CN107538631B - 小型方硅芯高精度切割工艺 - Google Patents
小型方硅芯高精度切割工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107538631B CN107538631B CN201710961168.2A CN201710961168A CN107538631B CN 107538631 B CN107538631 B CN 107538631B CN 201710961168 A CN201710961168 A CN 201710961168A CN 107538631 B CN107538631 B CN 107538631B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon
- silicon rod
- section
- cutting
- monocrystalline
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 80
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 56
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 24
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 24
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 abstract description 4
- 239000012467 final product Substances 0.000 abstract description 3
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N Trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 239000004594 Masterbatch (MB) Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000001131 transforming Effects 0.000 description 1
Abstract
本发明涉及一种小型方硅芯高精度切割工艺，包括以下工艺步骤：步骤一、取一圆柱状的硅棒；步骤二、在硅棒单晶硅段的端面上通过胶水粘上四条导向树脂条，四条导向树脂条首尾相接形成一个正方形；步骤三、在硅棒多晶硅段的端面上通过胶水粘上晶座；步骤四、将硅棒通过晶座悬挂至多线切割机上；步骤五、调整硅棒的角度位置，使硅棒单晶硅端面上的导向树脂条与切割其的金刚石网相互垂直；步骤六、多线切割机的方形线网继续向上运动，从而完成整根硅棒的切割。本发明一种小型方硅芯高精度切割工艺，能够对硅棒切割垂直度进行调整定位，从而防止切割时金刚石线与硅棒产生偏离，有效保证了最终的产品质量和成材率。
Description
技术领域
本发明涉及一种小型方硅芯高精度切割工艺，属于多晶硅生产技术领域。
背景技术
目前，目前国内生产多晶硅的工艺大部分都是常规三氯氢硅氢还原法，即改良西门子法，改良西门子法或其他类似方法生产大直径多晶硅的主要设备是多晶硅还原炉，多晶硅还原炉在细长的硅芯上通上电源，使硅芯加热发红，直至表面温度达到1100摄氏度，通入高纯的三氯氢硅和氢气，使其在高温下发生氢还原反应，使三氯氢硅中的硅分子堆积在硅芯上，使其的直径不断地增大，通常，硅芯的直径在7-10毫米，可以是圆形也可以是方型，或是其他形状，最终通过氢还原反应使直径不断地增大到120-200毫米，生产出高纯太阳能级6N或电子级11N的多晶硅器均无法适用于厂内方硅芯的测试。
目前硅芯的制备方法有二种，传统的方法是用CZ法（区熔提拉法），即把直径在20-50毫米的硅棒在充满惰性气体的真空炉膛内用高频感应加热，使其顶部局部熔化，从上部放入1根直径在5-10毫米的籽晶，然后慢慢向上提拉，使其成为直径在7-10毫米，长度在1900-3000毫米之间的细长硅芯，其缺点是提拉速度慢，一般为8-12毫米/分钟，拉制1根2米的硅芯需要4小时，生产效率低，电力消耗大，设备投资大。
另一种是用金刚石工具切割法，美国Diamond Wire Technology公司研制出采用金刚石线的数控多晶硅细长硅芯多线切割机床，用于硅芯的制备。通过利用电镀上金刚石微粒的细钢丝线在被加工工件上高速地往复运动或单向移动，将硅棒压在该机床用金刚石线交叉组成的方形线网上，从而将该硅棒切割成细长的硅芯。其优点十分明显，10-12小时可以切割出200根左右2米长的7X7或8X8毫米的方形硅芯，电力消耗小，加工效率高。
目前硅芯切割的母料直接采用还原炉中制得的硅棒，硅芯切割时需要将硅棒悬挂至切割机上，硅棒切割时其垂直度调节起来十分不便，切割时金刚石线容易与硅棒产生偏离，从而影响最终的产品质量和成材率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种小型方硅芯高精度切割工艺，它在硅棒单晶段增加导向树脂条，切割时金刚石线首先切割到导向树脂条，能够对硅棒切割垂直度进行调整定位，从而防止切割时金刚石线与硅棒产生偏离，有效保证了最终的产品质量和成材率。
本发明解决上述问题所采用的技术方案为：一种小型方硅芯高精度切割工艺，包括以下工艺步骤：
步骤一、取一圆柱状的硅棒，硅棒包括上下两段，其上段为多晶硅段，下段为单晶硅段，单晶硅段的外周壁上沿其长度方向均匀设置有四条棱线；
步骤二、在硅棒单晶硅段的端面上通过胶水粘上四条导向树脂条，导向树脂条与单晶硅段的端面垂直布置，四条导向树脂条首尾相接形成一个正方形，正方形四个角的位置与单晶硅段外周壁上的四条棱线的位置相对应；
步骤三、在硅棒多晶硅段的端面上通过胶水粘上晶座；
步骤四、将硅棒通过晶座悬挂至多线切割机上；
步骤五、多线切割机的金刚石线交叉组成的方形线网逐渐向上切割，调整硅棒的角度位置，使硅棒单晶硅端面上的导向树脂条与切割其的金刚石网相互垂直，即使方形线网的金刚石线垂直切割进导向树脂条，从而完成硅棒的切割定位；
步骤六、多线切割机的方形线网继续向上运动，从而完成整根硅棒的切割。
与现有技术相比，本发明的优点在于：
本发明一种小型方硅芯高精度切割工艺，它利用硅棒单晶硅段外周壁上的棱线作为定位基准，在硅棒单晶段端面增加导向树脂条，切割时金刚石线首先切割到导向树脂条，能够对硅棒切割垂直度进行调整定位，从而防止切割时金刚石线与硅棒产生偏离，有效保证了最终的产品质量和成材率。
附图说明
图1为本发明一种小型方硅芯高精度切割工艺中硅棒单晶硅段增加导向树脂条的结构示意图。
其中：
硅棒本体1
单晶硅段1.1
多晶硅段1.2
棱线1.3
导向树脂条2。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。
本实施例中的一种小型方硅芯高精度切割工艺，它包括以下工艺步骤：
步骤一、参见图1，取一圆柱状的硅棒，硅棒包括上下两段，其上段为多晶硅段，下段为单晶硅段，单晶硅段的外周壁上沿其长度方向均匀设置有四条棱线；
步骤二、参见图1，在硅棒单晶硅段的端面上通过胶水粘上四条导向树脂条，导向树脂条与单晶硅段的端面垂直布置，四条导向树脂条首尾相接形成一个正方形，正方形四个角的位置与单晶硅段外周壁上的四条棱线的位置相对应；
步骤三、在硅棒多晶硅段的端面上通过胶水粘上晶座；
步骤四、将硅棒通过晶座悬挂至多线切割机上；
步骤五、多线切割机的金刚石线交叉组成的方形线网逐渐向上切割，调整硅棒的角度位置，使硅棒单晶硅端面上的导向树脂条与切割其的金刚石网相互垂直，即使方形线网的金刚石线垂直切割进导向树脂条，从而完成硅棒的切割定位；
步骤六、多线切割机的方形线网继续向上运动，从而完成整根硅棒的切割。
除上述实施例外，本发明还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种小型方硅芯高精度切割工艺，其特征在于包括以下工艺步骤：
步骤一、取一圆柱状的硅棒，硅棒包括上下两段，其上段为多晶硅段，下段为单晶硅段，单晶硅段的外周壁上沿其长度方向均匀设置有四条棱线；
步骤二、在硅棒单晶硅段的端面上通过胶水粘上四条导向树脂条，导向树脂条与单晶硅段的端面垂直布置，四条导向树脂条首尾相接形成一个正方形，正方形四个角的位置与单晶硅段外周壁上的四条棱线的位置相对应；
步骤三、在硅棒多晶硅段的端面上通过胶水粘上晶座；
步骤四、将硅棒通过晶座悬挂至多线切割机上；
步骤五、多线切割机的金刚石线交叉组成的方形线网逐渐向上切割，调整硅棒的角度位置，使硅棒单晶硅端面上的导向树脂条与切割其的金刚石网相互垂直，即使方形线网的金刚石线垂直切割进导向树脂条，从而完成硅棒的切割定位；
步骤六、多线切割机的方形线网继续向上运动，从而完成整根硅棒的切割。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710961168.2A CN107538631B (zh) | 2017-11-03 | 2017-11-03 | 小型方硅芯高精度切割工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710961168.2A CN107538631B (zh) | 2017-11-03 | 2017-11-03 | 小型方硅芯高精度切割工艺 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107538631A CN107538631A (zh) | 2018-01-05 |
| CN107538631B true CN107538631B (zh) | 2019-11-19 |
Family
ID=60967920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710961168.2A Active CN107538631B (zh) | 2017-11-03 | 2017-11-03 | 小型方硅芯高精度切割工艺 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107538631B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108772961A (zh) * | 2018-05-24 | 2018-11-09 | 江阴东升新能源股份有限公司 | 一种低成本方硅芯切割工艺 |
| CN112026024B (zh) * | 2020-08-24 | 2021-10-01 | 山西烁科晶体有限公司 | 一种通过导向框多线切割晶锭的方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201552683U (zh) * | 2009-11-10 | 2010-08-18 | 高佳太阳能股份有限公司 | 硅棒的多线切割装置 |
| CN101913208A (zh) * | 2010-07-19 | 2010-12-15 | 常州天合光能有限公司 | 一种晶块切片方法 |
| CN106938503A (zh) * | 2017-03-17 | 2017-07-11 | 浙江好亚能源股份有限公司 | 晶棒切片方法 |
| CN107555437A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-01-09 | 江阴东升新能源股份有限公司 | 切割精度高的多晶硅棒 |
| CN207294190U (zh) * | 2017-10-11 | 2018-05-01 | 江阴东升新能源股份有限公司 | 切割精度高的多晶硅棒 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201808158U (zh) * | 2010-09-21 | 2011-04-27 | 上海信富电子科技有限公司 | 太阳能硅片切割引向条 |
| CN103434031A (zh) * | 2013-07-19 | 2013-12-11 | 江苏美科硅能源有限公司 | 硅锭切割的方法 |
-
2017
- 2017-11-03 CN CN201710961168.2A patent/CN107538631B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201552683U (zh) * | 2009-11-10 | 2010-08-18 | 高佳太阳能股份有限公司 | 硅棒的多线切割装置 |
| CN101913208A (zh) * | 2010-07-19 | 2010-12-15 | 常州天合光能有限公司 | 一种晶块切片方法 |
| CN106938503A (zh) * | 2017-03-17 | 2017-07-11 | 浙江好亚能源股份有限公司 | 晶棒切片方法 |
| CN107555437A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-01-09 | 江阴东升新能源股份有限公司 | 切割精度高的多晶硅棒 |
| CN207294190U (zh) * | 2017-10-11 | 2018-05-01 | 江阴东升新能源股份有限公司 | 切割精度高的多晶硅棒 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107538631A (zh) | 2018-01-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107538631B (zh) | 小型方硅芯高精度切割工艺 | |
| CN103290471A (zh) | 导模法生长片状氧化镓晶体的方法 | |
| CN107555437A (zh) | 切割精度高的多晶硅棒 | |
| CN207294190U (zh) | 切割精度高的多晶硅棒 | |
| CN102011180A (zh) | 一种单晶炉热场结构 | |
| CN204249125U (zh) | 硅棒切割装置 | |
| CN108789887A (zh) | 一种整体十字型硅芯切割方法 | |
| CN204566422U (zh) | 导向轮安装结构 | |
| CN203128691U (zh) | 一种多晶硅的硅芯母料 | |
| CN207294191U (zh) | 方硅芯切割机硅棒固定工装 | |
| CN108505113A (zh) | 硅芯方锭铸锭炉定向导气块 | |
| CN207290574U (zh) | 方硅芯锥孔加工工装 | |
| CN203602749U (zh) | 一种用于拉制六英寸区熔硅单晶的加热线圈 | |
| CN208815154U (zh) | 硅芯方锭铸锭炉定向导气块 | |
| CN208485604U (zh) | 一种卡接式整体十字型硅芯组件 | |
| CN207402643U (zh) | 方硅芯锥台磨削工装 | |
| CN204455351U (zh) | 一种直拉单晶炉 | |
| CN205204836U (zh) | 硅芯方锭 | |
| CN105350075A (zh) | 一种高纯度拓扑绝缘体YbB6单晶体的制备方法 | |
| CN103436954A (zh) | 制单晶硅棒时引晶用的籽晶和单晶硅棒的制作方法 | |
| CN204569437U (zh) | 硅棒粘棒机 | |
| CN204209846U (zh) | 多晶硅切方机单晶硅加工工件 | |
| CN104817086A (zh) | 硅棒粘棒机 | |
| CN200970857Y (zh) | 从不规则硅块钻取硅单晶棒的工具 | |
| CN204569436U (zh) | 硅棒上下棒机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |