CN202099065U - 三氯氢硅汽化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及到多晶硅生产装置，具体地说涉及到一种三氯氢硅的汽化装置，属于多晶硅生产技术领域。本实用新型的三氯氢硅汽化装置，包括蒸发器、氢气输送管、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、混合器，蒸发器的下端设有三氯氢硅液体入口、上端设置有三氯氢硅气体出口；三氯氢硅液体入口与三氯氢硅液体输送管相连通；三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上均设置有计量器；混合器分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。利用本实用新型的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化，可以得到配比稳定、混合均匀的混合气；原料的混合更均匀，有利于还原炉的还原反应中硅棒的均匀生长，生产出的晶粒外观质量好。

Description

三氯氢硅汽化装置

技术领域

本实用新型涉及到多晶硅生产装置，具体地说涉及到一种三氯氢硅的汽化装置，属于多晶硅生产技术领域。

背景技术

多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料，随着信息技术和太阳能产业的飞速发展，全球对多晶硅的需求增长迅猛，市场供不应求。

多晶硅（p-Si）是单质硅的一种形态，是由许多硅原子及许多小的晶粒组合而成的硅晶体，按纯度分类可以分为冶金级多晶硅、太阳能级和电子级多晶硅。其中太阳级能多晶硅硅产品纯度在99.99～99.9999%（4到6个9），电子级多晶硅产品纯度达99.9999%以上，超高纯达到99.9999999%～99.999999999%（9到11个9）。太阳能级和电子级多晶硅可以由冶金级多晶硅进行制备，通常方法为将固态的冶金级硅转化为在允许的温度范围内存在的某种液态化合物，例如将冶金级硅转化为氯硅烷，然后对其用高效精馏的方法进行深度提纯以除去其中的杂质，随后用氢等还原剂将纯化的氯硅烷还原为多晶硅。

目前，国际上多晶硅生产技术70%以上使用的是改良西门子法。改良西门子法生产多晶硅包括氯化氢和硅粉合成三氯氢硅，三氯氢硅经过精馏提纯得到高纯三氯氢硅，高纯三氯氢硅和高纯氢（高纯三氯氢硅指纯度达到99.99%以上的三氯氢硅；高纯氢指纯度达到99.9999%以上的氢气）按照一定的配比混合在一起构成原料混合气体，通入还原炉反应器中，在加热电极上的硅芯表面被加热至1100℃左右，三氯氢硅和氢气发生还原反应，生成多晶硅并不断沉积在硅芯上，使该硅芯的直径逐渐变粗而形成多晶硅棒。

多晶硅生产工艺流程复杂，有很多关键控制参数，任何参数的微小变化均会对产品质量有着巨大的影响，三氯氢硅的汽化工艺是其中的关键因素之一。三氯氢硅汽化是指高纯三氯氢硅和氢气在进入还原炉前按一定比例将气相的氯硅烷和氢气混合的过程。

在三氯氢硅汽化工艺中，氢气与三氯氢硅的配比需要稳定地控制在一定的范围内：氢气配比不足不利于抑制其他副反应，会降低硅的实收率；氢气配比过大，氢气得不到充分利用，造成浪费，同时也使三氯氢硅浓度下降，减少三氯氢硅与硅棒表面的碰撞几率，降低硅的沉积速度，生产能力下降。因此，多晶硅生产过程中必须对氢气和三氯氢硅的配比进行严格的控制。

在传统的多晶硅生产工艺中，三氯氢硅汽化是在鼓泡器和分离器中进行的，其混合过程为：在鼓泡器中存有一定液位的三氯氢硅，向鼓泡器中通入氢气，使氢气对三氯氢硅进行鼓泡并汽化混合，通过分离器将气体中的液态三氯氢硅分离掉，然后再由出口管道将汽化并混合好的气相混合物送入还原炉中。在三氯氢硅汽化的过程中，通过控制鼓泡器内的三氯氢硅的温度及鼓泡器内的压力来控制气相混合物中氢气与三氯氢硅的比例，通过控制气相混合物的流量来控制还原炉的进料量。

传统的三氯氢硅汽化工艺中，采用氢气对三氯氢硅进行鼓泡并汽化混合，三氯氢硅汽化不完全；通过控制鼓泡器内的三氯氢硅的温度及鼓泡器内的压力来控制气相混合物中氢气与三氯氢硅的比例，通过控制气相混合物的流量来控制还原炉的进料量，氢气与氯硅烷的比例控制存在较大误差，生产原料不能得到充分利用，多晶硅棒生长速度慢、多晶硅的实收率低。

中国专利申请200910310611.5公开了一种氯硅烷汽化混合工艺及装置，该专利文献公开的氯硅烷混合装置包括换热器，氯硅烷输送管、氢气输送管与该换热器的管程/壳程连通，氯硅烷输送管、氢气输送管上均各设置有流量计和流量调节阀，相应的，该换热器的管程/壳程与热供系统连通。采用该氯硅烷混合装置，气态的氢气及液态的氯硅烷可以通过流量计和调节阀来控制器流量，可以较精确地控制进入汽化器前的氯硅烷和氢气的比例。但是，采用该混合装置对氯硅烷汽化，由于氯硅烷的汽化过程不可控，当换热器的温度和压力发生改变时，氯硅烷液面会随之发生波动，氯硅烷汽化量也相应发生变化，因而实际进入还原炉的氯硅烷气体与氢气的比例控制仍在存在误差。另外，该装置中，氯硅烷液体与氢气均从换热器的上部进入，即氯硅烷液体喷淋氢气，氯硅烷中的少量金属杂质化合物会随着氢气一起进入还原炉，影响产品质量；同时，氯硅烷的汽化并不是完全稳态的，造成氯硅烷的汽化量波动，使得配比波动，另外，氢气快速在管程流动，形成气体束，使得氢气和三氯氢硅气体混合不均匀。上述缺陷造成了原料混合气配比波动、混合不均，最终影响还原炉炉内反应。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有三氯氢硅汽化技术中所存在的三氯氢硅与氢气的比例控制存在误差的不足，提供一种改进的三氯氢硅汽化装置。利用本实用新型的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化，可以精确控制三氯氢硅与氢气的比例。

为了实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：

一种三氯氢硅汽化装置，包括蒸发器、氢气输送管、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、外循环水进水管以及外循环水回水管，该三氯氢硅汽化装置还包括混合器，蒸发器的下端设有三氯氢硅液体入口、上端设置有三氯氢硅气体出口；三氯氢硅液体入口与三氯氢硅液体输送管相连通；

三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上均设置有计量器；

所述蒸发器包括换热器，换热器的壳程与外循环水进水管以及外循环水回水管相连通；

混合器分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。

利用本实用新型的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化的工艺，主要包括：

（1）、精馏得到的高纯三氯氢硅液体由计量器计量后经三氯氢硅液体输送管、由三氯氢硅液体入口进入蒸发器，由换热器提供热量进行蒸发；

（2）、步骤（1）蒸发得到的三氯氢硅气体由三氯氢硅气体出口出蒸发器，经三氯氢硅气体输送管进入混合器；

氢气由计量器计量后经氢气输送管送入混合器；

三氯氢硅气体与氢气在气体混合器混合，得到混合气；

混合气经混合气输送管输送至还原炉进行还原反应。

采用本实用新型装置对三氯氢硅进行汽化，由于原料的混合是在三氯氢硅汽化后进行的，即采用三氯氢硅气体与氢气进行混合，可以得到配比稳定、混合均匀的混合气；原料的混合更均匀，有利于还原炉的还原反应中硅棒的均匀生长，生产出的晶粒外观质量较好。

上述三氯氢硅汽化装置中，三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上设置的计量器为流量调节阀和质量流量计组成的计量器，也可以采用其他可替代的计量器。

上述三氯氢硅汽化装置中，所述换热器为列管式换热器。

上述三氯氢硅汽化装置中，所述列管式换热器的管程与三氯氢硅液体输送管连通，壳程与与外循环水进水管和外循环水回水管相连通。

上述三氯氢硅汽化装置中，所述列管式换热器由外循环水提供三氯氢硅蒸发所需热能。所述外循环水可以是多晶硅还原炉炉筒冷却水，可有效利用多晶硅还原炉副产的热能。

上述三氯氢硅汽化装置中，所述列管式换热器的管程还设有液位计。便于时时控制液位恒定，使三氯氢硅蒸发量恒定，有利于进一步精确控制混合器中的三氯氢硅气体和氢气的比例。

上述三氯氢硅汽化装置中，所述液位计优选内浮式磁性液位计。所述内浮式液位计是一种双腔液位计，被测介质与磁性面板端的腔体隔离，被测介质腔体装有浮子，随容器内的液位升降而相应的升降，同时浮子将液位的变化线性地传递给磁性面板，并清晰准确地指示出液位的高度。

上述三氯氢硅汽化装置中，与列管式换热器连通的外循环水进水管上设置有外循环水流量调节阀。

上述三氯氢硅汽化装置中，所述外循环水流量调节阀与液位计组成控制回路，蒸发器中的液位由该外循环水流量调节阀与液位计组成的控制回路调节，当液位上升时，说明蒸发器内蒸发量变小，说明外循环水提供的热量不足，此时，控制回路中的调节阀阀门开度会自动加大，增加外循环水流量，这样增大蒸发器内的热量，从而增大蒸发量维持液位恒定。更有利于蒸发器中液位的恒定，可更精确地调控混合器中的三氯氢硅气体和氢气的比例。

上述三氯氢硅汽化装置中，蒸发器的上部还设有分离室，三氯氢硅液体和蒸发得到的三氯氢硅气体在分离室进行分离；可避免液沫夹带，有利于得到配比稳定、混合均匀的混合气。

上述三氯氢硅汽化装置中，分离室优选筛网除沫器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：本实用新型的三氯氢硅汽化装置，包括蒸发器、混合器，混合器分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通，三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上均设置有计量器。利用本实用新型装置对三氯氢硅进行汽化的工艺，可以得到配比稳定、混合均匀的混合气；原料的混合更均匀，有利于还原炉的还原反应中硅棒的均匀生长，生产出的晶粒外观质量较好。本实用新型三氯氢硅汽化工艺中，蒸发器设有液位计，便于时时控制液位恒定，使三氯氢硅蒸发量恒定，有利于精确控制混合器中的三氯氢硅气体和氢气的比例。与蒸发器连通的输送外循环水的管道上可以设置外循环水流量调节阀，外循环水流量调节阀与液位计组成控制回路，更有利于控制蒸发器中液位的恒定。蒸发器的上部还可设置筛网除沫器，可避免液沫夹带，有利于得到配比稳定、混合均匀的混合气。

经生产试验证明，本实用新型的三氯氢硅汽化装置，应用于多晶硅生产中，可以精确控制三氯氢硅气体与氢气的配比。本工艺流程简单，操作方便，能够实现全周期自动控制以及能够很大程度上改善产品质量。

附图说明

图1为本实用新型实施例1的结构示意图。

图2为本实用新型实施例2的结构示意图。

图3为本实用新型实施例3的结构示意图。

图4为本实用新型实施例4的结构示意图。

图中标记：1-氢气质量流量计，2-氢气流量调节阀，3-三氯氢硅质量流量计，4-三氯氢硅流量调节阀，5-混合器，6-外循环水流量调节阀，7-液位计，8-氢气输送管，9-外循环水回水管，10-外循环水进水管，11-三氯氢硅液体输送管，12-蒸发器，13-三氯氢硅液体入口，14-换热器，15-分离室（除沫器），16-三氯氢硅气体出口。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的说明。

本实用新型的实施方式不限于以下实施例，在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出的各种变化均属于本实用新型的保护范围之内。

实施例1

如图1所示，本实施例列举的三氯氢硅汽化装置包括蒸发器12、混合器5、三氯氢硅液体输送管11、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、外循环水进水管10以及外循环水回水管9，蒸发器12包括换热器14，所述换热器为列管式换热器，蒸发器12的底部设置有三氯氢硅液体入口13、上部设置有三氯氢硅气体出口16，三氯氢硅液体入口13与三氯氢硅液体输送管11相连通；列管式换热器14的管程与三氯氢硅液体输送管11连通，壳程与输送外循环水的管道（包括外循环水进水管10、外循环水回水管9）连通。

混合器5分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。

三氯氢硅液体输送管上设有三氯氢硅质量流量计3和三氯氢硅流量调节阀4，输送氢气的管道上设有氢气质量流量计1和氢气流量调节阀2，分别对三氯氢硅液体和氢气进行计量。

利用本实施例列举的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化，包括：

（1）、精馏得到的高纯三氯氢硅液体经三氯氢硅质量流量计3和三氯氢硅流量调节阀4计量，调节流量为20kmol/h，由输送管道经蒸发器12下部的三氯氢硅液体入口13送入蒸发器12的列管式换热器14的管程，蒸发器的压力约0.5MPa，温度约65℃；

换热器14由列管管程的外循环水提供三氯氢硅蒸发所需热能，所述外循环水进水是多晶硅还原炉炉筒冷却水,温度为150℃，循环量为10000kg/h，得到出水温度为142℃，可有效利用多晶硅还原炉热能；

（2）步骤（1）得到的三氯氢硅气体及高纯氢气8分别经管道输送至混合器5；

氢气输送管8中的氢气通过氢气质量流量计1及氢气流量调节阀2控制流量在80kmol/h；

三氯氢硅气体与氢气在混合器进行混合后，经管道输送至还原炉进行还原反应。

本实施例三氯氢硅汽化工艺得到的混合气用于供给多晶硅还原炉进行还原反应。

由于本实施例的三氯氢硅汽化工艺中原料的混合是在三氯氢硅汽化后进行的，即采用三氯氢硅气体与氢气进行混合，可以得到配比稳定、混合均匀的混合气，原料的混合更均匀，混合器中三氯氢硅气体和氢气的体积比可稳定控制在1:4左右，有利于还原炉的还原反应中硅棒的均匀生长；并且三氯氢硅中的少量金属杂质随着汽化过程而得以除去，三氯氢硅气体中杂质含量更少，因而生产出的多晶硅晶粒外观质量较好。

实施例2

如图2所示，本实施例列举的三氯氢硅汽化装置包括蒸发器12、混合器5、三氯氢硅液体输送管11、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、外循环水进水管10以及外循环水回水管9，蒸发器12包括换热器14，所述换热器为列管式换热器，蒸发器12的底部设置有三氯氢硅液体入口13、上部设置有三氯氢硅气体出口16，三氯氢硅液体入口13与三氯氢硅液体输送管11相连通；蒸发器12还设置有液位计7，液位计7为内浮式磁性液位计，列管式换热器的管程与三氯氢硅液体输送管连通，壳程与输送外循环水的管道连通。

混合器5分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。

三氯氢硅液体输送管上设有三氯氢硅质量流量计3和三氯氢硅流量调节阀4，氢气输送管上设有氢气质量流量计1和氢气流量调节阀2，分别对三氯氢硅液体和氢气进行计量。

利用本实施例列举的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化的工艺流程同实施例1，由于本实施例中列管式换热器的管程还连接有液位计，可更精确地控制管程中三氯氢硅液位恒定，使三氯氢硅蒸发量能够保持恒定，有利于精确控制混合器中的三氯氢硅气体和氢气的比例。混合器中三氯氢硅气体和氢气的体积比可稳定控制在1:4.5，有利于还原炉的还原反应中硅棒的均匀生长；并且三氯氢硅中的少量金属杂质随着汽化过程而得以除去，三氯氢硅气体中杂质含量更少，因而生产出的多晶硅晶粒外观质量较好。

实施例3

如图3所示，本实施例列举的三氯氢硅汽化装置包括蒸发器12、混合器5、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、外循环水进水管10以及外循环水回水管9，蒸发器12包括下部的列管式换热器14和上部的除沫器15，蒸发器12的底部设置有三氯氢硅液体入口13、上部设置有三氯氢硅气体出口16，三氯氢硅液体入口13与三氯氢硅液体输送管相连通；蒸发器12还设置有液位计7，液位计7为内浮式磁性液位计，列管式换热器的管程与三氯氢硅液体输送管连通，壳程与输送外循环水的管道连通。

混合器5分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。

三氯氢硅液体输送管11上设有三氯氢硅质量流量计3和三氯氢硅流量调节阀4，氢气输送管8上设有氢气质量流量计1和氢气流量调节阀2，分别对三氯氢硅液体和氢气进行计量。

利用本实施例列举的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化，包括：

（1）、精馏得到的高纯三氯氢硅液体经三氯氢硅质量流量计3和三氯氢硅流量调节阀4计量后由输送管道经蒸发器12下部的三氯氢硅液体入口送入列管式换热器14的管程，蒸发器（列管式换热器）的压力为0.3～0.8MPa，温度为15℃～65℃；

蒸发器12由列管管程的外循环水提供三氯氢硅蒸发所需热能，所述外循环水是多晶硅还原炉炉筒冷却水，可有效利用多晶硅还原炉副产的热能；

蒸发器12的液位（列管式换热器管程中的液位）由液位计7进行调节；

蒸发得到的三氯氢硅气体与三氯氢硅液体在除沫器15进行分离，分离后的三氯氢硅气体由蒸发器上部的三氯氢硅气体出口出蒸发器12。

（2）步骤（1）得到的三氯氢硅气体经管道输送至混合器5，与与经计量后的氢气进行混合后，经管道输送至还原炉进行还原反应。

本实施例中，列管式换热器的上部还设有分离室，三氯氢硅液体和蒸发得到的三氯氢硅气体在分离室进行分离；可避免液沫夹带，更有利于得到配比稳定、混合均匀的混合气。

实施例4

本实施例列举的三氯氢硅汽化装置包括蒸发器12、混合器5、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、外循环水进水管10以及外循环水回水管9，蒸发器12包括列管式换热器，蒸发器的上部还设有除沫器15，除沫器15下方设置有液位计7，蒸发器12的底部设置有三氯氢硅液体入口13、上部设置有三氯氢硅气体出口16，三氯氢硅液体入口13与输送三氯氢硅液体的管道相连通；列管式换热器14的管程与输送三氯氢硅液体的管道连通，壳程与输送外循环水的管道连通；输送外循环水的管道中设有外循环水流量调节阀6，外循环水流量调节阀6与液位计7组成组成控制回路。

混合器5分别通过管道与三氯氢硅气体出口16、输送氢气的管道相连通；三氯氢硅气体与氢气在混合器混合后，经管道输送至还原炉进行还原反应。

三氯氢硅液体输送管11上设有三氯氢硅质量流量计3和三氯氢硅流量调节阀4，氢气输送管8上设有氢气质量流量计1和氢气流量调节阀2，分别对三氯氢硅液体和氢气进行计量。

利用实施例列举的三氯氢硅汽化装置对三氯氢硅进行汽化的工艺步骤同实施例3。其中蒸发器12的液位（列管式换热器管程中的液位）由液位计7和外循环水调节阀共同进行调节。

Claims (10)

1.一种三氯氢硅汽化装置，包括蒸发器、氢气输送管、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管、混合气输送管、外循环水进水管以及外循环水回水管，该三氯氢硅汽化装置还包括混合器，蒸发器的下端设有三氯氢硅液体入口、上端设置有三氯氢硅气体出口；三氯氢硅液体入口与三氯氢硅液体输送管相连通；

三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上均设置有计量器；

所述蒸发器包括换热器，换热器的壳程与外循环水进水管以及外循环水回水管相连通；

混合器分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上设置的计量器为流量调节阀和质量流量计组成的计量器。

3.根据权利要求1所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：所述换热器为列管式换热器。

4.根据权利要求3所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：所述列管式换热器的管程与三氯氢硅液体输送管连通，壳程与输送外循环水的管道连通。

5.根据权利要求3所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：所述列管式换热器的管程还设有液位计。

6.根据权利要求5所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：所述液位计为内浮式磁性液位计。

7.根据权利要求5所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：与列管式换热器连通的外循环水的管道上设置有外循环水流量调节阀。

8.根据权利要求7所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：所述外循环水流量调节阀与液位计组成控制回路。

9.根据权利要求3所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：上述三氯氢硅汽化装置中，蒸发器的上部还设有分离室。

10.根据权利要求9所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：分离室为筛网除沫器。

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