CN202118510U - 液态源的汽化补液装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种液态源的汽化补液装置，包括盛放液态源的补液容器，所述补液容器中设有内部加热棒，所述内部加热棒的加热区靠近补液容器的底部，其中，所述补液容器内设有液位计，所述补液容器的底部开孔设有补液管路，所述补液管路和控制阀门相连。本实用新型提供的液态源的汽化补液装置，通过在补液容器的底部设置补液管路，实现连续补液，此种补液方式可有效避免对容器内蒸汽压和温度造成过大影响，保证系统的稳定性和安全性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种汽化补液装置，尤其涉及一种液态源的汽化补液装置。
背景技术
液态源和特种气体一样，是电子行业的重要原料。液态源常温下蒸汽压很低，以液态存在。但必须转化为气态，才能参与工艺反应。如光纤预制棒的制造工艺需要用到SiCl4、GeCl4、POCl3等液态源。用于芯层和包层的沉积工艺。硅基太阳能电池生产中用到的POCl3，需要经过氮气携带进入扩散炉，生成PN结。薄膜太阳能电池成产用到的DEZn，蒸发后参与反应，生成TCO玻璃。半导体芯片制造用到的TEOS，经过蒸发进入反应腔，生成SiO2绝缘层。芯片制造中用到的TCS，汽化后用于制造硅外延片。
工艺中化学品输送需要使用的输送设备是整个工业系统的关键，而汽化装置又是整个输送设备的核心部分。对于光纤行业，汽化装置将直接影响到预制棒的光学性能，决定了整个系统能否生产出合格预制棒。
传统汽化装置一般分为两种，一种不使用补液装置，通常在用尽汽化容器中的液体时更换新的汽化容器，以保证正常需求。这种方法属于间歇式的供应。在容器更换期间严重影响系统的正常运行，使工艺稳定性下降，同时大多数液态源具有强烈的毒性、腐蚀性，更换容器中很容易使系统出现泄漏，为环境、人身保护造成隐患；另一种属于连续式输送，即靠近容器底部、在汽化容器侧面开孔，插入补液管。这种方式虽然可以实现连续供应，但补入液体对容器内蒸汽压和温度分布影响较大，同样影响工艺的稳定性。由上可知，传统汽化装置的补液方式无法保证系统的稳定性和安全性，因此，有必要对现有的液态源的汽化补液装置进行改进。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种液态源的汽化补液装置，实现连续补液，此种补液方式可有效避免对容器内蒸汽压和温度造成过大影响，保证系统的稳定性和安全性。
本实用新型为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种液态源的汽化补液装置，包括盛放液态源的补液容器，所述补液容器中设有内部加热棒，所述内部加热棒的加热区靠近补液容器的底部，其中，所述补液容器内设有液位计，所述补液容器的底部开孔设有补液管路，所述补液管路和控制阀门相连。
上述的液态源的汽化补液装置，其中，所述液位计为浮球液位计。
上述的液态源的汽化补液装置，其中，所述液态源为液化气体SiCl4、GeCl4、POCl3、DEZn、TEOS或TCS。
上述的液态源的汽化补液装置，其中，所述补液管路所用部件为经过电解抛光的SS316L不锈钢材料。
本实用新型对比现有技术有如下的有益效果：本实用新型提供的液态源的汽化补液装置，通过在补液容器的底部设置补液管路，实现连续补液，此种补液方式可有效避免对容器内蒸汽压和温度造成过大影响，保证系统的稳定性和安全性。
附图说明
图1为本实用新型液态源的汽化补液装置结构示意图。
图中：
1 补液容器 2 液位计 3 补液管路
4 内部加热棒 5 控制阀门
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的描述。
图1为本实用新型液态源的汽化补液装置结构示意图。
请参见图1，本实用新型提供的液态源的汽化补液装置包括盛放液态源的补液容器1，所述补液容器1中设有内部加热棒4，所述内部加热棒4的有效加热区靠近补液容器1的底部，其中，所述补液容器1内设有液位计2，所述补液容器1的底部开孔设有补液管路3，所述补液管路3和控制阀门5相连。
本实用新型提供的液态源的汽化补液装置，主要用于高纯（一般纯度大于99.999%）SiCl4、GeCl4、POCl3、DEZn、TEOS、TCS等液态源在蒸发或鼓泡时完成补液过程。装置由汽化容器底部补液，具体可由补液容器1底面中心插入插管，液位计2可以选用浮球液位计指示液位，当容器内液位低于补液下线时，控制阀门5打开，开始通过补液管路3由容器底部向装置内补液，当浮球到达补液上线时，补液停止。通常情况下，汽化装置内的液体通过蒸发的方式达到饱和蒸汽压，以气态方式输出，装置配置内部加热棒4，内部加热棒4的有效加热区靠近容器底部。料液由容器底部中心进入，使得冷的液体进入装置时，对液面上已经汽化的蒸汽压造成的影响降至最小。同时，液体进入可以尽快接触到内部加热棒4的有效加热区，可较快的加热刚进入容器的冷液体，并使液体均匀受热，内部加热棒4表面局部温度不至于过高。SiCl4在加热到一定温度时，极易与原料中的微量H2O剧烈反应，生成SiO2颗粒，并附着在内部加热棒4表面，使加热效率明显下降，系统产生颗粒，而由底部进料可有效地避免此种现象产生。除此之外，补液装置还可方便的从容器底部排出液相杂质，不易残留，确保高纯介质纯度。补液管路3所用部件均采用SS316L不锈钢材料，经过电解抛光，适用于高纯介质。
综上所述，本实用新型提供的液态源的汽化补液装置，整套液态源的汽化补液装置不仅实现连续的补液功能，同时使补液过程对工艺稳定性的影响降至最低，同时保证汽化容器底部的残液完全排出，延长装置使用寿命。
虽然本实用新型已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本实用新型，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本实用新型的保护范围当以权利要求书所界定的为准。
Claims (4)
1.一种液态源的汽化补液装置，包括盛放液态源的补液容器（1），所述补液容器（1）中设有内部加热棒（4），所述内部加热棒（4）的加热区靠近补液容器（1）的底部，其特征在于，所述补液容器（1）内设有液位计（2），所述补液容器（1）的底部开孔设有补液管路（3），所述补液管路（3）和控制阀门（5）相连。
2.如权利要求1所述的液态源的汽化补液装置，其特征在于，所述液位计（2）为浮球液位计。
3.如权利要求1或2所述的液态源的汽化补液装置，其特征在于，所述液态源为液化气体SiCl4、GeCl4、POCl3、DEZn、TEOS或TCS。
4.如权利要求1所述的液态源的汽化补液装置，其特征在于，所述补液管路（3）所用部件为经过电解抛光的SS316L不锈钢材料。
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2011
- 2011-05-19 CN CN 201120160976 patent/CN202118510U/zh not_active Expired - Fee Related
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