CN203546200U - 提拉法制单晶硅棒的连接装置和制单晶硅棒设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种提拉法制单晶硅棒的连接装置和制单晶硅棒设备,提拉法制单晶硅棒的连接装置包括:安装部,安装部包括用于安装籽晶的安装孔;连接部,与安装部连接,连接部包括与安装孔同轴设置的连接孔。本实用新型的连接装置的夹持部用于夹持籽晶,连接部用于与提拉线缆连接,由于连接籽晶的安装孔和连接提拉线缆的连接孔同轴地设置,所以能够保证籽晶与提拉线缆的对中性,又由于籽晶卡接在安装孔内,而不是使用插销连接,所以在提拉过程中连接装置与单晶硅棒的受力均匀,保证了提拉过程中的籽晶、连接装置与提拉线缆之间的对中性,避免连接装置与单晶硅棒在旋转过程中发生径向晃动,从而提高了单晶硅棒的质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏组件生产设备领域,更具体地,涉及一种提拉法制单晶硅棒的连接装置和制单晶硅棒设备。
背景技术
现有技术中主要采用直拉法制单晶硅棒,在制单晶硅棒时需要用提拉线缆带动籽晶从熔融态的硅液中拉制出固态的单晶硅棒,而提拉线缆与籽晶之间需要有一个连接装置对这两部分进行连接。籽晶是具有和所需单晶硅棒的晶体相同晶向的小晶体,是生长单晶硅棒的种子,也叫晶种。
现有技术中的连接装置采用插销的连接方式固定籽晶的,但是由于插销连接装置的结构不对称,因此连接装置与单晶硅棒受力不是很均匀,这样在提拉过程中难以保证单晶硅棒的对中性,使得单晶硅棒的质量下降。
实用新型内容
本实用新型旨在提供一种提拉法制单晶硅棒的连接装置和制单晶硅棒设备,以解决现有技术的连接装置对中性不良,使得单晶硅棒的质量下降的问题。
为解决上述技术问题,根据本实用新型的一个方面,提供了一种提拉法制单晶硅棒的连接装置,包括:安装部,安装部包括用于安装籽晶的安装孔;连接部,与安装部连接,连接部包括与安装孔同轴设置的连接孔。
进一步地,连接装置还包括隔热部,安装部连接在隔热部的一端,连接部连接在隔热部的另一端。
进一步地,安装部包括圆柱段和锥形段,圆柱段与锥形段的大径端连接,隔热部与圆柱段连接。
进一步地,隔热部的直径大于或等于连接部的直径。
进一步地,安装孔沿靠近连接孔的方向依次包括第一段和第二段,第一段的直径小于第二段的直径。
进一步地,连接孔沿远离安装孔的方向依次包括大径段和小径段。
进一步地,连接装置还包括用于夹持提拉线缆的夹线部,夹线部设置在大径段内,夹线部的直径大于小径段的直径,夹线部包括与安装孔同轴设置的夹线孔,夹线孔的直径小于或等于小径段的直径。
进一步地,夹线部包括多个夹片,多个夹片上均开设有轴向开口,多个轴向开口组成夹线孔。
进一步地,连接装置还包括端盖,端盖设置在连接部的远离安装部的一端,端盖包括与安装孔同轴设置的过线孔,过线孔的直径小于或等于小径段的直径。
根据本实用新型的另一个方面,还提供了一种制单晶硅棒设备,包括熔硅坩埚和位于熔硅坩埚上方的提拉线缆,制单晶硅棒设备还包括上述的连接装置,提拉线缆安装在连接装置的连接部的连接孔内,连接装置的安装部朝向熔硅坩埚设置。
本实用新型的连接装置的夹持部用于夹持籽晶,连接部用于与提拉线缆连接,由于连接籽晶的安装孔和连接提拉线缆的连接孔同轴地设置,所以能够保证籽晶与提拉线缆的对中性,又由于籽晶卡接在安装孔内,而不是使用插销连接,所以在提拉过程中连接装置与单晶硅棒的受力均匀,保证了提拉过程中的籽晶、连接装置与提拉线缆之间的对中性,避免连接装置与单晶硅棒在旋转过程中发生径向晃动,从而提高了单晶硅棒的质量。此外,由于连接装置不使用插销,所以可以避免由于插销磨损而导致的连接不稳定,避免发生单晶硅棒脱落等事故。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
图1示意性示出了本实用新型中的连接装置的剖视图;
图2示意性示出了本实用新型中的连接装置的端盖的俯视图;以及
图3示意性示出了本实用新型中的连接装置的夹线部的央视图。
图中附图标记:10、安装部;11、安装孔;111、第一段;112、第二段;12、圆柱段;13、锥形段;20、连接部;21、连接孔;211、大径段;212、小径段;30、隔热部;40、夹线部;41、夹线孔;42、夹片;411、轴向开口;50、端盖;51、过线孔;52、本体;53、矩形段。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明,但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
根据本实用新型的一个方面,提供了一种提拉法制单晶硅棒的连接装置,如图1至3所示,该连接装置包括:安装部10,安装部10包括用于安装籽晶的安装孔11;连接部20,与安装部10连接,连接部20包括与安装孔11同轴设置的连接孔21。
本实用新型的连接装置的安装部10用于夹持籽晶,连接部20用于与提拉线缆连接,由于连接籽晶的安装孔11和连接提拉线缆的连接孔21同轴地设置,所以能够保证籽晶与提拉线缆的对中性,又由于籽晶卡接在安装孔11内,而不是使用插销连接,所以在提拉过程中连接装置与单晶硅棒的受力均匀,保证了提拉过程中的籽晶、连接装置与提拉线缆之间的对中性,避免连接装置与单晶硅棒在旋转过程中发生径向晃动,从而提高了单晶硅棒的质量。此外,由于连接装置不使用插销,所以可以避免由于插销磨损而导致的连接不稳定,避免发生单晶硅棒脱落等事故。
优选地,安装部10包括圆柱段12和锥形段13,圆柱段12与锥形段13的大径端连接,隔热部30与圆柱段12连接。优选地,安装部10采用石墨制成。在制单晶硅棒过程中,安装部10最接近熔融态的硅液,所以安装部10采用高纯石墨制作,使其能够在高温状态中持续地良好工作。
优选地,连接部20采用不锈钢制作。连接部20距离硅液较远,温度已经降低,所以连接部20可以采用不锈钢制作,不锈钢材料成本低廉,使用寿命高,并且容易清理,能够长时间使用。
优选地,连接装置还包括隔热部30,安装部10连接在隔热部30的一端,连接部20连接在隔热部30的另一端。隔热部30用于连接安装部10和连接部20,这样可以进一步使连接部20远离高温硅液,避免连接部20发生热变形。
优选地,隔热部30由钼制成。钼具有良好的耐热性,能够承受靠近熔硅液面的温度。
优选地,隔热部30的直径大于或等于连接部20的直径。如图1所示,隔热部30的直径大于连接部20的主体的直径,隔热部30是实心结构,并且钼的密度也较大,这使得隔热部30的质量较大,有利于保证连接装置整体的对中性。
优选地,安装孔11沿靠近连接孔21的方向依次包括第一段111和第二段112,第一段111的直径小于第二段112的直径。籽晶卡接在第二段112内,并从第一段111伸出安装孔11,与熔硅接触。
有限的,第一段111和第二段112之间采用锥形面连接。锥形面可以使籽晶的连接更加稳定,提高单晶硅棒与连接装置之间的对中性。
优选地,连接孔21沿远离安装孔11的方向依次包括大径段211和小径段212。提拉线缆卡接在大径段211内,并从小径段212伸出连接孔21,与驱动装置连接。
优选地,大径段211和小径段212之间采用锥形面连接。锥形面可以使提拉线缆的连接更加稳定,提高连接装置与提拉线缆之间的对中性。
优选地,连接装置还包括用于夹持提拉线缆的夹线部40,夹线部40设置在大径段211内,夹线部40的直径大于小径段212的直径,夹线部40包括与安装孔11同轴设置的夹线孔41,夹线孔41的直径小于或等于小径段212的直径。夹线部40的一端顶住提拉线缆的卡头,另一端顶住小径段212与大径段211之间的过渡端面,避免提拉线缆直接磨损连接部20。此外夹线孔41的直径等于提拉线缆的直径,从而可以卡紧提拉线缆,有利于保持连接装置与提拉线缆之间的对中性。
优选地,如图3所示,夹线部40包括多个夹片42,多个夹片42上均开设有轴向开口411,多个轴向开口411组成夹线孔41。优选地,夹线部40包括两个对称的夹片42。
优选地,连接装置还包括端盖50,端盖50设置在连接部20的远离安装部10的一端,端盖50包括与安装孔11同轴设置的过线孔51,过线孔51的直径小于或等于小径段212的直径。优选地,过线孔51的直径与提拉线缆的直径相同。端盖50用于封闭连接部20,避免杂质进入连接孔21导致提拉线缆与连接部20剧烈磨损。
优选地,如图2所示,端盖50包括本体52和设置在本体52的远离连接部20的一端的矩形段53。
根据本实用新型的另一个方面,还提供了一种制单晶硅棒设备,包括熔硅坩埚和位于熔硅坩埚上方的提拉线缆,制单晶硅棒设备还包括上述的连接装置,提拉线缆安装在连接装置的连接部20的连接孔21内,连接装置的安装部10朝向熔硅坩埚设置。
本实用新型的制单晶硅棒设备采用本实用新型的连接装置连接提拉线缆与籽晶,连接装置、单晶硅棒和提拉线缆之间具有良好的对中性,保证装置在承重时均匀受力,防止单晶硅棒在提拉时由于旋转发生晃动进而引起质量下降,甚至拉制失败。并且连接装置的重量较大,能够保持提拉线缆处于竖直状态,从而能够很好地拉制单晶硅棒。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种提拉法制单晶硅棒的连接装置,其特征在于,包括:
安装部(10),所述安装部(10)包括用于安装籽晶的安装孔(11);
连接部(20),与所述安装部(10)连接,所述连接部(20)包括与所述安装孔(11)同轴设置的连接孔(21)。
2.根据权利要求1所述的连接装置,其特征在于,所述连接装置还包括隔热部(30),所述安装部(10)连接在所述隔热部(30)的一端,所述连接部(20)连接在所述隔热部(30)的另一端。
3.根据权利要求2所述的连接装置,其特征在于,所述安装部(10)包括圆柱段(12)和锥形段(13),所述圆柱段(12)与所述锥形段(13)的大径端连接,所述隔热部(30)与所述圆柱段(12)连接。
4.根据权利要求3所述的连接装置,其特征在于,所述隔热部(30)的直径大于或等于所述连接部(20)的直径。
5.根据权利要求1所述的连接装置,其特征在于,所述安装孔(11)沿靠近所述连接孔(21)的方向依次包括第一段(111)和第二段(112),所述第一段(111)的直径小于所述第二段(112)的直径。
6.根据权利要求1所述的连接装置,其特征在于,所述连接孔(21)沿远离所述安装孔(11)的方向依次包括大径段(211)和小径段(212)。
7.根据权利要求6所述的连接装置,其特征在于,所述连接装置还包括用于夹持提拉线缆的夹线部(40),所述夹线部(40)设置在所述大径段(211)内,所述夹线部(40)的直径大于所述小径段(212)的直径,所述夹线部(40)包括与所述安装孔(11)同轴设置的夹线孔(41),所述夹线孔(41)的直径小于或等于所述小径段(212)的直径。
8.根据权利要求7所述的连接装置,其特征在于,所述夹线部(40)包括多个夹片(42),所述多个夹片(42)上均开设有轴向开口(411),所述多个轴向开口(411)组成所述夹线孔(41)。
9.根据权利要求6所述的连接装置,其特征在于,所述连接装置还包括端盖(50),所述端盖(50)设置在所述连接部(20)的远离所述安装部(10)的一端,所述端盖(50)包括与所述安装孔(11)同轴设置的过线孔(51),所述过线孔(51)的直径小于或等于所述小径段(212)的直径。
10.一种制单晶硅棒设备,包括熔硅坩埚和位于所述熔硅坩埚上方的提拉线缆,其特征在于,所述制单晶硅棒设备还包括权利要求1至9中任一项所述的连接装置,所述提拉线缆安装在所述连接装置的连接部(20)的连接孔(21)内,所述连接装置的安装部(10)朝向所述熔硅坩埚设置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN104264230A (zh) * | 2014-09-30 | 2015-01-07 | 深圳市盛世智能装备有限公司 | 晶体生长高温炉用冷却拉杆及其制造方法 |
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