；和
成型装置，对澄清后的熔融玻璃进行成型从而形成玻璃基板。
在所述澄清管中，按照在所述熔融玻璃的流路上方具有气相空间的方式使所述熔融玻璃流动。
所述澄清管上设置有连通所述气相空间与外部空气的通气管，该通气管在所述澄清管的外壁面以烟筒状向所述澄清管的外侧突出。
所述通气管上设置有澄清管形状变化抑制手段，其用于抑制所述澄清管中的与气相空间接触的部分因受热而向所述气相空间下垂。
另外，本实用新型的另一方式为制造玻璃基板的玻璃基板的制造方法。该玻璃基板的制造方法包含：
在熔解炉中将玻璃原料熔解从而形成熔融玻璃的工序；
将所述熔融玻璃供给至铂制或铂合金制的澄清管从而进行熔融玻璃的澄清的工序；和
对澄清后的熔融玻璃进行成型从而形成玻璃基板的工序。
所述澄清管中，按照在所述熔融玻璃的流路上方具有气相空间的方式使所述熔融玻璃流动。
所述澄清管上设置有连通所述气相空间与外部空气的通气管，该通气管在所述澄清管的外壁面以烟筒状向所述澄清管的外侧突出。
所述通气管上设置有澄清管形状变化抑制手段，其用于抑制所述澄清管中的与气相空间接触的部分因受热而向所述气相空间下垂。
如此，在所述通气管上设置澄清管形状变化抑制手段，其用于抑制所述澄清管中的与气相空间接触的部分因受热而向所述气相空间下垂，因此所述玻璃基板的制造方法以及制造装置能够抑制在通过加热所述澄清管来进行脱泡处理时，所述澄清管向气相空间下垂。
此时，所述熔融玻璃可以含有SnO2作为澄清剂。
与以往作为澄清剂一直使用的As2O3等相比，SnO2毒性少，因此从降低环境负荷的观点出发，优选使用SnO2作为澄清剂。但是，与作为澄清剂一直使用的As2O3等相比，SnO2的澄清功能较差，为了有效地发挥SnO2的澄清功能，使澄清管内的熔融玻璃的温度高于以往的温度。因此，熔融玻璃的温度越高，抑制所述澄清管的下垂的效果越大。即，熔融玻璃的温度越高则所述澄清管越容易下垂，因此抑制所述澄清管的下垂的效果会随着熔融玻璃的温度升高而进一步增大。因此，本实用新型的上述方式更加适合于所述熔融玻璃含有SnO2作为澄清剂的情况。
所述熔融玻璃为102.5泊的温度可以是1500℃以上。
熔融玻璃为102.5泊的温度为1500℃以上的情况下，熔融玻璃的高温粘性高，因此在澄清工序中的脱泡处理中需要使熔融玻璃为高温。因此，熔融玻璃的温度越高，抑制所述澄清管的下垂的效果越大。即，熔融玻璃的温度越高则所述澄清管越容易下垂，因此抑制所述澄清管的下垂的效果会随着熔融玻璃的温度升高而进一步增大。因此，本实用新型的上述方式更加适合于102.5泊的温度为1500℃以上的情况。
另外，在所述澄清管的外壁面的周围设置有耐火物部件，所述澄清管形状变化抑制手段优选为相对于耐火物部件将所述通气管的位置固定的固定器(stopper)。
所述固定器相对于所述耐火物部件将所述通气管的位置固定，因此能够确实地抑制所述澄清管的下垂。
此时，所述固定器是设置在所述通气管的外周表面并从所述外周表面突出的部件，优选所述部件固定在所述耐火物部件上。
所述固定器是设置在所述通气管的外周表面并从所述外周表面突出的部件，因此能够容易进行相对于所述耐火物部件的固定。
所述突起优选为板部件。
所述板部件优选为卷绕所述通气管的凸缘部件。该情况下，所述凸缘部件悬挂在所述耐火物部件上，从而能够极为容易地相对于所述耐火物部件而进行固定。
另外优选的是，在所述澄清管的外壁面的周围设置耐火物部件，在所述通气管的外周表面设置有与所述耐火物部件接触的部分形成凹凸形状的面作为所述澄清管形状变化抑制手段。
另外优选的是，在所述澄清管的外壁面的周围设置有耐火物部件和保护所述耐火物部件的耐火物保护层，在所述通气管的外周表面设置有与所述耐火物保护层接触的部分形成凹凸形状的面作为所述澄清管形状变化抑制手段。
实用新型的效果
根据上述方式的玻璃基板的制造装置，能够抑制澄清管向气相空间下垂。
附图说明
图1是示出本实用新型的玻璃基板的制造方法的工序的一个示例的图。
图2是示意性地示出本实施方式中的进行熔解工序～切断工序的装置的一个示例的图。
图3是图2所示的装置中的熔解槽以及澄清管的一个示例的示意图。
图4是示出图3所示的澄清管周围的装置构成的截面图。
图5是对现有的澄清管的问题点进行说明的图。
图6是示出本实施方式的通气管的变形例的图。
图7是示出本实施方式的通气管的变形例的图。
具体实施方式
以下，对本实施方式的玻璃基板的制造装置进行说明。图1是示出本实用新型的玻璃基板的制造方法的工序的一个示例的图。
玻璃基板的制造方法主要具有熔解工序(ST1)、澄清工序(ST2)、均质化工序(ST3)、供给工序(ST4)、成型工序(ST5)、缓慢冷却工序(ST6)和切断工序(ST7)。除此以外，还具有研削工序、研磨工序、清洗工序、检查工序、包装工序等；在包装工序中进行了层积的2个以上的玻璃基板搬运至收货方的工作人员。
熔解工序(ST1)在熔解槽中进行。熔解工序中，通过将玻璃原料投入至蓄积在熔解槽中的熔融玻璃的液面上来制作熔融玻璃。进一步，使熔融玻璃从流出口流向后工序，所述流出口设置在熔解槽的内壁中的面向俯视呈长方形的熔解槽的长度方向而互相对置的内壁的一侧的底部。
此处，熔解槽中的熔融玻璃通过在熔解槽中使用电极进行通电加热，由此在熔解槽中得到具有期望温度的熔融玻璃。即，对于熔解槽的熔融玻璃而言，例如可以使电流在由钼、铂或氧化锡等构成的至少1对电极间流通，从而对位于电极之间的熔融玻璃进行通电加热。另外，除了通电加热外，可以利用燃烧器辅助性地提供火焰来熔解玻璃原料。需要说明的是，玻璃原料中添加有澄清剂。对于澄清剂，从降低环境负荷的观点出发，优选使用SnO2(氧化锡)。
澄清工序(ST2)至少在包括铂或铂合金制的管的澄清管的内部进行。澄清工序中，使澄清管内的熔融玻璃升温。该过程中，澄清剂是通过还原反应放出氧、之后吸收氧的物质。通过澄清剂的还原反应生成的O2的气泡吸收熔融玻璃中所含有的含CO2或SO2的气泡而成长，上浮至熔融玻璃的液面上，然后气泡破裂消失。气泡中所含有的气体通过设置在澄清管的气相空间排出至外部空气中。
之后，在澄清工序中使熔融玻璃的温度下降。该过程中，通过澄清剂的还原反应而得到的还原剂发生氧化反应。由此，熔融玻璃中残存的气泡中的O2等气体成分再次被吸收至熔融玻璃，气泡消失。
在均质化工序(ST3)中，使用搅拌器对通过从澄清管延伸出的配管而供给的搅拌槽内的熔融玻璃进行搅拌，从而进行玻璃成分的均质化。由此能够减少作为波筋等的原因的玻璃组成不均。需要说明的是，搅拌槽可以设置1个，也可以设置2个。
在供给工序(ST4)中，熔融玻璃通过从搅拌槽延伸出的配管而供给至成型装置。
在成型装置中，进行成型工序(ST5)以及缓慢冷却工序(ST6)。
在成型工序(ST5)中，将熔融玻璃成型为片状玻璃，形成片状玻璃的流体。成型能够使用溢流下拉法(overflow download)或浮(float)法。后述的本实施方式中使用了溢流下拉法。
在缓慢冷却工序(ST6)中，成型流动的片状玻璃按照形成期望的厚度、不产生内部应变的方式，进一步按照不产生翘曲的方式进行冷却。
在切断工序(ST7)中，在切断装置中将从成型装置供给的片状玻璃切断为规定的长度，从而得到板状的玻璃板。切断后的玻璃板进一步切断为规定的尺寸，形成目标尺寸的玻璃基板。之后，进行玻璃基板的端面的研削、研磨，进行玻璃基板的清洗，进一步，检查有无气泡或瑕疵等异常缺陷后，检查合格品的玻璃板作为最终产品进行包装。
图2是示意性地示出本实施方式中的熔解工序(ST1)～切断工序(ST7)的装置的一个示例的图。如图2所示，该装置中主要具有熔解装置100、成型装置200和切断装置300。熔解装置100具有熔解槽101、澄清管102、搅拌槽103和玻璃供给管104、105、106。
在图2所示出的示例的熔解槽(熔解装置)101中，玻璃原料的投入是使用原料投入机101d来进行的。需要说明的是，本实施方式中，作为原料投入机101d，虽然使用螺旋给料机来进行玻璃原料的投入，但也可以使用料斗进行玻璃原料的投入，对于玻璃原料的投入方式没有特别限定。澄清管102上设置有铂或铂合金制的通气管102a(参照图3)。在澄清管102的内部，在按照熔融玻璃MG具有液面的方式形成有气相空间的状态下使熔融玻璃MG通过时，使电流在设置于澄清管102的1对电极板间流通，对澄清管102进行通电加热，从而至少对熔融玻璃MG进行将气泡排放至气相空间的脱泡处理。搅拌槽103利用搅拌器103a对熔融玻璃MG进行搅拌从而使其均质化。
成型装置200含有成型体210，通过使用成型体210的溢流下拉法对通过澄清管102、搅拌槽103的熔融玻璃MG进行成型，从而得到玻璃片SG。进一步，成型装置200按照在玻璃片SG中不产生板厚偏差、应变以及弯曲的方式对玻璃片SG进行缓慢冷却。
切断装置300对缓慢冷却后的玻璃片SG进行切断从而形成玻璃基板。
(澄清工序)
图3是熔解槽以及澄清管的一个示例的示意图。
在熔解槽101中形成的熔融玻璃MG通过玻璃供给管104时，利用玻璃供给管104对其进行加热，进入澄清管102时，被加热至通过澄清剂的还原反应而放出氧的温度、例如1650℃左右。在澄清管102中，在外壁面的顶部设置了通气管102a和悬挂部件102c、102d。通气管102a在澄清管102的外壁面以烟筒状向澄清管102的外侧突出，其用于连通澄清管102内的气相空间与外部空气。
若熔融玻璃MG进入澄清管102，则澄清剂放出的氧的气泡吸收熔融玻璃MG内的气泡而形成大气泡。另一方面，高温且低粘度的熔融玻璃MG中，大气泡容易上浮至液面而破裂。因该气泡破裂而放出至气相空间的气体通过通气管102a而被排放至外部空气。
图4是示出澄清管102和其周围构成的图。在澄清管102上设置有使用了高铝水泥等的耐火物保护层102g。在该耐火物保护层102g的外围设置了耐火砖102h。耐火砖102h搭载于未图示的基台上。因此，通过耐火砖102h而从下方对澄清管102进行支撑。
在澄清管102的两端设置有法兰状的电极板102e、102f。电极板102e、102f与未图示的电源连接。通过对电极板102e、102f施加电压，使电流在电极板102e以及电极板102f之间的澄清管102中流通，由此来进行通电加热。利用该通电加热将澄清管102的壁加热至例如1700℃左右。流经澄清管102的熔融玻璃MG因该通电加热而被加热至适合脱泡的温度、例如1600℃～1650℃左右。
设置在澄清管102的外壁面的悬挂部件102c、102d形成为在澄清管102的上方向板状延长并在其途中进行90度弯曲然后在澄清管102的长度方向延伸的形状、即L字形状。该L字形状的悬挂部件102c、102d悬挂在耐火砖102h的上侧的壁面上。耐火砖102h按照层积在基台上而从下方支撑澄清管102，以及覆盖澄清管102的外壁面的方式进行设置。因此，悬挂在该耐火砖102h的悬挂部件102c、102d从上方支撑澄清管102，因此能够抑制澄清管102因受热而导致刚性下降、因自重而导致澄清管102的顶部向垂直下方下垂。
进一步，在澄清管102的通气管102a的外周表面，在管的延伸方向的途中设置有凸缘形状的固定器102b。固定器102b是从通气管102a的外周表面突出的部件，其固定在耐火砖(耐火物部件)103上。即，固定器102b作为澄清管形状变化抑制手段而发挥功能，所述澄清管形状变化抑制手段用于抑制澄清管102中的与气相空间相接触的部分因受热而向气相空间下垂。如图3、4所示，澄清管形状变化抑制手段是从通气管102a的外周表面突出的凸缘部件，与悬挂固件102c、102d同样按照悬挂在耐火砖(耐火物部件)103的壁面上的方式被固定。本实施方式中，固定器102b按照悬挂在耐火砖102h的壁面上的方式固定，但对于固定方法没有特别限定。例如通气管102a的外周表面与耐火砖102h相接触的部分形成微小的凹凸形状这样的构成也可以作为澄清管形状变化抑制手段而发挥功能。使通气管102a的与耐火砖102h相接触的部分为微小的凹凸形状，增大了通气管102a与耐火砖102h之间的摩擦力。由此，能够抑制通气管102a向耐火砖102h的下方滑动。
图4所示的示例中，通气管102a的上部的外周表面与耐火砖102h接触，但在为了使通气管102a贯通耐火砖102h的层而设置在耐火砖102h上的贯通孔的内周上以圆周状设置有耐火物保护层102g，由此可以使通气管102a的上部的外周表面与耐火物保护层102g接触。另外，在图4中，固定器102b直接与耐火砖102h接触，但也可以在耐火砖102h的表面上设置有耐火物保护层102g而使固定器102b与耐火物保护层102g接触。
另外，即使在通气管102a的外周表面具有上述的微小凹凸形状的情况下，可以在为了使通气管102a贯通耐火砖102h的层而设置在耐火砖102h上的贯通孔的内周上以圆周状设置耐火物保护层102g。此时，可以为通气管102a的微小的凹凸形状的外周表面与耐火物保护层102g接触的构成。
图5是示出因在通气管102a上未设置澄清管形状变化抑制手段时的澄清管202的下垂而导致的变形方式的一个示例的图。即使利用澄清管202来支撑上述的悬挂部件102c、102d，但澄清管202的设置了通气管202a的部分受到通气管202a的负荷，如图5所示，澄清管202容易与通气管202a一同向下方下垂。由于该下垂，澄清管202的壁面的应变变大，在高温状态下机械强度下降的壁更容易被破坏。而且，若澄清管202与耐火砖之间产生间隙，则空气容易从外部通过澄清管202的两端部而进入该间隙，若空气进入则容易促进铂或铂合金从与该间隙接触的澄清管202的外壁面挥发。因此，澄清管202的厚度越来越薄，澄清管202的机械强度越来越小。
本实施方式的固定器102b为了抑制该下垂，将澄清管102悬挂在耐火砖102h上(进行支撑)，由此从上方支撑澄清管102。因此，能够抑制如图5所示的通气管102a周围的澄清管102的下垂。
图6是示出本实施方式以外的其他澄清管形状变化抑制手段的图。图6示出的澄清管形状变化抑制手段并不是如图3、4所示那样按照包围通气管102a的外周的方式而设置的板状的凸缘部件，而是由2个以上的在与通气管102a的径向不同的方向上延伸的板状部件构成的固定器102b的示例。该固定器102b是呈L字形状的部件，并且在通气管102a的外周表面设置有4个该固定器102b。固定器102b在通气管102a上至少设置1个以上为宜。与图4所示的方式一样，固定器102b悬挂在耐火砖102h的壁面上(进行支撑)，由此能够相对于耐火砖102h而固定通气管102a。因此，可作为抑制通气管102a以及澄清管102的下垂的澄清管形状变化抑制手段而发挥功能。澄清管形状变化抑制手段为凸缘状的板部件的情况下，有时由于是凸缘形状所以表面积大，通气管102a被冷却而使铂杂质在通气管102a的内部析出。与凸缘状的板部件相比，图6示出的本变形例的情况下表面积不大，因此改善了铂杂质在通气管102a的内部析出。
本实施方式的澄清管形状变化抑制手段是相对于耐火砖102h将通气管102a的位置固定的固定器102b的方式。具体而言，澄清管形状变化抑制手段为下述方式：一种设置在通气管102a的外周表面并从外周表面突出的部件，该部件悬挂在耐火砖102h上从而使通气管102a相对于澄清管102固定。但是，也可以为下述方式：如上所述，通气管102a的外周表面具有微小的凹凸形状的部分，该凹凸形状的部分作为固定器102b，利用摩擦力保持通气管102a使其不会相对于耐火砖102h滑动。需要说明的是，如上所述，可以在为了使通气管102a贯通而设置在耐火砖102h的层上的贯通孔的内周上以圆周状设置耐火物保护层102g，此时为通气管102a的外周表面或微小的凹凸形状的外周表面与耐火物保护层102g接触的构成。
固定器102b为设置在通气管102a的外周表面的板状部件的情况下，可以举出例如凸缘状的板部件、或至少1个以上的相对于通气管102a突出的板部件。但是，只要为抑制澄清管102中的与气相空间接触的部分因受热而向气相空间下垂的方式，对于澄清管形状变化抑制手段就没有特别限制。
另外，澄清管形状变化抑制手段可以是如图7所示的方式。图7是示出本实施方式的通气管的变形例的图。如图7所示，通气管102a的外周表面与耐火砖102h接触的部分为粗糙的凹凸形状的构成也可以作为澄清管形状变化抑制手段发挥功能。使通气管102a的与耐火砖102h接触的部分为粗糙的凹凸形状，能够通过该凹凸形状嵌入耐火砖102h使得通气管102a难以相对于耐火砖102h滑动。此时，可以在为了使通气管102a贯通耐火砖102h的层而设置在耐火砖102h上的贯通孔的内周上以圆周状设置耐火物保护层102g。此时为通气管102a的上述粗糙的凹凸形状的面与耐火物保护层102g接触的构成
(熔融玻璃、玻璃基板)
在以下的(A)～(C)的情况下，流经这样的澄清管102的熔融玻璃MG被加热至比以往利用澄清管进行加热的熔融玻璃的温度更高的温度。因此，与以往相比，将熔融玻璃MG加热至高温的情况下，如本实施方式，基于使用抑制澄清管102受热下垂的手段而产生的效果更大。
(A)与以往作为澄清剂一直使用的As2O3等相比，SnO2毒性小，因此从降低环境负荷的角度出发，优选使用SnO2作为澄清剂。但是，与作为澄清剂一直使用的As2O3相比，SnO2的澄清功能较差，为了使SnO2的澄清功能有效地发挥，使澄清管内的熔融玻璃的温度比以往高。
(B)熔融玻璃MG在102.5泊的温度为1500℃以上的情况下，熔融玻璃MG的高温粘性高，因此在澄清工序的脱泡处理中，为了保持与以往同样的粘性使熔融玻璃MG为高温。
(C)可以举出将本实施方式中制作的玻璃基板用于平板显示器用的玻璃基板的情况。在用于平板显示器(液晶显示器或有机EL显示器等)的玻璃基板中，其表面使用TFT(薄膜场效应晶体管Thin Film Transistor)。该情况下，从抑制TFT的影响的观点出发，适合利用下述玻璃板：使用了无碱玻璃的无碱玻璃玻璃板、或使用了微量含有碱性成分的微量含碱玻璃的微量含碱玻璃板。但是，微量含碱玻璃板或无碱玻璃板的高温粘性高。在制造高温粘性高的玻璃板的情况下，使澄清工序中的熔融玻璃MG的温度比以往的制造碱玻璃的玻璃板的情况高。
(玻璃组成)
本实施方式中使用的玻璃基板的玻璃组成能够举出例如以下的组成。以下所示的组成的含有率以质量%表示。
优选含有下述成分的无碱玻璃。
SiO2：50%～70%、
Al2O3：0%～25%、
B2O3：1%～15%、
MgO：0%～10%、
CaO：0%～20%、
SrO：0%～20%、
BaO：0%～10%、
RO：5%～30%(其中，R是选自Mg、Ca、Sr以及Ba中的至少1种，并且是玻璃基板所含有的物质)
需要说明的是，本实施方式中为无碱玻璃，但玻璃基板也可以是微量含有碱金属的微量含碱玻璃。含有碱金属的情况下，优选含有R’2O的总量为0.10%以上且0.5%以下、优选为0.20%以上且0.5%以下(其中，R’是选自Li、Na以及K中的至少1种，并且是玻璃基板所含有的物质)。当然，R’2O的总量可以低于0.10%。另外，优选实质上不含有As2O3、Sb2O3以及PbO。
另外，适用本实用新型的玻璃基板的制造方法的情况下，除了上述各成分之外，玻璃组成物还能够以质量%表示含有0.01%～1%(优选为0.01%～0.5%)的SnO2、0%～0.2%(优选为0.01%～0.08%)的Fe2O3；若考虑环境负荷，可以按照实质上不含有As2O3、Sb2O3以及PbO的方式调制玻璃原料。
进一步，除了上述成分外，对于用于本实施方式的玻璃基板的玻璃而言，为了调节玻璃的各种各样的物理、熔融、澄清以及成型的特性，可以含有各种各样的其他氧化物。作为所述的其他氧化物的示例，虽并不限于以下物质，但可以举出TiO2、MnO、ZnO、Nb2O5、MoO3、Ta2O5、WO3、Y2O3以及La2O3。
以上，对本实用新型的玻璃基板的制造装置进行了详细的说明，但本实用新型并不限于上述实施方式，在不脱离本实用新型的主体思想的范围内，可以进行各种各样的改良及变更，这自不必而言。
符号说明
100熔解装置
101熔解槽
101d原料投入机
102、202澄清管
102a、202a通气管
102b固定器
102c、102d悬挂部件
102e、102f电极板
102g耐火物保护层
102h耐火砖
103搅拌槽
103a搅拌器
104、105、106玻璃供给管
200成型装置
210成型体
300切断装置

Claims (6)

1.一种玻璃基板的制造装置，其是制造玻璃基板的玻璃基板的制造装置，其特征在于，该制造装置具有：
熔解槽，在熔解炉中将玻璃原料熔解从而形成熔融玻璃；
澄清管，将所述熔融玻璃供给至铂制或铂合金制的澄清管从而进行熔融玻璃的澄清；和
成型装置，对澄清后的熔融玻璃进行成型从而形成玻璃基板，
所述澄清管中，按照在所述熔融玻璃的流路上方具有气相空间的方式使所述熔融玻璃流动，
所述澄清管上，设置有连通所述气相空间与外部空气的通气管，该通气管在所述澄清管的外壁面以烟筒状向所述澄清管的外侧突出，
所述通气管上，设置有澄清管形状变化抑制手段，其用于抑制所述澄清管中的与气相空间接触的部分因受热而向所述气相空间下垂。
2.如权利要求1所述的玻璃基板的制造装置，其中，
在所述澄清管的外壁面的周围设置有耐火物部件，
所述澄清管形状变化抑制手段是相对于耐火物部件将所述通气管的位置固定的固定器。
3.如权利要求2所述的玻璃基板的制造装置，其中，所述固定器是设置在所述通气管的外周表面并从所述外周表面突出的部件，所述部件固定在所述耐火物部件上。
4.如权利要求2或3所述的玻璃基板的制造装置，其中，所述固定器由2个以上的在与所述通气管的径向不同的方向上延伸的板状部件构成。
5.如权利要求1或2所述的玻璃基板的制造装置，其中，
在所述澄清管的外壁面的周围设置有耐火物部件，
在所述通气管的外周表面设置有与所述耐火物部件接触的部分形成凹凸形状的面作为所述澄清管形状变化抑制手段。
6.如权利要求1或2所述的玻璃基板的制造装置，其中，
在所述澄清管的外壁面的周围设置有耐火物部件和保护所述耐火物部件的耐火物保护层，
在所述通气管的外周表面设置有与所述耐火物保护层接触的部分形成凹凸形状的面作为所述澄清管形状变化抑制手段。
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