CN215548387U - 一种用于单晶炉拆卸埚托工装 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种用于单晶炉拆卸埚托工装，包括支架、安装块、拉簧、连接块、抱臂、自复位销轴和抱爪，所述支架的外侧壁固定连接有三个安装块，三个所述安装块的内部上方均贯穿安装有拉簧，所述拉簧均通过连接块固定连接有抱臂，所述抱臂的底端通过连接螺栓固定连接有抱爪；本实用新型通过设计的单晶炉石墨埚托拆装工装，这样使操作人员进行操作进行拆装单晶炉石墨埚托的时候较为方便，由于操作方便这样有效地降低了操作人员的劳动强度，更加有效地减少了操作人员因操作不当导致的烫伤风险，并且有效地缩短拆装工时，这样可以增加工作效率，有效地提高单晶炉单晶拉制产量，降低运行成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种用于单晶炉拆卸埚托工装。
背景技术
单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件，目前单晶硅的生长技术有两种，区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍的采用的方法，在直拉法制造单晶硅时，要将多晶硅置于石英坩埚中，经过高温使其熔化，然后籽晶由顶部降至熔化的多晶硅中，通过控制液面的温度，使熔化的籽晶在周围重新结晶，生成排列整齐的单晶硅棒。目前普遍采用单晶炉在多晶熔化时挥发出一种一氧化硅颗粒，高温状态下一氧化硅颗粒会与石墨加热器、石墨坩埚等配件发生反应，并且高温环境会腐蚀保温筒外沿的碳毡，从而降低了碳毡的使用寿命。另外硅单晶体从溶液中生长结晶时会释放出热量，此部分热量会减慢硅单晶的结晶速度，影响硅单晶的生产效率；
传统的用于单晶炉拆卸埚托工装在拆装过程中，特别是高温拆炉时，因埚托单体重量增加，导致人工拆装作业时损坏热场件及人身烫伤风险增大，影响单晶拉制产量，增加了生产成本，因此本实用新型提出一种用于单晶炉拆卸埚托工装以解决现有技术中存在的问题。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型的目的在于提出一种用于单晶炉拆卸埚托工装，该用于单晶炉拆卸埚托工装解决了人员用手拆卸，易造成石墨埚托损耗，拆炉时热场温度较高，存在烫伤风险，热场件损坏风险增加，拆装工时长，对人员体力要求增高，增加了生产成本的问题。
为实现本实用新型的目的，本实用新型通过以下技术方案实现：一种用于单晶炉拆卸埚托工装，包括支架、安装块、拉簧、连接块、抱臂、自复位销轴和抱爪，所述支架的外侧壁固定连接有三个安装块，三个所述安装块的内部上方均贯穿安装有拉簧，所述拉簧均通过连接块固定连接有抱臂，所述抱臂的底端通过连接螺栓固定连接有抱爪，三个所述安装块的下方均贯穿安装有自复位销轴。
进一步改进在于：所述安装块以支架的外侧壁呈等间距设置有三个。
进一步改进在于：三个所述安装块的一侧均开设有限位孔，所述抱臂的下方内部开设有通孔，所述限位孔内均贯穿安装自复位销轴同时贯穿于通孔。
进一步改进在于：三个所述安装块的另一侧设置有限位槽，所述限位槽的内部一侧固定连接有铁块。
进一步改进在于：所述自复位销轴的一侧安装有磁块，所述自复位销轴通过磁块与铁块相互吸附。
进一步改进在于：所述支架的外侧壁安装有四个手柄，四个所述手柄以支架的中轴线为对称设置，四个所述手柄的外侧壁均粘接有隔热套。
本实用新型的有益效果为：本实用新型通过设计的单晶炉石墨埚托拆装工装，这样使操作人员进行操作进行拆装单晶炉石墨埚托的时候较为方便，由于操作方便这样有效地降低了操作人员的劳动强度，更加有效地减少了操作人员因操作不当导致的烫伤风险，并且有效地缩短拆装工时，这样可以增加工作效率，有效地提高单晶炉单晶拉制产量，降低运行成本。
附图说明
图1为本实用新型的主视立面结构示意图。
图2为本实用新型的主视剖面结构示意图。
图3为本实用新型图2中A部放大结构示意图。
其中：1、支架；2、安装块；3、拉簧；4、连接块；5、抱臂；6、限位孔；7、通孔；8、自复位销轴；9、磁块；10、限位槽；11、铁块；12、连接螺栓；13、抱爪；14、手柄；15、隔热套。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型做进一步详述，本实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
实施例一
根据图1-图3所示，本实施例提供了一种用于单晶炉拆卸埚托工装，包括支架1、安装块2、拉簧3、连接块4、抱臂5、自复位销轴8和抱爪13，支架1的外侧壁固定连接有三个安装块2，三个安装块2的内部上方均贯穿安装有拉簧3，拉簧3均通过连接块4固定连接有抱臂5，抱臂5的底端通过连接螺栓12固定连接有抱爪13，三个安装块2的下方均贯穿安装有自复位销轴8，通过设置的拉簧3，使抱臂5通过拉簧3自动回弹，将抱臂5卡住定位。
安装块2以支架1的外侧壁呈等间距设置有三个，这样通过三组固定装置，这样固定定位效果更佳。
三个安装块2的一侧均开设有限位孔6，抱臂5的下方内部开设有通孔7，限位孔6内均贯穿安装自复位销轴8同时贯穿于通孔7，通过设置的自复位销轴8贯穿限位孔6和通孔7这样可以启动定位和固定的作用。
三个安装块2的另一侧设置有限位槽10，限位槽10的内部一侧固定连接有铁块11，这样便于自复位销轴8进行固定。
自复位销轴8的一侧安装有磁块9，自复位销轴8通过磁块9与铁块11相互吸附，通过设置的磁块9与铁块11相互吸附，这样在固定自复位销轴8的时候可以起到辅助固定的作用。
支架1的外侧壁安装有四个手柄14，四个手柄14以支架1的中轴线为对称设置，四个手柄14的外侧壁均粘接有隔热套15，通过设置的手柄14，这样便于对装置进行操作，并且通过手柄14的外侧壁均粘接的隔热套15，这样可以启动阻热性，提高操作人员的安全。
使用石墨埚托拆装作业时，首先将自复位销轴8拔出，向外侧拉开抱臂5，然后松开自复位销轴8，抱臂5通过拉簧3自动回弹，将抱臂5卡住定位；
使用石墨埚托拆装工装作业时，将石墨埚托拆装工装抱爪13放入石墨埚托下处，向外拔出自复位销轴8，使抱臂5垂直放下，然后松开自复位销轴8，使自复位销轴8插入抱臂5上的孔内，固定抱臂5及抱爪13位置，然后俩人配合使用手柄14将石墨埚托取出或装入单晶炉热场。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种用于单晶炉拆卸埚托工装，包括支架(1)、安装块(2)、拉簧(3)、连接块(4)、抱臂(5)、自复位销轴(8)和抱爪(13)，其特征在于：所述支架(1)的外侧壁固定连接有三个安装块(2)，三个所述安装块(2)的内部上方均贯穿安装有拉簧(3)，所述拉簧(3)均通过连接块(4)固定连接有抱臂(5)，所述抱臂(5)的底端通过连接螺栓(12)固定连接有抱爪(13)，三个所述安装块(2)的下方均贯穿安装有自复位销轴(8)。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉拆卸埚托工装，其特征在于：所述安装块(2)以支架(1)的外侧壁呈等间距设置有三个。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉拆卸埚托工装，其特征在于：三个所述安装块(2)的一侧均开设有限位孔(6)，所述抱臂(5)的下方内部开设有通孔(7)，所述限位孔(6)内均贯穿安装自复位销轴(8)同时贯穿于通孔(7)。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉拆卸埚托工装，其特征在于：三个所述安装块(2)的另一侧设置有限位槽(10)，所述限位槽(10)的内部一侧固定连接有铁块(11)。
5.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉拆卸埚托工装，其特征在于：所述自复位销轴(8)的一侧安装有磁块(9)，所述自复位销轴(8)通过磁块(9)与铁块(11)相互吸附。
6.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉拆卸埚托工装，其特征在于：所述支架(1)的外侧壁安装有四个手柄(14)，四个所述手柄(14)以支架(1)的中轴线为对称设置，四个所述手柄(14)的外侧壁均粘接有隔热套(15)。
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