CN202278035U - 一种合金靶材的矫直装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种合金靶材的矫直装置，包括下模座及平行于下模座的上模架，下模座上设有引导上模架上下运动的导柱，下模座上还设有可彼此贴合的侧护板和推板，侧护板固定安装于下模座上，推板的一侧设有可推动推板平行运动的侧液压缸。此合金靶材的矫直装置可将需加工的靶材置于推板与侧护板间，并通过侧液压缸推动推板平行运动对置于推板与侧护板间的靶材进行压制，同时其上方的上模架可沿导柱向下运动对靶材的上下两侧进行压制，经过此组合模具压制后的靶材，其加工余量可比传统工艺大大减少，从而有效提高靶材成材的尺寸精度，此实用新型用于加工机床领域。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种机床加工装置，特别是涉及一种靶材的矫直装置。
背景技术
溅射合金靶材是用物理气相沉积技术制备薄膜的核心材料，溅射合金靶材广泛用于信息技术、太阳能技术、电子光学技术等高技术领域，可应用于真空镀膜、耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。溅射靶材主要有金属类、合金类、氧化物类等形式。
合金靶材主要采用冶炼、轧制等方法加工制成，熔炼法获得合金靶材的工艺包括冶炼、锻造和轧制，采传统的靶材制作工艺是热轧、固溶和机加工，但传统的靶材制作工艺的机加工余量大，生产出的靶材表面凸凹、平直度较差，其尺寸精度低，成材率不高。
实用新型内容
为解决上述问题，本实用新型提供一种可有效提高其成材尺寸精度的合金靶材矫直装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种合金靶材的矫直装置，包括下模座及平行于下模座的上模架，下模座上设有引导上模架上下运动的导柱，下模座上还设有可彼此贴合的侧护板和推板，侧护板固定安装于下模座上，推板的一侧设有可推动推板平行运动的侧液压缸。
进一步作为本实用新型技术方案的改进，下模座与侧护板和推板间设有用于支承的下垫板。
进一步作为本实用新型技术方案的改进，侧护板和推板在与其彼此贴合的侧面相对的一面设有支承块。
进一步作为本实用新型技术方案的改进，上模架的下方固定安装有上垫板，上模架与上垫板间设有用于固定联接的螺栓。
本实用新型的有益效果：此合金靶材的矫直装置可将需加工的靶材置于推板与侧护板间，并通过侧液压缸推动推板平行运动对置于推板与侧护板间的靶材进行压制，同时其上方的上模架可沿导柱向下运动对靶材的上下两侧进行压制，经过此组合模具压制后的靶材，其加工余量可比传统工艺大大减少，从而有效提高靶材成材的尺寸精度。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
图1是本实用新型实施例整体结构示意图。
具体实施方式
参照图1，本实用新型为一种合金靶材的矫直装置，包括下模座1及平行于下模座1的上模架2，下模座1上设有引导上模架2上下运动的导柱3，下模座1上还设有可彼此贴合的侧护板4和推板5，侧护板4固定安装于下模座1上，推板5的一侧设有可推动推板5平行运动的侧液压缸6。
此合金靶材的矫直装置可将需加工的靶材置于推板5与侧护板4间，并通过侧液压缸6推动推板5平行运动对置于推板5与侧护板4间的靶材进行压制，同时其上方的上模架2可沿导柱3向下运动对靶材的上下两侧进行压制，经过此组合模具压制后的靶材，可将靶材侧面出现的镰刀弯压平，同时其加工平面的加工余量可比传统工艺大大减少，从而有效提高靶材成材的尺寸精度。
作为本实用新型优选的实施方式，下模座1与侧护板4和推板5间设有用于支承的下垫板7。
作为本实用新型优选的实施方式，上模架2的下方固定安装有上垫板9，上模架2与上垫板9间设有用于固定联接的螺栓10。
设置于下模座1上的下垫板7和安装于上模架2下方的上垫板9直接与所需压制靶材的上下侧面接触，该下垫板7和上垫板9及侧护板4均采用耐高温材料，满足合金靶材热压要求，经过表面加工处理的下垫板7和上垫板9可提高靶材的侧面加工精度，减少其加工余量。
作为本实用新型优选的实施方式，侧护板4和推板5在与其彼此贴合的侧面相对的一面设有支承块8，支承块8用于增强对侧护板4和推板5的支撑。
当然，本发明创造并不局限于上述实施方式，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出等同变形或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (4)
1.一种合金靶材的矫直装置，其特征在于：包括下模座(1)及平行于下模座(1)的上模架(2)，所述下模座(1)上设有引导上模架(2)上下运动的导柱(3)，所述下模座(1)上还设有可彼此贴合的侧护板(4)和推板(5)，所述侧护板(4)固定安装于下模座(1)上，所述推板(5)的一侧设有可推动推板(5)平行运动的侧液压缸(6)。
2.根据权利要求1所述的合金靶材的矫直装置，其特征在于：所述下模座(1)与侧护板(4)和推板(5)间设有用于支承的下垫板(7)。
3.根据权利要求1或2所述的合金靶材的矫直装置，其特征在于：所述侧护板(4)和推板(5)在与其彼此贴合的侧面相对的一面设有支承块(8)。
4.根据权利要求1或2所述的合金靶材的矫直装置，其特征在于：所述上模架(2)的下方固定安装有上垫板(9)，所述上模架(2)与上垫板(9)间设有用于固定联接的螺栓(10)。
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| CN117415187A (zh) * | 2023-11-01 | 2024-01-19 | 河北瑞弛新材料有限公司 | 一种靶材加工的加压设备及其方法 |
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| CN117415187B (zh) * | 2023-11-01 | 2024-04-26 | 河北瑞弛新材料有限公司 | 一种靶材加工的加压设备及其方法 |
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