CN206828385U - 一种用于光纤预制棒外部沉积的omcts蒸发装置 - Google Patents

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张华明
王瑞春
顾立新
张庆龙
蔡涛
甘霖
周歆
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Abstract

本实用新型涉及一种用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,其特征在于包括有保温筒,保温筒内腔安设有加热元件并充装导热液,在保温筒内腔还安设有密闭的蒸发罐,所述蒸发罐的下端通过输入管路与OMCTS供液源相连通,所述蒸发罐的上端通过输出管路与饱和蒸汽输出端相连通。本实用新型的有益效果在于:1、设置蒸发罐用油浸式加热可使OMCTS液体稳定的气化为饱和蒸汽,在蒸发罐内形成体积式蒸发,使得饱和蒸汽的温度和压力波动小,稳定性高;2、设置热敏电偶和压力传感器,可以动态的检测加热温度和饱和蒸汽压力,使饱和蒸汽的温度和压力得到更好的控制,稳定性得到进一步的提高;3、本实用新型还具有输出一致性和重复性好的特点,使预制棒沉积加工的精度得到提高。

Description

一种用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置
技术领域
本实用新型涉及一种用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS(八甲基环四硅氧烷)蒸发装置,属于光纤预制棒沉积加工设备技术领域。
背景技术
光纤预制棒是光纤制造环节中最为重要的一环,现有的光纤预制棒工艺中,外部沉积的管外法由于沉积速率高,对原材料要求低,可以用作制作大尺寸预制棒一直备受追捧。最近一些年,由于八甲基环四硅氧烷的转化效率高、节约能源,所以特别受推崇。利用八甲基环四硅氧烷工艺的管外法制备光纤用的母材疏松体利用的是高温裂解原理,高纯度的八甲基环四硅氧烷在饱和蒸汽压下以一定温度的气态形式在一定配比下被送入喷灯中,喷灯中同时通入一定比例的氢氧,燃烧反应后高温裂解成直径很小的二氧化硅粉尘,由于热涌作用最后沉积在旋转的石英玻璃靶棒表面,喷灯不断往复运动以使粉尘不断沉积,由此在轴向上形成一个多孔粉尘疏松体,再经过后续烧结等工艺后融缩成透明的光纤预制棒。在管外法沉积光纤预制棒的过程中需要持续提供一定压力和温度的高纯八甲基环四硅氧烷饱和蒸汽,该饱和蒸汽的提高是通过OMCTS蒸发器来完成的。现有的OMCTS蒸发器主要采用闪蒸的模式,就是将液态的四氯化硅和四氯化锗液滴在高热量的金属管或者金属板上快速气化来提供蒸汽。该蒸发器虽结构简单,气化快,但汽化的温度和压力波动较大,不易控制,加工的一致性和重复性较差,因而影响预制棒沉积加工的精度。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术存在的不足提供一种用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,它不仅气化效率高,而且气化的温度和压力可控,输出的均匀性和稳定性好。
本实用新型为解决上述提出的问题所采用的技术方案为:包括有保温筒,保温筒内腔安设有加热元件并充装导热液,在保温筒内腔还安设有密闭的蒸发罐,所述蒸发罐的下端通过输入管路与OMCTS供液源相连通,所述蒸发罐的上端通过输出管路与饱和蒸汽输出端相连通。
按上述方案,所述的输入管路伸出保温筒通过截止阀和液体流量计与OMCTS供液源相连通。
按上述方案,所述的输入管路伸出保温筒通过另一路截止阀和液体流量计与载气(氮气或者氧气)气源相连通。
按上述方案,所述的保温筒内安设有热敏电偶,所述的蒸发罐内安设压力传感器。
按上述方案,所述的输出管路伸出保温筒通过截止阀与饱和气体输出端相连通。
按上述方案,所述的伸出保温筒的输出管路外设置有加温元件,加温元件外包覆保温层。
按上述方案,所述的导热液为导热硅油。
按上述方案,所述的截止阀为气动隔膜阀。
按上述方案,所述的加热元件为电加热管,电加热管均匀分布于蒸发罐周围,热敏电偶布置于电加热管和蒸发罐之间,硅油加热温度为180℃~250℃。
按上述方案,所述的蒸发罐内饱和蒸汽压力控制在绝对压力0.5bar~3bar之间,所述的蒸发罐由导热金属铜或铝制成。
本实用新型的工作过程为:输入的液态OMCTS经过液体流量计之后,通过气动隔膜阀2以及与气动隔膜阀3控制的载气(氮气或者氧气)混合进入蒸发罐,蒸发罐内的液体在高温下蒸发形成高温饱和蒸汽,高温饱和蒸汽通过输出管道和气动隔膜阀10控制送往喷灯进行沉积,高温蒸汽输出管道需要由加热单元进行加热和保温。控制过程主要是根据需要的蒸发量,通过控制加热硅油温度和饱和蒸汽压力来实现高精度和高稳定度的输出。
本实用新型的有益效果在于:1、设置蒸发罐用油浸式加热可使OMCTS液体稳定的气化为饱和蒸汽,在蒸发罐内形成体积式蒸发,使得饱和蒸汽的温度和压力波动小,稳定性高;2、设置热敏电偶和压力传感器,可以动态的检测加热温度和饱和蒸汽压力,使饱和蒸汽的温度和压力得到更好的控制,稳定性得到进一步的提高;3、本实用新型还具有输出一致性和重复性好的特点,使预制棒沉积加工的精度得到提高。
附图说明
图1为本实用新型一个实施例的剖视结构图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
包括有箱型的保温筒5,在保温筒内腔安设有密闭的蒸发罐7,所述的蒸发罐由导热金属铜或铝制成,在保温筒内腔充装导热液6,所述的导热液为导热硅油;在保温筒内腔还安设有加热元件9,所述的加热元件为电加热管,电加热管均匀分布于蒸发罐周围。在电加热管和蒸发罐之间安设有热敏电偶10,用于硅油温度的检测,硅油加热温度控制为200℃~220℃之间。蒸发罐内安设压力传感器13,用于检测蒸发罐内的饱和蒸汽8的压力,所述的蒸发罐内饱和蒸汽压力控制在绝对压力0.5bar~3bar之间。所述蒸发罐的下端连接输入管路,输入管路伸出保温筒通过截止阀2和液体流量计1与OMCTS供液源相连通,同时伸出保温筒的输入管路还通过另一路截止阀4和液体流量计与载气(氮气或者氧气)流量计3及气源相连通。液体流量计范围:10g/min到100g/min,载气流量计范围:0到30L/min。所述的截止阀为气动隔膜阀;所述蒸发罐的上端连接输出管路,所述的输出管路伸出保温筒通过截止阀11与饱和蒸汽输出端相连通,饱和蒸汽输出端与喷灯相连通。输出管路外设置有加温元件12,加温元件外包覆保温层,在需要时可对输出的饱和蒸汽进行加温调节。

Claims (10)

1.一种用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,其特征在于包括有保温筒,保温筒内腔安设有加热元件并充装导热液,在保温筒内腔还安设有密闭的蒸发罐,所述蒸发罐的下端通过输入管路与OMCTS供液源相连通,所述蒸发罐的上端通过输出管路与饱和蒸汽输出端相连通。
2.按权利要求1所述的用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,其特征在于所述的输入管路伸出保温筒通过截止阀和液体流量计与OMCTS供液源相连通。
3.按权利要求2所述的用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,其特征在于所述的输入管路伸出保温筒通过另一路截止阀和液体流量计与载气气源相连通。
4.按权利要求1或3所述的用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,其特征在于所述的保温筒内安设有热敏电偶,所述的蒸发罐内安设压力传感器。
5.按权利要求1所述的用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,其特征在于所述的输出管路伸出保温筒通过截止阀与饱和气体输出端相连通。
6.按权利要求5所述的用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,其特征在于所述的伸出保温筒的输出管路外设置有加温元件,加温元件外包覆保温层。
7.按权利要求1或3所述的用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,其特征在于所述的导热液为导热硅油。
8.按权利要求2或3或5所述的用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,其特征在于所述的截止阀为气动隔膜阀。
9.按权利要求4所述的用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,其特征在于所述的加热元件为电加热管,电加热管均匀分布于蒸发罐周围,热敏电偶布置于电加热管和蒸发罐之间,硅油加热温度为180℃~250℃。
10.按权利要求4所述的用于光纤预制棒外部沉积的OMCTS蒸发装置,其特征在于所述的蒸发罐内饱和蒸汽压力控制在绝对压力0.5bar~3bar之间,所述的蒸发罐由导热金属铜或铝制成。
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EP3992159A1 (en) * 2020-11-02 2022-05-04 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Manufacturing method and manufacturing apparatus of porous glass base material

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