CN202705560U - 一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,包括籽晶杆、重锤以及垫圈,所述籽晶杆截面为T型,重锤内设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,所述垫圈位于所述重锤的T型通孔的台阶面上。本实用新型的一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,通过籽晶杆结构和重锤结构的优化组合,同时在籽晶杆和重锤间连接,使用低密度的碳碳复合材料,均匀地分解了大投料量晶棒在向上提拉过程中的重力。具有简单、实用、成本低的优点。
Description
技术领域
本实用新型属于硅单晶生产中的一种提拉承重装置,具体用于直拉硅单晶生长中,大投料量硅晶棒的向上提拉的一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构。
背景技术
在直拉硅单晶生长时,首先将硅料、掺杂剂在石英坩埚内熔化,然后使用一定晶向的硅单晶作为籽晶,从上部插入硅溶液,经引晶、放肩、转肩后逐步向上提拉,进而使硅溶液以籽晶为种子生长成硅单晶棒。
目前,在太阳能级直拉硅单晶生长领域,随着投料量的增加,单个晶棒的重量也随之增加。现在太阳能级直拉硅单晶生长使用的常规籽晶,由于结构上容易导致应力集中,当晶棒重量增加后,导致在实际生产过程中,籽晶断裂事故发生的频率有所增加,从而带来危险和利润损失。因此需要对现有籽晶结构进行改进。
实用新型内容
实用新型目的:本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构。
为了解决上述技术问题,本实用新型公开了一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,包括籽晶杆、重锤以及垫圈,所述籽晶杆截面为T型,重锤内设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,所述垫圈位于所述重锤的T型通孔的台阶面上。籽晶杆的上部在与重锤的配合时,通过放置碳碳复合材料垫片,以减少间隙,防止籽晶杆插入硅熔体时上浮。
本实用新型中,所述垫圈为碳碳复合材料制成的垫圈。考虑到籽晶在转动时,依靠摩擦力与重锤的转动同步,碳碳复合材料垫圈的表面粗糙。
有益效果:本实用新型的一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,通过籽晶杆结构和重锤结构的优化组合,同时在籽晶杆和重锤间连接,使用低密度的碳碳复合材料,均匀地分解了大投料量晶棒在向上提拉过程中的重力。适用于大投料量直拉硅单晶的提拉,结构简单,操作简便,能提高籽晶的使用寿命,减少籽晶使用过程中,由于籽晶断裂,引起生产事故发生的频次。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做更进一步的具体说明,本实用新型的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型公开了大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,由籽晶杆1、重锤2和低密度碳碳复合材料垫片3组成。把籽晶杆按照尺寸加工成“T”型,重锤按照籽晶尺寸进行配套加工设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,在籽晶和重锤连接间T型通孔的台阶面通过低密度碳碳复合材料垫片过渡。
本实用新型组装使用时,先将碳碳复合材料垫片3放入重锤2的T型通孔,然后再将籽晶杆1放入重锤2,重锤2再通过螺纹与其它部分组合。重锤2通过钢丝绳连接到单晶炉的提拉旋转机构。籽晶杆1、重锤2、碳碳复合材料垫片3三者之间在单晶炉的提拉旋转机构作用下,转动和上下运动同步。
本实用新型提供了一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构的思路及方法,具体实现该技术方案的方法和途径很多,以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
Claims (2)
1.一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,其特征在于,包括籽晶杆、重锤以及垫圈,所述籽晶杆截面为T型,重锤内设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,所述垫圈位于所述重锤的T型通孔的台阶面上。
2.根据权利要求1所述的一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,其特征在于,所述垫圈为碳碳复合材料制成的垫圈。
Priority Applications (1)
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CN 201220105250 CN202705560U (zh) | 2012-03-20 | 2012-03-20 | 一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构 |
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CN 201220105250 CN202705560U (zh) | 2012-03-20 | 2012-03-20 | 一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构 |
Publications (1)
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CN202705560U true CN202705560U (zh) | 2013-01-30 |
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ID=47585881
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CN 201220105250 Expired - Lifetime CN202705560U (zh) | 2012-03-20 | 2012-03-20 | 一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构 |
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Cited By (1)
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CN114921845A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-08-19 | 江苏邦翰信息科技有限公司 | 一种用于动态环境监控芯片制备的硅棒提拉装置 |
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2012
- 2012-03-20 CN CN 201220105250 patent/CN202705560U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114921845A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-08-19 | 江苏邦翰信息科技有限公司 | 一种用于动态环境监控芯片制备的硅棒提拉装置 |
CN114921845B (zh) * | 2022-04-01 | 2024-02-20 | 江苏邦翰信息科技有限公司 | 一种用于动态环境监控芯片制备的硅棒提拉装置 |
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