CN102199749A - 电阻蒸发镀膜机的钨舟改进结构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了电阻蒸发镀膜机的钨舟改进结构，包括工件架底座，工件架底座上设有蒸发电极杆支架，蒸发电极杆支架之间连接有蒸发电极杆，蒸发电极杆上设有蒸发夹具，蒸发夹具之间设有钨舟，钨舟上绕有钼丝，蒸发电极杆支架上转动连接有上挡板，蒸发电极杆支架上固定连接有下挡板，下挡板开口朝向上挡板。本发明增加的钼丝可以有效避免银料溅跳出钨舟外，节省原材料，同时保证工件的镀膜质量；同时由于增加了钼丝，可以控制在最短的时间使银料蒸发完，缩短了蒸发时间，延长了钨舟的使用寿命，因此也节省可观的钨舟成本。本发明结构简单、制造简便、成本低，实用性强。

Description

电阻蒸发镀膜机的钨舟改进结构

技术领域

本发明涉及一种电阻蒸发镀膜机。

背景技术

在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间(或决定于装料量)，并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜，常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程，以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1～0.2电子伏。蒸发源有三种类型。①电阻加热源：用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状，通以电流，加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质，电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。②高频感应加热源：用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质。③电子束加热源：适用于蒸发温度较高的材料，即用电子束轰击材料使其蒸发。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比，具有较高的沉积速率，可镀制单质和不易热分解的化合物膜，为沉积高纯单晶膜层。

电阻蒸发镀膜机用钨舟镀银时需要很强的功率才会使银从固体状态转为蒸发状态，但是现有的钨舟容器相对比较浅，四壁低矮，这样在装有银料的钨舟在加热过程中就很容易使银溅跳出钨舟外，这样不仅浪费宝贵的银料及影响有效工件，由于银料跳出后的缺少而使工件变黑变黄和其他无效状态；钨舟不能加大功率，导致银料在钨舟内加热时间过长使有效工件完全烤焦而不能使用。

发明内容

本发明的目的在于提供电阻蒸发镀膜机的钨舟改进结构，可以有效地解决现有装有银料的钨舟在加热过程中就很容易使银贱跳出钨舟外，浪费银料及影响有效工件；以及导致银料在钨舟内加热时间过长使有效工件完全烤焦而不能使用的问题。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

电阻蒸发镀膜机的钨舟改进结构，包括工件架底座，工件架底座上设有蒸发电极杆支架，蒸发电极杆支架之间连接有蒸发电极杆，蒸发电极杆上设有蒸发夹具，蒸发夹具之间设有钨舟，其特征在于：钨舟上绕有钼丝。

进一步，蒸发电极杆支架上转动连接有上挡板。

优选的，蒸发电极杆支架上连接有挡板主杆，挡板主杆在蒸发电极杆支架上进行自转，挡板主杆上固定连接有挡板支肋骨，挡板支肋骨固定连接上挡板，上挡板通过挡板支肋骨和挡板主杆转动连接在蒸发电极杆支架上。

优选的，挡板主杆上分别设有上支撑杆和下支撑杆，蒸发电极杆支架端部分别设有与上支撑杆和下支撑杆对应的上限位杆和下限位杆，当挡板主杆转动至上支撑杆抵住上限位杆时，上挡板盖于蒸发电极杆支架上方；当挡板主杆转动至下支撑杆抵住下限位杆时，上挡板脱离对蒸发电极杆支架的遮盖。

优选的，蒸发电极杆支架上固定连接有下挡板，下挡板开口朝向上挡板。

本发明由于采用了上述技术方案，具有以下有益效果：增加的钼丝可以有效避免银料溅跳出钨舟外，节省原材料，同时保证工件的镀膜质量；同时由于增加了钼丝，可以控制在最短的时间使银料蒸发完，缩短了蒸发时间，延长了钨舟的使用寿命，因此也节省可观的钨舟成本。本发明结构简单、制造简便、成本低，实用性强。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明：

图1为本发明电阻蒸发镀膜机(未画出上挡板和下挡板)的结构示意图；

图2为图1中的K向结构示意图；

图3为本发明钨舟结构的示意图。

具体实施方式

如图1至图3所示，为本发明电阻蒸发镀膜机的钨舟改进结构，包括工件架底座1，工件架底座1上前后设有两个工件架轮骨2，工件架轮骨2之间设有若干工件架挂件支架3，各工件架挂件支架3之间相互平行，保证两个工件架轮骨2的连接以及整体工件架的强度。工件架底座1上设有蒸发电极杆支架4，蒸发电极杆支架4间连接有蒸发电极杆5，蒸发电极杆5上设有蒸发夹具51，蒸发夹具51之间设有钨舟8，钨舟8上绕有钼丝9。蒸发电极杆支架4上转动连接有上挡板6，蒸发电极杆支架4上固定连接有下挡板7，下挡板7开口朝向上挡板6。蒸发电极杆支架4上连接有挡板主杆61，挡板主杆61在蒸发电极杆支架4上进行自转，挡板主杆61可以通过连接在镀膜机外部直接进行操作，挡板主杆61上固定连接有挡板支肋骨62，挡板支肋骨62固定连接上挡板6，上挡板6通过挡板支肋骨62和挡板主杆61转动连接在蒸发电极杆支架4上。挡板主杆61上分别设有上支撑杆63和下支撑杆64，蒸发电极杆支架4端部分别设有与上支撑杆63和下支撑杆64对应的上限位杆65和下限位杆66，当挡板主杆61转动至上支撑杆63抵住上限位杆65时，上挡板6盖于蒸发电极杆支架4上方；当挡板主杆61转动至下支撑杆64抵住下限位杆66时，上挡板6脱离对蒸发电极杆支架4的遮盖。

以上仅为本发明的具体实施例，但本发明的技术特征并不局限于此，任何以本发明为基础，为实现基本相同的技术效果，所作出地简单变化、等同替换或者修饰等，皆涵盖于本发明的保护范围之中。

Claims (5)

1.电阻蒸发镀膜机的钨舟改进结构，包括工件架底座(1)，所述工件架底座(1)上设有蒸发电极杆支架(4)，所述蒸发电极杆支架(4)之间连接有蒸发电极杆(5)，所述蒸发电极杆(5)上设有蒸发夹具(51)，所述蒸发夹具(51)之间设有钨舟(8)，其特征在于：所述钨舟(8)上绕有钼丝(9)。

2.根据权利要求1所述的电阻蒸发镀膜机的钨舟改进结构，其特征在于：所述蒸发电极杆支架(4)上转动连接有上挡板(6)。

3.根据权利要求2所述的电阻蒸发镀膜机的钨舟改进结构，其特征在于：所述蒸发电极杆支架(4)上连接有挡板主杆(61)，所述挡板主杆(61)在蒸发电极杆支架(4)上进行自转，所述挡板主杆(61)上固定连接有挡板支肋骨(62)，所述挡板支肋骨(62)固定连接所述上挡板(6)，所述上挡板(6)通过挡板支肋骨(62)和挡板主杆(61)转动连接在蒸发电极杆支架(4)上。

4.根据权利要求3所述的电阻蒸发镀膜机的钨舟改进结构，其特征在于：所述挡板主杆(61)上分别设有上支撑杆(63)和下支撑杆(64)，所述蒸发电极杆支架(4)端部分别设有与上支撑杆(63)和下支撑杆(64)对应的上限位杆(65)和下限位杆(66)，当所述挡板主杆(61)转动至上支撑杆(63)抵住上限位杆(65)时，所述上挡板(6)盖于蒸发电极杆支架(4)上方；当所述挡板主杆(61)转动至下支撑杆(64)抵住下限位杆(66)时，所述上挡板(6)脱离对蒸发电极杆支架(4)的遮盖。

5.根据权利要求2或3或4所述的电阻蒸发镀膜机的钨舟改进结构，其特征在于：所述蒸发电极杆支架(4)上固定连接有下挡板(7)，所述下挡板(7)开口朝向上挡板(6)。

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