CN202450185U - 单晶炉多功能取晶棒车 - Google Patents
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Abstract
单晶炉多功能取晶棒车属于金属冶炼机电技术领域，特别涉及单晶炉多功能取晶棒车；可夹持晶棒的取晶棒车卡抓等分定距离固定安装在取晶棒车主体立架上用于夹持从上炉体退出来的晶棒；籽晶绳上端连接提升装置，下端连接晶棒；可拆卸的取晶棒车提升架安装在取晶棒车主体立架上，可拆卸的取晶棒车提升架前端安装开口吊环用于挂接坩埚取出机构，盛放硅料的石英坩埚放在石墨坩埚内，石墨坩埚放置在坩埚取出机构内送进或退出热场；坩埚取出机构为整体框式结构，上端安装带有开口挂钩的三角提梁；实现了在同一单晶炉取晶棒车上完成取晶棒、安装盛料的石墨和石英坩埚、拆卸晶棒加工完成后取出石墨和石英坩埚，一车多用，解决了石英石墨坩埚取出工作强度大问题。
Description
技术领域：
单晶炉多功能取晶棒车属于冶炼机电技术领域，特别涉及单晶炉多功能取晶棒车。
背景技术：
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。单晶炉取晶棒车的作用如下：在硅单晶拉制结束后，通过取晶棒车，夹紧晶棒取出，可以减少人工作业时间；目前使用的单晶炉取晶棒车，功能单一，结构不灵活，操作复杂，晶棒取出困难。
发明内容：
本实用新型单晶炉多功能取晶棒车发明目的在于：解决目前使用的单晶炉取晶棒车功能单一，实现在同一单晶炉取晶棒车上完成安装盛料的石英坩埚和石墨坩埚，拆卸晶棒拉制完成后取出石墨和石英坩埚，解决石英、石墨坩埚取出工作强度大等问题。
本实用新型单晶炉多功能取晶棒车是这样实现的：含有上炉体、籽晶绳、晶棒、取晶棒车卡抓、硅料、石英坩埚、石墨坩埚，还由取晶棒车提升架、坩埚取出机构组成；可夹持晶棒的取晶棒车卡抓等分定距离固定安装在取晶棒车主体立架上用于夹持从上炉体退出来的晶棒；籽晶绳为多根细钨丝旋合而成，上端连接提升装置，下端连接晶棒；可拆卸的取晶棒车提升架安装在取晶棒车主体立架上，可拆卸的取晶棒车提升架前端安装开口吊环用于挂接坩埚取出机构，盛放硅料的石英坩埚放在石墨坩埚内，石墨坩埚放置在坩埚取出机构内送进或退出热场；坩埚取出机构为整体框式结构，上端安装带有开口挂钩的三角提梁，上炉体为水冷焊接件。
当晶棒成形后，在上炉体内冷却，冷却到可以取出的温度时，将上炉体旋转一个角度，然后通过籽晶绳将晶棒放到取晶棒车卡抓的相对位置，通过取晶棒车卡抓固定晶棒；剪断籽晶绳与晶棒的连接，即可以将晶棒取出；然后通过取晶棒车的旋转机构旋转晶棒到90度，将晶棒放在工装车上；将坩埚取出机构套在石墨坩埚上，将坩埚取出机构的挂钩与取晶棒车提升架的挂钩相连接，在取晶棒车提升架的带动下，可将坩埚取出机构、石墨坩埚、石英坩埚及剩余硅料一起取出。
本实用新型单晶炉多功能取晶棒车的有益效果是：实现了在同一单晶炉取晶棒车上完成取晶棒、安装盛料的石英和石墨坩埚、拆卸晶棒拉制完成后取出石墨和石英坩埚，一车多用，解决了石英石墨坩埚取出工作强度大问题。
附图说明：
附图1是单晶炉多功能取晶棒车夹持取出晶棒示意图。
附图2是单晶炉多功能取晶棒车安装石墨和石英坩埚时吊挂坩埚取出机构示意图。
图中：炉体1、籽晶绳2、晶棒3、取晶棒车卡抓4、硅料7、石英坩埚8、石墨坩埚9、取晶棒车提升架5、坩埚取出机构6。
具体实施方式：
本实用新型单晶炉多功能取晶棒车，含有上炉体1、籽晶绳2、晶棒3、取晶棒车卡抓4、硅料7、石英坩埚8、石墨坩埚9，还由取晶棒车提升架5、坩埚取出机构6组成；可夹持晶棒的取晶棒车卡抓4等分定距离固定安装在取晶棒车主体立架上用于夹持从上炉体1退出来的晶棒3；籽晶绳2为多根细钨丝旋合而成，上端连接提升装置，下端连接晶棒3；可拆卸的取晶棒车提升架5安装在取晶棒车主体立架上，可拆卸的取晶棒车提升架5前端安装开口吊环用于挂接坩埚取出机构6，盛放硅料7的石英坩埚8放在石墨坩埚9内，石墨坩埚9放置在坩埚取出机构6内；坩埚取出机构6为整体框式结构，上端安装带有开口挂钩的三角提梁；上炉体1为水冷焊接件。
Claims (2)
1.单晶炉多功能取晶棒车，含有上炉体（1）、籽晶绳（2）、晶棒（3）、取晶棒车卡抓（4）、硅料（7）、石英坩埚（8）、石墨坩埚（9），其特征在于：还由取晶棒车提升架（5）、坩埚取出机构（6）组成；可夹持晶棒的取晶棒车卡抓（4）等分定距离固定安装在取晶棒车主体立架上用于夹持从上炉体（1）退出来的晶棒（3）；籽晶绳（2）为多根细钨丝旋合而成，上端连接提升装置，下端连接晶棒（3）；可拆卸的取晶棒车提升架（5）安装在取晶棒车主体立架上，可拆卸的取晶棒车提升架（5）前端安装开口吊环用于挂接坩埚取出机构（6），盛放硅料（7）的石英坩埚（8）放在石墨坩埚（9）内，石墨坩埚（9）放置在坩埚取出机构（6）内送进或退出热场。
2.根据权利要求1所述单晶炉多功能取晶棒车，其特征在于：坩埚取出机构（6）为整体框式结构，上端安装带有开口挂钩的三角提梁。
3. 根据权利要求1所述单晶炉多功能取晶棒车，其特征在于：上炉体（1）为水冷焊接件。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012200252329U CN202450185U (zh) | 2012-01-19 | 2012-01-19 | 单晶炉多功能取晶棒车 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| CN2012200252329U CN202450185U (zh) | 2012-01-19 | 2012-01-19 | 单晶炉多功能取晶棒车 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202450185U true CN202450185U (zh) | 2012-09-26 |
Family
ID=46866065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012200252329U Expired - Lifetime CN202450185U (zh) | 2012-01-19 | 2012-01-19 | 单晶炉多功能取晶棒车 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN202450185U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103215634A (zh) * | 2012-01-19 | 2013-07-24 | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 | 单晶炉多功能取晶棒车 |
| CN106917144A (zh) * | 2015-12-25 | 2017-07-04 | 有研半导体材料有限公司 | 一种炉外装炉的方法 |
| CN110091905A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-08-06 | 四川天府江东科技有限公司 | 一种利于光纤预制棒装运安全性的装运棒装置 |
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2012
- 2012-01-19 CN CN2012200252329U patent/CN202450185U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103215634A (zh) * | 2012-01-19 | 2013-07-24 | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 | 单晶炉多功能取晶棒车 |
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| CN110091905A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-08-06 | 四川天府江东科技有限公司 | 一种利于光纤预制棒装运安全性的装运棒装置 |
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