CN201545934U - 一种用于吊装石英坩埚的夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于吊装石英坩埚的夹具,包括吊架和夹紧装置,吊架的底端与夹紧装置销连接,夹紧装置由两瓣或两瓣以上的弧形卡盘构成,相邻卡盘间采用锁紧螺栓联接,弧形卡盘的上端面设置有定位块。本实用新型应用于直拉单晶硅生产技术领域的单晶硅棒生产过程中,其操作简单、使用方便,大规模投入生产车间后,彻底改变了沿用已久的直拉单晶装填多晶原料的工艺,使得直拉单晶的技术又向前迈进了一步。
Description
技术领域
本实用新型涉及直拉单晶硅生产技术领域,特别是在单晶硅棒生产过程中一种用于吊装石英坩埚的夹具。
背景技术
在太阳能硅片的生产过程中,直拉单晶硅生产多为规模化生产,生产车间因生产设备较多,容易形成对单晶硅棒等原料的交叉污染。在单晶硅棒切割完毕单晶炉拆炉后,炉内的余温可达到300摄氏度,必须开放炉体进行冷却,在较长时间的开放式冷却过程中,炉内的石墨粉尘、二氧化硅粉尘以及杂质等会大量挥发,由于目前采用的填料技术通常是直接添加到炉内,没有任何保护措施,这就导致了相邻单晶炉内填料过程中原料易受到污染。并且直接添加原料会造成原料的料块探出锅沿或掉到炉底护盘上,加高温后料块融化或渗入锅邦或流向锅底,重新凝固后将锅邦锅底粘住,使保温性能大大降低,成品率下降;最终全部渗入石墨件中,使锅邦锅底全部报废,进而使石墨的寿命缩短甚至报废,石墨的价格昂贵,必然造成生产成本的大幅增加;如果不慎将料块掉到加热器的电极上,使电极柱、电极螺丝、电极脚粘接在一起,造成整个加热器报废。另外,常规的填料方法时间较长,一次填料大约需要2~3个小时,工作效率低下。
实用新型内容
本实用新型克服上述工艺弊端,提供一种能够消除在填料过程中的污染,并可降低生产成本、提高工作效率的用于吊装石英坩埚的夹具。
为解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:
一种用于吊装石英坩埚的夹具,包括吊架和夹紧装置,吊架的底端与夹紧装置活动连接,所述夹紧装置由两瓣或两瓣以上的弧形卡盘构成,弧形卡盘的内弧面与石英坩埚的外圆相配,相邻卡盘间采用锁紧螺栓联接。
本实用新型的改进在于:所述弧形卡盘的内弧面上设置有防滑垫。
所述卡盘的进一步改进还在于:所述弧形卡盘的上端面设置有向内凸出的用于定位石英坩埚水平位置的定位块。
本实用新型的改进还在于:所述夹紧装置与吊杆底端销连接。
由于采用了以上技术方案,本实用新型所取得技术进步在于:
使用本实用新型进行填料,可以提前在洁净室里将原料添装到石英坩埚内,大大减少了装料时受车间环境粉尘的污染时间以及相邻炉间的交叉污染,进而提高了单晶硅棒的内在品质;并且提前装料能有稳定的心态和充裕的时间,做到大小料块的合理搭配,进一步调高了装料的密实度,避免了在现场由于时间紧迫造成对设备不必要的损伤。另外,采用本实用新型有效地避免了原料在单晶炉热场和炉周边的散落,防止硅液的渗透,减少了石墨件老化和原料的浪费,降低了生产成本;同时还可缩短填料时间,提高工作效率。
本实用新型的吊架与夹紧装置间活动链接,可减少硬性阻力的冲击,保护石英坩埚不受损伤;采用多瓣卡盘可使石英坩埚均匀受力,采用额定压力扳手对加紧螺丝进行加固,有效地保证了足够的夹紧力且还可防止压力过大,对石英坩埚造成损伤;卡盘上设置的定位块,可有效保证夹具准确平行地夹住石英坩埚,使其受力均匀,并且定位块还保证了夹具夹持在石英坩埚上沿10mm的高度范围内,减少了改进石墨配套热场的工序。本实用新型操作简单、使用方便,大规模投入生产车间后,彻底改变了沿用已久的直拉单晶装填多晶原料的工艺,使得直拉单晶的技术又向前迈进了一步。
附图说明
图1:本实用新型一种实施例的结构示意图;
图2:本实用新型夹紧装置的俯视图。
其中:1.吊架,2.夹紧装置,3.弧形卡盘,4.锁紧螺栓,5.定位块。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型进行进一步详细的说明。
图1为一种用于吊装石英坩埚的夹具,包括吊架1以及夹紧装置2。图2为夹紧装置2的俯视图。吊架1的底端连接有夹紧装置2,夹紧装置2由四瓣弧形卡盘3构成,弧形卡盘与吊架之间采用销连接,弧形卡盘3的内弧面上设置有防滑垫,相邻的卡盘间采用锁紧螺栓4进行锁紧。
使用时,首先将吊架与夹紧装置连接好;夹具组装完成后,将其放置在装好多晶填料的石英坩埚上沿,通过夹紧装置上端的定位块5将石英坩埚水平定位后,采用额定压力扳手将相邻卡盘间的锁紧螺栓锁紧,至此准备工作完成,即可进行吊装作业。使用升降机挂住夹具的吊环,将石英坩埚吊装在炉腔的上方,对正三瓣埚的中心缓慢下降,落实到位后,松开锁紧螺栓,取出夹具,吊装工作完成,即可进行正常的单晶生产。
本实用新型的实施方式不限于上述具体实施例,其卡盘可以为两瓣、三瓣以上,吊架的设置可以根据夹具的瓣数进行设置;吊架卡盘间还可以采用吊挂等形式的活动连接方式等。但凡是由本实用新型权利要求所限定的技术特征所实现的快速吊装夹具,能够达到国内光伏太阳能级单晶硅直拉炉的一次原料装填要求的用于吊装石英坩埚的夹具,均落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种用于吊装石英坩埚的夹具,包括吊架(1)和夹紧装置(2),吊架(1)的底端与夹紧装置(2)活动连接,其特征在于:所述夹紧装置(2)由两瓣或两瓣以上的弧形卡盘(3)构成,弧形卡盘的内弧面与石英坩埚的外圆相配,相邻卡盘(3)间采用锁紧螺栓(4)联接。
2.根据权利要求1所述的一种用于吊装石英坩埚的夹具,其特征在于:所述弧形卡盘(3)的内弧面上设置有防滑垫。
3.根据权利要求2所述的一种用于吊装石英坩埚的夹具,其特征在于:所述弧形卡盘的上端面设置有向内凸出的用于定位石英坩埚水平位置的定位块(5)。
4.根据权利要求1、2或3任一项所述的一种用于吊装石英坩埚的夹具,其特征在于:所述夹紧装置与吊架底端销连接。
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CN103614766A (zh) * | 2013-11-07 | 2014-03-05 | 镇江大成新能源有限公司 | 一种取出拉晶掉棒的夹具 |
CN104250848A (zh) * | 2014-09-11 | 2014-12-31 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 利用外部装料结构进行多晶硅装料的控制方法 |
CN106917144A (zh) * | 2015-12-25 | 2017-07-04 | 有研半导体材料有限公司 | 一种炉外装炉的方法 |
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