CN202090047U - 含过滤结构的电阻蒸发镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，包括镀膜机的机体、以及与机体连接的管道，管道与机体相接的开口处设有过滤件，过滤件在朝向机体的一侧设有格栅，格栅通过固定连接在管道上而将过滤件固定在开口处，管道内设有一体的螺栓，螺栓穿过格栅与螺母连接，将格栅固定连接在管道中，螺母与格栅之间设有垫圈。本实用新型可以有效过滤油气，避免对工件造成污染，从而使产品更加完美，透亮，且过滤器方便拆装、清洗及更换。本实用新型结构简单、制造简便、成本低，实用性强。

Description

含过滤结构的电阻蒸发镀膜机

技术领域

本实用新型涉及一种电阻蒸发镀膜机。

背景技术

在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间(或决定于装料量)，并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜，常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程，以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1～0.2电子伏。蒸发源有三种类型。①电阻加热源：用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状，通以电流，加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质，电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。②高频感应加热源：用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质。③电子束加热源：适用于蒸发温度较高的材料，即用电子束轰击材料使其蒸发。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比，具有较高的沉积速率，可镀制单质和不易热分解的化合物膜，为沉积高纯单晶膜层。

镀膜机是一套联体的管路系统，在抽真空过程中，真空室与前面的机械泵，罗茨泵，还有扩散泵都相通，虽然气体都是从真空室往机械泵方向排出，从而达到高真空效果，但是在抽真空过程中会相继开相关的上下伐门及主伐，在开伐门的过程中并会使前面各个机械及扩散泵中的油气往真空室内返回，这样就会污染到真空室及里面的有效工件，使产品镀黑或者镀花掉。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，可以有效地解决现有镀膜机抽真空过程中会相继开相关的上下伐门及主伐，在开伐门的过程中并会使前面各个机械及扩散泵中的油气往真空室内返回，这样就会污染到真空室及里面的有效工件，使产品镀黑或者镀花的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，包括镀膜机的机体、以及与机体连接的管道，其特征在于：管道与机体相接的开口处设有过滤件，过滤件在朝向机体的一侧设有格栅，格栅通过固定连接在管道上而将过滤件固定在开口处。

进一步，管道内设有一体的螺栓，螺栓穿过格栅与螺母连接，将格栅固定连接在管道中。

进一步，螺母与格栅之间设有垫圈。

进一步，镀膜机包括工件架底座，工件架底座上设有蒸发电极杆支架，蒸发电极杆支架之间连接有蒸发电极杆，蒸发电极杆上设有蒸发夹具，蒸发夹具之间设有钨舟，钨舟上绕有钼丝。

进一步，蒸发电极杆支架上转动连接有上挡板。

优选的，蒸发电极杆支架上连接有挡板主杆，挡板主杆在蒸发电极杆支架上进行自转，挡板主杆上固定连接有挡板支肋骨，挡板支肋骨固定连接上挡板，上挡板通过挡板支肋骨和挡板主杆转动连接在蒸发电极杆支架上。

优选的，挡板主杆上分别设有上支撑杆和下支撑杆，蒸发电极杆支架端部分别设有与上支撑杆和下支撑杆对应的上限位杆和下限位杆，当挡板主杆转动至上支撑杆抵住上限位杆时，上挡板盖于蒸发电极杆支架上方；当挡板主杆转动至下支撑杆抵住下限位杆时，上挡板脱离对蒸发电极杆支架的遮盖。

优选的，蒸发电极杆支架上固定连接有下挡板，下挡板开口朝向上挡板。

本实用新型由于采用了上述技术方案，具有以下有益效果：装上过滤器后可以有效过滤油气，避免对工件造成污染，从而使产品更加完美，透亮，且过滤器方便拆装、清洗及更换。本实用新型结构简单、制造简便、成本低，实用性强。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型含过滤结构的电阻蒸发镀膜机的结构示意图；

图2为过滤结构的示意图；

图3为过滤结构各部件的分解示意图；

图4为图1中的K向结构示意图；

图5为本实用新型钨舟结构的示意图。

具体实施方式

如图1至图5所示，为本实用新型含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，包括镀膜机的机体10、以及与机体10连接的管道11，管道11与机体10相接的开口处15设有过滤件12，过滤件12在朝向机体10的一侧设有格栅13，格栅13通过固定连接在管道11上而将过滤件12固定在开口处15。开口处15内设有一体的螺栓(图中未画出)，螺栓依次穿过过滤件12和格栅13后，通过垫圈16和螺母14，实现过滤件12和格栅13的固定连接。镀膜机包括工件架底座1，工件架底座1上前后设有两个工件架轮骨2，工件架轮骨2之间设有若干工件架挂件支架3，各工件架挂件支架3之间相互平行，保证两个工件架轮骨2的连接以及整体工件架的强度。工件架底座1上设有蒸发电极杆支架4，蒸发电极杆支架4间连接有蒸发电极杆5，蒸发电极杆5上设有蒸发夹具51，蒸发夹具51之间设有钨舟8，钨舟8上绕有钼丝9。蒸发电极杆支架4上转动连接有上挡板6，蒸发电极杆支架4上固定连接有下挡板7，下挡板7开口朝向上挡板6。蒸发电极杆支架4上连接有挡板主杆61，挡板主杆61在蒸发电极杆支架4上进行自转，挡板主杆61可以通过连接在镀膜机外部直接进行操作，挡板主杆61上固定连接有挡板支肋骨62，挡板支肋骨62固定连接上挡板6，上挡板6通过挡板支肋骨62和挡板主杆61转动连接在蒸发电极杆支架4上。挡板主杆61上分别设有上支撑杆63和下支撑杆64，蒸发电极杆支架4端部分别设有与上支撑杆63和下支撑杆64对应的上限位杆65和下限位杆66，当挡板主杆61转动至上支撑杆63抵住上限位杆65时，上挡板6盖于蒸发电极杆支架4上方；当挡板主杆61转动至下支撑杆64抵住下限位杆66时，上挡板6脱离对蒸发电极杆支架4的遮盖。

以上仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的技术特征并不局限于此，任何以本实用新型为基础，为实现基本相同的技术效果，所作出地简单变化、等同替换或者修饰等，皆涵盖于本实用新型的保护范围之中。

Claims (8)

1.含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，包括镀膜机的机体(10)、以及与所述机体(10)连接的管道(11)，其特征在于：所述管道(11)与机体(10)相接的开口处(15)设有过滤件(12)，所述过滤件(12)在朝向机体(10)的一侧设有格栅(13)，所述格栅(13)通过固定连接在管道(11)上而将所述过滤件(12)固定在开口处(15)。

2.根据权利要求1所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述管道(11)内设有一体的螺栓，螺栓穿过所述格栅(13)与螺母(14)连接，将格栅(13)固定连接在管道(11)中。

3.根据权利要求2所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述螺母(14)与格栅(13)之间设有垫圈(16)。

4.根据权利要求1所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述镀膜机包括工件架底座(1)，所述工件架底座(1)上设有蒸发电极杆支架(4)，所述蒸发电极杆支架(4)之间连接有蒸发电极杆(5)，所述蒸发电极杆(5)上设有蒸发夹具(51)，所述蒸发夹具(51)之间设有钨舟(8)，所述钨舟(8)上绕有钼丝(9)。

5.根据权利要求4所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述蒸发电极杆支架(4)上转动连接有上挡板(6)。

6.根据权利要求5所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述蒸发电极杆支架(4)上连接有挡板主杆(61)，所述挡板主杆(61)在蒸发电极杆支架(4)上进行自转，所述挡板主杆(61)上固定连接有挡板支肋骨(62)，所述挡板支肋骨(62)固定连接所述上挡板(6)，所述上挡板(6)通过挡板支肋骨(62)和挡板主杆(61)转动连接在蒸发电极杆支架(4)上。

7.根据权利要求6所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述挡板主杆(61)上分别设有上支撑杆(63)和下支撑杆(64)，所述蒸发电极杆支架(4)端部分别设有与上支撑杆(63)和下支撑杆(64)对应的上限位杆(65)和下限位杆(66)，当所述挡板主杆(61)转动至上支撑杆(63)抵住上限位杆(65)时，所述上挡板(6)盖于蒸发电极杆支架(4)上方；当所述挡板主杆(61)转动至下支撑杆(64)抵住下限位杆(66)时，所述上挡板(6)脱离对蒸发电极杆支架(4)的遮盖。

8.根据权利要求5或6或7所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述蒸发电极杆支架(4)上固定连接有下挡板(7)，所述下挡板(7)开口朝向上挡板(6)。

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