CN110608589A - 红外干燥装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种红外干燥装置，包括相互连通的第一腔体和第二腔体，以及位于所述第一腔体内的慢提拉结构和位于所述第二腔体内的红外干燥结构，所述第一腔体和所述第二腔体之间设置有能够使得所述第一腔体和所述第二腔体隔离的活动开关。活动开关的设置，使得经过慢提拉干燥后的待干燥件进入进行红外干燥的第二腔体后，将进行慢提拉干燥的第一腔体和进行红外加热干燥的第二腔体进行隔离，保证待干燥件进行红外干燥时处于干燥环境，避免慢提拉干燥用水蒸发形成的水蒸汽的影响。

Description

红外干燥装置
技术领域
本发明涉及红外干燥技术领域，尤其涉及一种红外干燥装置。
背景技术
晶元表面存在的杂质往往会影响产品的质量及转换效率，因此在晶元的制造过程中，通常需要采用各种化学液和纯水进行多次清洗，之后利用纯水进行最终清洗，以去除晶元表面残留的化学液及杂质，最后再依次经过干燥工艺，得到清洗干净、表面干燥的晶元。
当前对晶元起干燥作用的比较广泛的方式是慢提拉脱水干燥法，慢提拉脱水干燥法则首先使用抬升装置将晶元从热纯水中缓慢抬升进行预脱水，由于水的表面张力作用，晶元表面的水分子不断从上往下拉，从而带走晶元表面大部分的水分及清洗后残余的少许杂质，又因为热水张力小于冷水，采用热水进行慢提拉脱水后的晶元表面几乎不会有残留水滴，之后再通过红外加热干燥。
慢提拉干燥一般采用热水，较常温水蒸发水分更多，所以会有水蒸气吸附到硅片(晶元)表面，会对硅片表面质量有一定影响。相关技术的硬件设置中，慢提拉干燥和红外加热干燥为同一个腔体，仅仅是在同一腔体内的位置不同，这并不能保证经过干燥后的硅片不被水蒸气二次沾污，也会存在当硅片经过慢提拉干燥后、会有水蒸气吸附在硅片上，形成微小水滴并吸附更小的微粒到硅片表面。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供一种红外干燥装置，解决慢提拉干燥和红外干燥同处于一个腔体内，不能保证经过干燥后的待干燥件会被水蒸汽二次污染的问题。
为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种红外干燥装置，包括相互连通的第一腔体和第二腔体，以及位于所述第一腔体内的慢提拉结构和位于所述第二腔体内的红外干燥结构，所述第一腔体和所述第二腔体之间设置有能够使得所述第一腔体和所述第二腔体隔离的活动开关。
可选的，所述第二腔体包括第一部分和第二部分，所述第一部分与所述第一腔体并排设置，所述第二部分位于所述第一腔体和所述第一部分的同一侧，所述活动开关包括：
位于所述第一部分与所述第一腔体之间的隔板，所述隔板的第一端悬浮于所述第二部分之上；
可转动的连接于所述隔板的所述第一端上的活动板，所述活动板的一端可以绕与所述隔板的连接点转动、以封堵所述第一腔体与所述第二部分之间的通道。
可选的，还包括用于承载经过慢提拉后的待干燥件的承载结构，所述承载结构可移动的设置于所述第二部分内。
可选的，所述第二部分的底部设置有导轨，所述承载结构包括可移动的设置于所述导轨上的支架。
可选的，所述红外干燥结构包括设置于所述第二部分的内壁上的多个红外加热管。
可选的，所述第二部分包括通风口设置区域和红外加热管设置区域，所述通风口设置区域靠近所述第一腔体一侧设置，且所述通风口区域的底部的边角处设置有出风口，所述第一部分的顶部设置有入风口。
可选的，所述隔板的所述第一端设置有与所述隔板相垂直的第一挡板，所述活动板位于所述第一挡板远离所述第二部分的一侧。
可选的，所述红外加热管设置区域包括在与所述隔板相平行方向上的投影位于所述第一腔体内的红外加热管设置子区域，所述红外加热管子区域在所述第一挡板上的正投影位于所述第一挡板内。
可选的，所述第一挡板的一端向远离所述第一部分的方向延伸、并向远离所述第二部分的方向弯折形成第二挡板。
可选的，所述第一部分内设置有用于承载经过所述红外干燥结构干燥后的待干燥件的置物架。
本发明的有益效果是：活动开关的设置，使得经过慢提拉干燥后的待干燥件进入进行红外干燥的第二腔体后，将进行慢提拉干燥的第一腔体和进行红外加热干燥的第二腔体进行隔离，保证待干燥件进行红外干燥时处于干燥环境，避免慢提拉干燥用水蒸发形成的水蒸汽的影响。
附图说明
图1表示相关技术中红外干燥装置的结构示意图；
图2表示本发明实施例中的红外干燥结构示意图一；
图3表示本发明实施例中的红外干燥结构示意图二；
图4表示本发明实施例中的红外干燥结构示意图三；
图5表示本发明实施例中的红外干燥结构示意图四；
图6表示本发明实施例中的红外干燥结构示意图五；
图7表示本发明实施例中的红外干燥结构示意图六；
图8表示本发明实施例中的红外干燥结构示意图七；
图9表示本发明实施例中的红外干燥结构示意图八。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
如图1所示，相关技术中，对于待干燥件100的干燥，进行慢提拉干燥的第一区域、进行红外干燥的第二区域、以及进行干燥后的静置区域均位于同一腔体内，且第一区域、第二区域和静置区域是完全连通的，慢提拉干燥一般采用热水，这样容易产生水蒸汽，而水蒸汽是充斥于整个腔体内的，在待干燥件100经过慢提拉干燥后，进入红外加热干燥之前，会容易被水蒸汽二次污染，并且容易形成微小水滴并吸附更小的微粒到硅片表面，这样即使经过红外干燥后，微粒无法去除，且待干燥件100进入静置区域仍然可能会被水蒸汽再次污染。
针对上述技术问题，本发明提供一种红外干燥装置，将进行慢提拉干燥的所述第一腔体1和进行红外干燥的所述第二腔体通过活动开关进行分隔，在待干燥件100未进入所述第二腔体前，所述活动开关处于第一状态、以使得所述第一腔体1和所述第二腔体是连通，便于经过慢提拉干燥后的待干燥件100移动进入所述第二腔体；并在待干燥件100进入所述第二腔体内后，所述活动开关处于第二状态，以使得所述第一腔体1和所述第二腔体完全隔离，避免经过干燥后的待干燥件100被水蒸汽二次污染。
具体的，本实施例中，红外干燥装置包括相互连通的第一腔体1和第二腔体，以及位于所述第一腔体1内的慢提拉结构3和位于所述第二腔体内的红外干燥结构4，所述第一腔体1和所述第二腔体之间设置有能够使得所述第一腔体1和所述第二腔体隔离的活动开关。
所述活动开关的设置，保证了进行红外干燥的所述第二腔体的环境的干燥，且经过红外干燥后的待干燥件100的静置区位于所述第二腔体内，同时也避免了位于静置区的待干燥件100被二次污染。
需要说明的是，本实施例中的红外干燥装置包括一腔室，该腔室划分为所述第一腔体1和所述第二腔体，即所述第一腔体1和所述第二腔体是由一个大的腔体被所述活动开关分隔成两个小的腔体，并不是完全独立的两个个体。
需要说明的是，所述活动开关可以仅仅在需要将待干燥件100移动至所述第二腔体内时，使得所述第一腔体1和所述第二腔体连通，而待干燥件100进行慢提拉干燥、或着待干燥件100进入所述第二腔体后，所述活动开关使得所述第一腔体1和所述第二腔体隔离，保证所述第二腔体的干燥氛围。
所述活动开关的具体结构形式可以有多种，本实施例中，所述第二腔体包括第一部分21和第二部分22，所述第一部分21和所述第一腔体1并排设置，所述第二部分22位于所述第一腔体1和所述第一部分21的同一侧，所述活动开关包括：
位于所述第一部分21与所述第一腔体1之间的隔板20，所述隔板20的第一端悬浮于所述第二部分22之上；
可转动的连接于所述隔板20的所述第一端上的活动板9，所述活动板9的一端可以绕与所述隔板20的连接点转动、以封堵所述第一腔体1与所述第二部分22之间的通道。
如图2-9所示，所述第一腔体1、所述第一部分21和所述第二部分22呈T形结构，所述第一腔体1和所述第一部分21平行设置，所述第一腔体1的顶部和所述第一部分21的顶部在同一平面上，且为同一连接板，所述第二部分22位于所述第一腔体1和所述第一部分21的正下方，且所述第二部分22的第一侧壁和所述隔板20形成所述第二部分22与所述第一腔体1之间的第一通道，所述第二部分22的第二侧壁和所述隔板20形成所述第二部分22与所述第一部分21之间的第二通道，其中，所述第一侧壁和所述第二侧壁相对设置，所述活动板9的一端可绕所述活动板9与所述隔板20的连接点转动、以封堵所述第一通道，使得所述第一腔体1和所述第二腔体隔离。
本实施例中，所述活动板9通过一连接部连接于所述隔板20上，便于所述活动板9的转动。
需要说明的是，所述活动板9的转动方式可以有多种，例如，可以通过设置于所述第一腔体1内的机械手臂实现其转动，当然，所述机械手臂的运动是由控制结构自动控制的，但是并不以此为限。
本实施例中，还包括用于承载经过慢提拉后的待干燥件100的承载结构，所述承载结构可移动的设置于所述第二部分22内。
本实施例中，所述第二部分22的底部设置有导轨，所述承载结构包括可移动的设置于所述导轨上的支架。
本实施例中，还包括用于控制所述承载结构沿着所述导轨运动的运动控制结构，通过设置于所述第一腔体1内的机械手臂，将经过慢提拉干燥后的待干燥件100移动至所述承载结构上，在所述运动控制结构的控制下，所述承载结构沿着所述导轨移动，以进入设置红外干燥结构4的区域进行红外干燥。
所述运动控制结构的具体结构形式可以有多种，例如可以包括电机、传动部以对所述承载结构进行控制，但并不以此为限。
本实施例中，所述红外干燥结构4包括设置于所述第二部分22的内壁上的多个红外加热管。
所述红外加热管的数量可以根据实际需要设定，为了保证较佳的干燥效果，以及提高干燥效率，所述第二部分22中相邻的三个内侧壁上均设有红外加热管。
需要说明的是，所述第二部分22中具有第一侧壁，所述第一侧壁在与所述隔板20相平行的方向上的正投影完全落入所述第一腔体1内，所述第二部分22的所述第一侧壁之外的三个内侧壁上均设置有红外加热管，根据实际需要，所述第一侧壁上可以设置红外加热管，也可以不设置。
本实施例中，所述第二部分22包括通风口设置区域和红外加热管设置区域，所述通风口设置区域靠近所述第一腔体1一侧设置，且所述通风口区域的底部的边角处设置有出风口8，所述第一部分21的顶部(远离所述第二部分22的侧壁)设置有入风口7。
所述第一腔体1的顶部(远离所述第二部分22的侧壁)同样设置有入风口7，图2-9中的虚线表明了气流的流向，本实施例中还设置了控制所述入风口7、出风口8的开闭的开关，通过开关来控制所述入风口7和/或所述出风口8的开闭，来控制气流的流向，从而可以快速的将位于所述第一腔体1内、或所述第二腔体内、或待干燥件100上的水蒸汽吹离，避免水蒸汽对待干燥件100造成二次污染。
由图2-图4可知，由于气流的存在，也避免了水蒸汽进入所述第一腔体1与所述第二部分22之间的通道，并且可以将待干燥件100上的水蒸汽吹离。
需要说明的是，控制所述第一腔体1顶部的入风口7、所述第一部分21顶部的入风口7、以及所述第二部分22的出风口8的开关，可以是同一开关来统一控制，也可以分别设置独立的三个开关来对所述第一腔体1顶部的入风口7、所述第一部分21顶部的入风口7、以及所述第二部分22的出风口8的开闭进行独立控制。并且所述开关可以采用电磁阀开关，可以调节所述第一腔体1顶部的入风口7、和/或所述第一部分21顶部的入风口7、和/或所述第二部分22的出风口8的开口的大小，即调节风的流量，以精确的控制所述第一腔体1、所述第一部分21、所述第二部分22内的气流的流向。
本实施例中，所述隔板20的所述第一端设置有与所述隔板20相垂直的第一挡板10，所述活动板9位于所述第一挡板10远离所述第二部分22的一侧。
所述挡板的设置可以阻挡微小的颗粒物落入所述第二部分22内，所述挡板的长度可以根据实际需要设定。
本实施例中，所述红外加热管设置区域包括在与所述隔板20相平行方向上的投影位于所述第一腔体1内的红外加热管设置子区域，所述红外加热管子区域在与所述隔板相平行的方向上的投影位于所述第一挡板10内。
所述红外干燥结构4的设置并不限于所述第二部分22对应于所述第一部分21的区域，在所述第二部分22对应于所述第一腔体1的区域中的部分区域也设置了红外干燥结构4，以控大红外干燥结构4的设置面积，提高干燥效率，并且在本实施例的一具体的实施方式中，所述红外加热管子区域在与所述隔板相平行的方向上的投影位于所述第一挡板10内，有效的防止有微小的颗粒物落入所述红外干燥区域内，但并不以此为限。
本实施例中，所述第一挡板10的一端向远离所述第一部分21的方向延伸、并向远离所述第二部分22的方向弯折形成第二挡板11。
所述第二挡板11的设置，进一步有效的保证的微小的颗粒物等落入所述第二部分22内，对待干燥件100造成二次污染。
本实施例中，所述第一部分21内设置有用于承载经过所述红外干燥结构4干燥后的待干燥件100的置物架。
由图7和图8可获知，待干燥件100经过慢提拉干燥和红外加热干燥后(所述第一部分21的入风口7和所述第二部分22内的出风口8均处于打开状态)，待干燥件100向靠近所述第一部分21的方向移动预设距离，使得待干燥件100恰好处于气流的路径上，如图8所示，待干燥件100停留预设时间，从而通过气流的流动带走微小颗粒物等，避免对待干燥件100的再次污染，有效的清洁干燥待干燥件100。
需要说明的是，从所述入风口7进入所述第一腔体1或者所述第一部分21内的气体是清洁、干燥的空气。
图2-图9表示出了本实施例红外干燥装置在应用中对待干燥件100(图2-图9示意出的是硅片，但并不以此为限)进行干燥的过程，由图可知，在待干燥件100进入了所述第二部分22后，所述活动板9转动以封堵所述第一腔体1和所述第二部分22之间的通道，从而使得所述第一腔体1和所述第二腔体隔离，从而使得待干燥件100在所述第二腔体内的干燥环境是干燥的，避免了待干燥件100的二次污染，且从始至终，所述第一腔体1的顶部的入风口7、所述第一部分21的顶部的入风口7、与所述第二部分22的出风口8相配合，通过气流的流向的控制，提高了干燥效果。
以上所述为本发明较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明保护范围。

Claims (10)

1.一种红外干燥装置，其特征在于，包括相互连通的第一腔体和第二腔体，以及位于所述第一腔体内的慢提拉结构和位于所述第二腔体内的红外干燥结构，所述第一腔体和所述第二腔体之间设置有能够使得所述第一腔体和所述第二腔体隔离的活动开关。
2.根据权利要求1所述的红外干燥装置，其特征在于，所述第二腔体包括第一部分和第二部分，所述第一部分与所述第一腔体并排设置，所述第二部分位于所述第一腔体和所述第一部分的同一侧，所述活动开关包括：
位于所述第一部分与所述第一腔体之间的隔板，所述隔板的第一端悬浮于所述第二部分之上；
可转动的连接于所述隔板的所述第一端上的活动板，所述活动板的一端可以绕与所述隔板的连接点转动、以封堵所述第一腔体与所述第二部分之间的通道。
3.根据权利要求2所述的红外干燥装置，其特征在于，还包括用于承载经过慢提拉后的待干燥件的承载结构，所述承载结构可移动的设置于所述第二部分内。
4.根据权利要求3所述的红外干燥装置，其特征在于，所述第二部分的底部设置有导轨，所述承载结构包括可移动的设置于所述导轨上的支架。
5.根据权利要求2所述的红外干燥装置，其特征在于，所述红外干燥结构包括设置于所述第二部分的内壁上的多个红外加热管。
6.根据权利要求5所述的红外干燥装置，其特征在于，所述第二部分包括通风口设置区域和红外加热管设置区域，所述通风口设置区域靠近所述第一腔体一侧设置，且所述通风口区域的底部的边角处设置有出风口，所述第一部分的顶部设置有入风口。
7.根据权利要求6所述的红外干燥装置，其特征在于，所述隔板的所述第一端设置有与所述隔板相垂直的第一挡板，所述活动板位于所述第一挡板远离所述第二部分的一侧。
8.根据权利要求7所述的红外干燥装置，其特征在于，所述红外加热管设置区域包括在与所述隔板相平行方向上的投影位于所述第一腔体内的红外加热管设置子区域，所述红外加热管子区域在所述第一挡板上的正投影位于所述第一挡板内。
9.根据权利要求7所述的红外干燥装置，其特征在于，所述第一挡板的一端向远离所述第一部分的方向延伸、并向远离所述第二部分的方向弯折形成第二挡板。
10.根据权利要求2所述的红外干燥装置，其特征在于，所述第一部分内设置有用于承载经过所述红外干燥结构干燥后的待干燥件的置物架。
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