CN220619185U - 一种碳化硅单晶生长装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长装置，属于单晶硅生长装置技术领域，生长炉底部设有框体，框体上部设有通孔，生长炉底部设有与通孔相对应的开口，开口内设有底板，底板与开口封合，底板底部设有电推杆，电推杆底部设有固定板，框体内设有轴承座，轴承座上轴承连接有螺纹杆一，螺纹杆一上设有螺纹套一，螺纹套一与固定板连接，螺纹杆一一端设有电机一，电机一右部设有固定装置，固定装置上设有滑杆一，滑杆一与轴承座连接，滑杆一上设有滑套一，滑套一与螺纹套一连接。解决了现有设备不便将碳碳坩埚从生长炉内取出的技术问题。

Description

一种碳化硅单晶生长装置

技术领域

本实用新型属于碳化硅生长装置技术领域，具体涉及一种碳化硅单晶生长装置。

背景技术

碳化硅单晶生长装置又称单晶硅生长装置，其通过将碳化硅原料放在石英坩埚内，将石英坩埚放在碳碳坩埚内，再将碳碳坩埚放在生长炉内，通过生长炉内的加热器将碳碳坩埚加热，使得石英坩埚内的碳化硅原料熔融，然后将籽晶放在夹头内，夹头固定在螺纹杆上，通过提拉杆带动螺纹杆下降，使得籽晶进入熔融的碳化硅原料中，通过边转动边提拉籽晶，使得熔融的碳化硅原料在籽晶上生长，得到单晶硅棒，由于石英坩埚作为碳化硅的载体，其本身为消耗性器皿，每生产一次单晶硅棒，则石英坩埚就会作废，因此需要将石英坩埚从碳碳坩埚中取出，此过程称为脱模，因为石英坩埚在加热过程中膨胀，因此其会紧紧嵌在碳碳坩埚内，需要将碳碳坩埚从生长炉内取出，工人敲砸碳碳坩埚内的石英坩埚，以取出石英坩埚，现有的技术通过将生长炉上部打开，通过行吊将碳碳坩埚吊起，然后再通过机械臂将碳碳坩埚抓出，其操作较为繁琐，且用到的机械较多，耗时耗力。

实用新型内容

发明目的：本实用新型的目的是提供一种碳化硅单晶生长装置，以解决现有设备不便将碳碳坩埚从生长炉内取出的技术问题。

一种碳化硅单晶生长装置，包括生长炉，所述生长炉内设有加热器，所述加热器内设有碳碳坩埚，所述碳碳坩埚内设有石英坩埚，加热器将碳碳坩埚加热，使得石英坩埚内的碳化硅原料融化，所述生长炉上部设有提拉装置；

其特征在于：所述生长炉底部设有框体，所述框体上部设有通孔，所述生长炉底部设有与通孔相对应的开口，所述开口内设有底板，所述底板与开口封合，所述底板底部设有电推杆，电推杆推动底板升降，使得碳碳坩埚升降，所述电推杆底部设有固定板，所述框体内设有轴承座，所述轴承座上轴承连接有螺纹杆一，所述螺纹杆一上设有螺纹套一，所述螺纹套一与固定板连接，所述螺纹杆一一端设有电机一，所述电机一右部设有固定装置，所述固定装置上设有滑杆一，所述滑杆一与轴承座连接，所述滑杆一上设有滑套一，所述滑套一与螺纹套一连接，电机一带动螺纹杆一转动，使得螺纹套一左右移动，并带动固定板左右移动，同时带动滑套一在滑杆一上左右移动。

进一步的，所述固定装置为冷气机，所述冷气机上设有冷气管，冷气机内产生的冷气通过冷气管喷出，可对碳碳坩埚进行降温，便于工人敲凿碳碳坩埚内的石英坩埚。

进一步的，所述提拉装置包括滑杆二，所述框体上设有滑杆二，所述滑杆二上设有支撑板，所述支撑板底部设有电机二，所述电机二上设有螺纹杆二，所述螺纹杆二一端轴承连接在框体上，所述滑杆二和螺纹杆二上分别设有滑套二和螺纹套二，电机二带动螺纹杆二转动，使得螺纹套二上下移动，并带动滑套二在滑杆二上上下移动，所述螺纹套二上设有连接板，所述连接板上设有提拉杆，螺纹套二带动连接板上下移动，连接板带动提拉杆上下移动，使得籽晶进入石英坩埚内的的碳化硅溶液中，所述提拉杆内设有电机三，所述电机三上设有螺纹杆三，所述螺纹杆三端部设有夹头，所述夹头内设有籽晶，电机三带动螺纹杆三转动，螺纹杆三带动夹头和籽晶转动，使得籽晶卷带液态碳化硅，同时电机二带动籽晶上移，液态碳化硅在籽晶上生长，形成单晶硅棒。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：当完成一次单晶硅棒的提拉后，电推杆带动碳碳坩埚从生长炉内底部下移，然后电机一带动碳碳坩埚向右移动离开框体内，工人对碳碳坩埚内的石英坩埚进行敲凿，本实用无需传统的将碳碳坩埚从生长炉上部吊拉、夹取取出，直接从底部转移，操作便捷，解决了现有设备不便将碳碳坩埚从生长炉内取出的技术问题。

附图说明

图1是本实用新型的结构图一；

图2是本实用新型的结构图二；

图3是本实用新型的结构图三。

附图：1生长炉，2加热器，3碳碳坩埚，4石英坩埚，5框体，6通孔，7开口，8底板，9电推杆，10固定板，11轴承座，12螺纹杆一，13螺纹套一，14电机一，15滑杆一，16滑套一，17冷气机，18冷气管，19滑杆二，20支撑板，21电机二，22螺纹杆二，23滑套二，24螺纹套二，25连接板，26提拉杆，27电机三，28螺纹杆三，29夹头，30籽晶。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

实施例

如图1-3所示：

一种碳化硅单晶生长装置，包括生长炉1，所述生长炉1内设有加热器2，所述加热器2内设有碳碳坩埚3，所述碳碳坩埚3内设有石英坩埚4，所述生长炉1上部设有提拉装置；

其特征在于：所述生长炉1底部设有框体5，所述框体5上部设有通孔6，所述生长炉1底部设有与通孔6相对应的开口7，所述开口7内设有底板8，所述底板8与开口7封合，所述底板8底部设有电推杆9，所述电推杆9底部设有固定板10，所述框体5内设有轴承座11，所述轴承座11上轴承连接有螺纹杆一12，所述螺纹杆一12上设有螺纹套一13，所述螺纹套一13与固定板10连接，所述螺纹杆一12一端设有电机一14，所述电机一14右部设有固定装置，所述固定装置上设有滑杆一15，所述滑杆一15与轴承座11连接，所述滑杆一15上设有滑套一16，所述滑套一16与螺纹套一13连接。

进一步的，所述固定装置为冷气机17，所述冷气机17上设有冷气管18。

进一步的，所述提拉装置包括滑杆二19，所述框体5上设有滑杆二19，所述滑杆二19上设有支撑板20，所述支撑板20底部设有电机二21，所述电机二21上设有螺纹杆二22，所述螺纹杆二22一端轴承连接在框体5上，所述滑杆二19和螺纹杆二22上分别设有滑套二23和螺纹套二24，所述螺纹套二24上设有连接板25，所述连接板25上设有提拉杆26，所述提拉杆26内设有电机三27，所述电机三27上设有螺纹杆三28，所述螺纹杆三28端部设有夹头29，所述夹头29内设有籽晶30。

本实用新型的使用方法如下：

当完成单晶硅棒的提拉后，电推杆9带动底板8下移，使得碳碳坩埚3脱离生长炉1内的开口7，并通过通孔6,进入框体5内，电机一14启动，带动螺纹杆一12转动，使得螺纹套一13带动固定板10向右移动，固定板10带动电推杆9、底板8和碳碳坩埚3向右移动，使得碳碳坩埚3脱离框体5内部，同时螺纹杆套一13带动滑套一16在滑杆一15上向右移动，然后工人将移出的碳碳坩埚3内的石英坩埚4进行敲凿。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。

Claims (3)

1.一种碳化硅单晶生长装置，包括生长炉(1)，所述生长炉(1)内设有加热器(2)，所述加热器(2)内设有碳碳坩埚(3)，所述碳碳坩埚(3)内设有石英坩埚(4)，所述生长炉(1)上部设有提拉装置；

其特征在于：所述生长炉(1)底部设有框体(5)，所述框体(5)上部设有通孔(6)，所述生长炉(1)底部设有与通孔(6)相对应的开口(7)，所述开口(7)内设有底板(8)，所述底板(8)与开口(7)封合，所述底板(8)底部设有电推杆(9)，所述电推杆(9)底部设有固定板(10)，所述框体(5)内设有轴承座(11)，所述轴承座(11)上轴承连接有螺纹杆一(12)，所述螺纹杆一(12)上设有螺纹套一(13)，所述螺纹套一(13)与固定板(10)连接，所述螺纹杆一(12)一端设有电机一(14)，所述电机一(14)右部设有固定装置，所述固定装置上设有滑杆一(15)，所述滑杆一(15)与轴承座(11)连接，所述滑杆一(15)上设有滑套一(16)，所述滑套一(16)与螺纹套一(13)连接。

2.根据权利要求1所述一种碳化硅单晶生长装置，其特征在于：所述固定装置为冷气机(17)，所述冷气机(17)上设有冷气管(18)。

3.根据权利要求1所述一种碳化硅单晶生长装置，其特征在于：所述提拉装置包括滑杆二(19)，所述框体(5)上设有滑杆二(19)，所述滑杆二(19)上设有支撑板(20)，所述支撑板(20)底部设有电机二(21)，所述电机二(21)上设有螺纹杆二(22)，所述螺纹杆二(22)一端轴承连接在框体(5)上，所述滑杆二(19)和螺纹杆二(22)上分别设有滑套二(23)和螺纹套二(24)，所述螺纹套二(24)上设有连接板(25)，所述连接板(25)上设有提拉杆(26)，所述提拉杆(26)内设有电机三(27)，所述电机三(27)上设有螺纹杆三(28)，所述螺纹杆三(28)端部设有夹头(29)，所述夹头(29)内设有籽晶(30)。