CN202180065U - 全自动太阳能硅片扩散前清洗设备 - Google Patents
全自动太阳能硅片扩散前清洗设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202180065U CN202180065U CN2011202651901U CN201120265190U CN202180065U CN 202180065 U CN202180065 U CN 202180065U CN 2011202651901 U CN2011202651901 U CN 2011202651901U CN 201120265190 U CN201120265190 U CN 201120265190U CN 202180065 U CN202180065 U CN 202180065U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- overflow
- tank
- pickling
- cleaning equipment
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种全自动太阳能硅片扩散前清洗设备，包括上料台、微机控制系统、触摸屏，上料台后依次设置溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置，在循环热风烘干装置后设置下料台，酸洗槽与在线加热装置连接，溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置均固定于机架上，在机架一侧的滑轨上装单臂移载式机械手。本实用新型结构合理，在清洗设备的酸洗（HF）工序前增加DIWater溢流预清洗，以提高酸洗工序前硅片的表面洁净度，提高酸洗的清洗效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种全自动太阳能硅片扩散前清洗设备。
背景技术
扩散是晶体硅太阳电池工艺生产中核心的工艺流程，而扩散工艺中形成p-n结的质量直接关系到太阳能电池的转换效率。在太阳能电池工艺生产中，为了去除表面油污及金属杂质，提高扩散前硅片的洁净度，从而提高p-n结的质量，在扩散工艺前设置酸洗工艺流程。
对普通的太阳能电池片工艺生产，现有扩散前清洗设备基本可以满足工艺对洁净度等的要求；但随着太阳能电池生产工艺，如应用Innovalight公司的Cougar平台，即利用硅墨水套印生产选择型发射极太阳能电池的生产工艺，对工艺流程中的洁净度要求越来越高，普通的清洗设备不能满工艺对扩散前清洗洁净度、特别是避免金属离子污染的要求。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种结构合理，能够满足单晶选择性发射极太阳能电池工艺中洁净度要求，尽量避免金属离子污染及减少潜在污染源，减少二次污染，从而提高太阳能电池的光电转换效率，以及提高生产效率的全自动太阳能硅片扩散前清洗设备。
本实用新型的技术解决方案是：
一种全自动太阳能硅片扩散前清洗设备，包括上料台、微机控制系统、触摸屏，其特征是：上料台后依次设置溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置，在循环热风烘干装置后设置下料台，酸洗槽与在线加热装置连接，溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置均固定于机架上，在机架一侧的滑轨上装单臂移载式机械手。
单臂移载式机械手呈与硅片花篮两端挡板上缺口挂合的形式。
微机控制系统、触摸屏采用悬挂式安装在上料台旁。
本实用新型结构合理，在清洗设备的酸洗（HF）工序前增加DI Water溢流预清洗，以提高酸洗工序前硅片的表面洁净度，提高酸洗的清洗效果。
采用无需花篮托的机械手，机械手整体及挂钩采用非金属材质。现有光伏行业清洗设备的机械手均采用需花篮托的机械手，花篮托采用金属材质外包pp材质，在长时间的冷热变换及腐蚀下会造成pp包覆层开裂，从而在工艺流程中造成金属离子污染；采用无需花篮托的机械手则减少了这种潜在的污染源。设备中机械手也采用进口非金属材质，避免了与酸液接触带来腐蚀的问题；同时，减去传统清洗机所需的花篮托，大大较少慢提拉工序中去除硅片上附着水珠的时间及提高烘干硅片所需的节拍。
在酸洗及DI Water溢流清洗之后，采用热DI Water慢提拉及循环热风烘干取代传统清洗设备中的甩干工序，降低了干燥电池片工序带来的污染及避免了二次污染。
采用在线加热方式，采用整体构造（外包覆不锈钢材质）和供水管路均为非金属材质的热水发生器（TYTAN）。避免了现有清洗设备DI Water热慢提拉工序带来金属离子污染的问题；将工序热水温度提高到65oC，减少慢提拉工序的节拍，提高生产效率；大功率在线热水器，能够保证24h供应符合工艺要求的热水，从而减少传统投入式加热方式的等待时间，提高生产效率和产量。
采用循环热风烘干系统，与传统的甩干方式相比，避免了二次污染、提高了工艺流程中的洁净度；烘干系统中，在大功率加热器的进风口及出风口均安装功效过滤器，提高热风烘干工序中循环热风的洁净度，从而提高工艺洁净度和电池片的转换效率。
在酸洗槽后段设置DI Water喷水头及吹风头，清除机械手挂钩上的酸液，从而减少机械手及挂钩上的酸液。
整体设备采用密封结构，减少酸雾对操作人员的影响。在每个槽体的一边采用左、右推拉式的推拉门，及避免了传统设备采用外拉式窗口对空间带来的浪费及可能造成的意外情况，以及避免了上、下结构用气推拉的窗口压缩气体可能带来的潜在危险。
触摸屏采用悬挂式安装在自动上料台旁，节省操作空间、并便于操作人员操作。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型一个实施例的结构示意图。
具体实施方式
一种全自动太阳能硅片扩散前清洗设备，包括上料台1、微机控制系统、触摸屏，上料台后依次设置溢流预清洗槽（DI Water预清洗溢流槽）2、酸洗槽3、第一溢流清洗槽（DI Water溢流槽）4、第二溢流清洗槽5（DI Water溢流槽）、热慢提拉槽6、循环热风烘干装置7，在循环热风烘干装置后设置下料台8，酸洗槽与在线加热装置9连接，溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置均固定于机架10上，在机架一侧的滑轨上装单臂移载式机械手。单臂移载式机械手呈与硅片花篮两端挡板上缺口挂合的形式。微机控制系统、触摸屏采用悬挂式安装在上料台旁。
在酸洗槽后段设置DI Water喷水头及吹风头，清除机械手挂钩上的酸液，从而减少机械手及挂钩上的酸液。
Claims (3)
1.一种全自动太阳能硅片扩散前清洗设备，包括上料台、微机控制系统、触摸屏，其特征是：上料台后依次设置溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置，在循环热风烘干装置后设置下料台，酸洗槽与在线加热装置连接，溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置均固定于机架上，在机架一侧的滑轨上装单臂移载式机械手。
2.根据权利要求1所述的全自动太阳能硅片扩散前清洗设备，其特征是：单臂移载式机械手呈与硅片花篮两端挡板上缺口挂合的形式。
3.根据权利要求1或2所述的全自动太阳能硅片扩散前清洗设备，其特征是：微机控制系统、触摸屏采用悬挂式安装在上料台旁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011202651901U CN202180065U (zh) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 全自动太阳能硅片扩散前清洗设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011202651901U CN202180065U (zh) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 全自动太阳能硅片扩散前清洗设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202180065U true CN202180065U (zh) | 2012-04-04 |
Family
ID=45887726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011202651901U Expired - Fee Related CN202180065U (zh) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 全自动太阳能硅片扩散前清洗设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202180065U (zh) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102784765A (zh) * | 2012-08-30 | 2012-11-21 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 一种硅料酸洗设备连体槽 |
| CN102836842A (zh) * | 2012-08-08 | 2012-12-26 | 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 | 一种多槽循环硅片清洗机 |
| CN105161400A (zh) * | 2015-08-06 | 2015-12-16 | 浙江德西瑞光电科技有限公司 | 多晶四阻栅新型高效电池片的处理方法及其处理装置 |
| CN105161399A (zh) * | 2015-08-06 | 2015-12-16 | 浙江德西瑞光电科技有限公司 | 高效彩色多晶太阳能电池片的处理方法及其处理装置 |
| CN105935674A (zh) * | 2016-06-16 | 2016-09-14 | 新奥光伏能源有限公司 | 一种清洗装置及采用该装置的清洗方法 |
| CN106024991A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-10-12 | 无锡尚德太阳能电力有限公司 | 硅太阳能电池槽式清洗制绒工艺 |
| CN106684020A (zh) * | 2016-12-15 | 2017-05-17 | 中山市得高行知识产权中心（有限合伙） | 一种太阳能硅片表面清洁处理方法 |
| CN108726521A (zh) * | 2017-04-20 | 2018-11-02 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 原料处理设备及原料处理方法 |
| CN108977896A (zh) * | 2018-09-05 | 2018-12-11 | 宜宾丝丽雅股份有限公司 | 一种用于粘胶纤维喷头盘自动清洗工艺及系统 |
| CN110608589A (zh) * | 2019-10-21 | 2019-12-24 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 红外干燥装置 |
| CN111151504A (zh) * | 2020-01-19 | 2020-05-15 | 洛阳中硅高科技有限公司 | 多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法 |
| CN111446188A (zh) * | 2020-05-12 | 2020-07-24 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种半导体硅片表面清洗机构及其清洗工艺 |
| CN111668096A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-09-15 | 徐文凯 | 第三代半导体的刻蚀方法和装置 |
| CN111696852A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-09-22 | 徐文凯 | 第三代半导体的清洗方法 |
| CN111715606A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-09-29 | 横店集团东磁股份有限公司 | 全自动清洗石墨舟装置及其清洗方法 |
-
2011
- 2011-07-26 CN CN2011202651901U patent/CN202180065U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102836842A (zh) * | 2012-08-08 | 2012-12-26 | 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 | 一种多槽循环硅片清洗机 |
| CN102836842B (zh) * | 2012-08-08 | 2014-07-16 | 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 | 一种多槽循环硅片清洗机 |
| CN102784765A (zh) * | 2012-08-30 | 2012-11-21 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 一种硅料酸洗设备连体槽 |
| CN102784765B (zh) * | 2012-08-30 | 2015-06-10 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 一种硅料酸洗设备连体槽 |
| CN105161400B (zh) * | 2015-08-06 | 2018-07-17 | 浙江德西瑞新能源科技股份有限公司 | 多晶四阻栅电池片的处理方法及其处理装置 |
| CN105161400A (zh) * | 2015-08-06 | 2015-12-16 | 浙江德西瑞光电科技有限公司 | 多晶四阻栅新型高效电池片的处理方法及其处理装置 |
| CN105161399B (zh) * | 2015-08-06 | 2018-07-17 | 浙江德西瑞新能源科技股份有限公司 | 彩色多晶太阳能电池片的处理方法及其处理装置 |
| CN105161399A (zh) * | 2015-08-06 | 2015-12-16 | 浙江德西瑞光电科技有限公司 | 高效彩色多晶太阳能电池片的处理方法及其处理装置 |
| CN105935674A (zh) * | 2016-06-16 | 2016-09-14 | 新奥光伏能源有限公司 | 一种清洗装置及采用该装置的清洗方法 |
| CN105935674B (zh) * | 2016-06-16 | 2018-02-16 | 新奥光伏能源有限公司 | 一种清洗装置及采用该装置的清洗方法 |
| CN106024991A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-10-12 | 无锡尚德太阳能电力有限公司 | 硅太阳能电池槽式清洗制绒工艺 |
| CN106684020B (zh) * | 2016-12-15 | 2019-10-22 | 台州市银点子知识产权服务有限公司 | 一种太阳能硅片表面清洁处理方法 |
| CN106684020A (zh) * | 2016-12-15 | 2017-05-17 | 中山市得高行知识产权中心（有限合伙） | 一种太阳能硅片表面清洁处理方法 |
| CN108726521A (zh) * | 2017-04-20 | 2018-11-02 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 原料处理设备及原料处理方法 |
| CN108977896A (zh) * | 2018-09-05 | 2018-12-11 | 宜宾丝丽雅股份有限公司 | 一种用于粘胶纤维喷头盘自动清洗工艺及系统 |
| CN110608589A (zh) * | 2019-10-21 | 2019-12-24 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 红外干燥装置 |
| CN111151504A (zh) * | 2020-01-19 | 2020-05-15 | 洛阳中硅高科技有限公司 | 多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法 |
| CN111715606A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-09-29 | 横店集团东磁股份有限公司 | 全自动清洗石墨舟装置及其清洗方法 |
| CN111446188A (zh) * | 2020-05-12 | 2020-07-24 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种半导体硅片表面清洗机构及其清洗工艺 |
| CN111668096A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-09-15 | 徐文凯 | 第三代半导体的刻蚀方法和装置 |
| CN111696852A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-09-22 | 徐文凯 | 第三代半导体的清洗方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202180065U (zh) | 全自动太阳能硅片扩散前清洗设备 | |
| CN103372548B (zh) | 一种大型铝制翅片自动清洗装置及方法 | |
| CN202150481U (zh) | 全自动高效太阳能电池片制绒与酸洗连体设备 | |
| CN101719530A (zh) | 多晶硅太阳能电池片制绒设备 | |
| CN202111101U (zh) | 一种具有自动清洗和降温功能的太阳能光伏组件 | |
| CN205393078U (zh) | 一种太阳能电池硅片的清洗烘干装置 | |
| CN203750926U (zh) | 一种大型铝制翅片自动清洗装置 | |
| CN100566795C (zh) | 热定型机的废气处理及热能回收装置 | |
| CN106544718B (zh) | 一种自动化电镀生产线 | |
| CN202849557U (zh) | 电解铝阳极预热装置 | |
| CN211542284U (zh) | 一种太阳能发电用光伏电缆加工装置 | |
| CN205056521U (zh) | 一种快速清洗装置 | |
| CN205495849U (zh) | 一种余热回收式旋风除尘器 | |
| CN202183408U (zh) | 双排二十工位手动制绒与清洗设备 | |
| CN202151623U (zh) | 太阳能电池硅片节水清洗装置 | |
| CN207233766U (zh) | 一种扩散推片装置 | |
| CN211367422U (zh) | 一种光伏玻璃增透强化连续生产装置 | |
| CN201249084Y (zh) | 热定型机的废气处理及热能回收装置 | |
| CN204182162U (zh) | 节能环保型油水分离装置 | |
| CN106684020A (zh) | 一种太阳能硅片表面清洁处理方法 | |
| CN202216499U (zh) | 一种高效节能冷轧钢卷板清洗后自动烘干装置 | |
| CN206652686U (zh) | 一种高纯刷涂专用支撑台 | |
| CN205508852U (zh) | 一种用于制备太阳能电池硅片纳微绒面的载板 | |
| CN205236478U (zh) | 一种低倍聚光太阳能光伏系统清洗装置 | |
| CN205231090U (zh) | 一种太阳能电池减反射膜沉积用石墨舟的冷却房 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120404 Termination date: 20160726 |