CN202063556U - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基板搬送装置，该装置包括：主体结构；底座，与所述主体结构连接；基板支撑杆，与所述主体结构连接；可相对所述基板支撑杆升降的辅助滚轮部件，设置在所述基板支撑杆上。本实用新型在基板支撑杆(Fork)上设有辅助滚轮(Roller)部件，所述辅助滚轮部件可升降，借助生产线中基板流动传送机构(Conveyor)内设置的一组可升降的转向滚轮(SteeringRoller)，实现基板向生产线的手工投入和取出。节约了无尘室空间、减少了设备投入成本。增加了生产线中可投入和取出基板的节点数量，从而拓展了产品不良分析及工艺条件测试的内容。

Description

基板搬送装置

技术领域

本实用新型涉及平板显示领域，特别是薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD，Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)的彩色滤光片(CF，Color Filter)制造领域中所涉及的基板搬送装置。

背景技术

目前，在平板显示领域，特别是在高世代TFT-LCD的CF制造领域，为了进行产品不良分析、工艺条件测试、不良基板的废弃等作业，需要在生产线(Line)的多个节点进行基板的手工投入和取出。基板搬送装置“基板搬送手推车”(简称S-MGV，Sheet-Manual Guided Vehicles)很适于基板的手工投入和取出，在生产制造过程中起着非常重要的作用。

下面说明一下现有技术中的基板搬送装置，图1为现有技术基板搬送装置S-MGV的剖面结构示意图，所述基板搬送装置S-MGV包括：主体结构(MainBody)1；带有车轮(Wheel)的底座2；第一基板支撑杆(简称第一Fork)3′；固定在第一Fork 3′上的基板支撑垫(Glass Support Pad Holder)4；带有第一内滑轨的Fork连接部5；可控制第一Fork 3′前后移动的第一外滑轨6；可将第一Fork 3′锁定及松开的第一锁定杆(Lock Release Lever)7；第一Fork 3′的第一升降机构(Lifter)8。其中，第一主体结构1连接底座2、Fork连接部5。

图2、图3分别为现有技术基板搬送装置S-MGV的第一Fork俯视图及侧视图。其中，基板支撑垫4为柔性材质，在承受基板重量时被压缩排气，对基板起吸着固定作用。

需要说明的是，上述基板搬送装置S-MGV须借助专门的基板移载单元(简称S-MGV Port)进行基板的投入和取出。所述S-MGV Port为可容下一枚基板的腔室(Chamber)单元，内有基板支撑柱(Pin)若干列。这里，对基板的投入和取出操作过程作进一步的说明：上述基板搬送装置S-MGV通过第一外滑轨6将第一Fork 3′向S-MGV Port内伸入一部分，并将底座2完全推入S-MGVPort的下方；所述基板搬送装置S-MGV上载有基板时将其第一Fork 3′升至高于所述S-MGV Port的基板支撑柱的位置，调节第一升降机构8将第一Fork 3′降至低于基板支撑柱的位置即可完成基板向生产线的投入。与此相反的操作，可完成取出基板。

此外，现有相关技术虽然可在基板流动传送机构(Conveyor)内设置一组可升降的转向滚轮(Steering Roller)，并且可先通过Steering Roller将基板从Conveyor上升起，再手动将基板沿Steering Roller滚动取出。然而，该方案只支持将基板从生产线上取出废弃，却难以实现基板的投入操作。

综上所述，现有技术中的基板搬送装置S-MGV主要存在以下缺陷：

一方面，基板搬送装置S-MGV需要专门的S-MGV Port，这不仅占用无尘室空间，还增加设备投入成本；

另一方面，基板搬送装置S-MGV只能将第一Fork 3′向S-MGV Port内伸入一部分，同时需要将底座2完全推入S-MGV Port的下方，才可投入和取出基板。这样，在下部没有足够空间的设备处，基板搬送装置S-MGV是无法进行基板投入和取出操作的，因而限制了生产线上基板投入和取出节点的数量和分布，从而约束了产品不良分析及工艺条件测试的内容。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种基板搬送装置，能够增加生产线中可投入和取出基板的节点数量。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

本实用新型公开一种基板搬送装置，该装置包括：主体结构；底座，与所述主体结构连接；基板支撑杆，与所述主体结构连接；可相对所述基板支撑杆升降的辅助滚轮部件，设置在所述基板支撑杆上。

其中，所述主体结构内设有第一升降机构，所述第一升降机构与所述基板支撑杆连接。

上述装置中，所述基板支撑杆进一步包括：固设在所述基板支撑杆上的基板支撑垫；与所述主体结构连接的基板支撑杆连接部；将所述基板支撑杆在指定位置进行锁定及解锁的第一锁定杆。

进一步地，所述基板支撑杆还包括控制基板支撑杆前后移动的第一外滑轨；其中，所述基板支撑杆连接部设有与所述第一外滑轨相配合的第一内滑轨。

上述装置中，所述辅助滚轮部件进一步包括：辅助滚轮，固定所述辅助滚轮的辅助滚轮固定杆，连接各所述辅助滚轮固定杆的辅助滚轮固定杆连接部。

更进一步地，在一种优选的实施方案中，所述辅助滚轮部件还包括设置在所述辅助滚轮固定杆连接部上的可锁定及松开辅助滚轮部件的锁定杆。所述辅助滚轮部件与基板支撑杆相连接一侧的所述辅助滚轮固定杆上倾斜设有内滑轨，所述辅助滚轮位于所述辅助滚轮固定杆的另一侧。所述基板支撑杆在其与辅助滚轮部件相连接的一侧还设有与所述内滑轨相配合的倾斜的外滑轨；其中，所述内滑轨与外滑轨相对于所述辅助滚轮固定杆的倾斜角度相等。

更进一步地，在另一种优选的实施方案中，所述基板支撑杆连接部与辅助滚轮固定杆连接部之间设有辅助滚轮部件的升降机构。

上述装置中，所述辅助滚轮固定在同一平面内；所述辅助滚轮的转动方向与所述基板搬送装置所在生产线上配置的基板流动传送机构内设置的一组可升降的转向滚轮顶部的滚轮的转动方向相同，并与所述基板流动传送机构上的基板流动方向垂直。

相对于现有技术，本实用新型存在以下优势：

本实用新型提供的一种基板搬送装置，借助生产线中简易的Steering Roller实现基板的投入和取出，能够增加生产线中可投入和取出基板的节点数量，从而拓展产品不良分析及工艺条件测试的内容。

进一步地，在基板支撑杆一侧设置可升降的辅助滚轮部件。这样，本实用新型只需借助生产线中的Conveyor内设置的一组可升降的Steering Roller，而无须使用S-MGV Port，即可完成基板向生产线的投入和取出操作，这不仅能够节省无尘室空间，还能够节约设备投入成本。

更进一步地，本实用新型只需将基板支撑杆的前端移至贴近Steering Roller的位置，无需将基板搬送装置的底座完全推入生产线内设备的下方，因此增加了生产线内基板投入和取出节点的可设置数量及分布，从而拓展了产品不良分析及工艺条件测试的内容。

附图说明

图1为现有技术基板搬送装置S-MGV的剖面结构示意图；

图2为现有技术基板搬送装置S-MGV的第一Fork俯视示意图；

图3为现有技术基板搬送装置S-MGV的第一Fork侧视示意图；

图4为本实用新型实施例一中辅助滚轮部件的俯视示意图；

图5为本实用新型实施例一中辅助滚轮部件和基板支撑杆的侧视示意图；

图6为本实用新型实施例一中基板支撑杆的俯视示意图；

图7为本实用新型实施例二中基板支撑杆的俯视示意图。

具体实施方式

本实用新型的基本思想在于：在基板搬送装置中设置可升降的辅助滚轮部件，通过调节所述辅助滚轮部件与基板支撑杆3的相对位置，实现基板在所述基板支撑杆与辅助滚轮部件之间的移载，并在无须将基板搬送装置推入生产线内设备下方的情况下实现辅助滚轮部件与Steering Roller之间的基板移载。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

本实用新型的实施例公开的一种基板搬送装置包括以下结构特征：

主体结构1；

底座2，可具有车轮，底座2与主体结构1连接；

基板支撑杆(Fork)3，与所述主体结构连接，基板支撑杆3用于支撑并搬送基板；

可相对基板支撑杆3升降的辅助滚轮部件，设置在基板支撑杆3上；其中，通过调节所述辅助滚轮部件的升降以调节所述辅助滚轮部件与基板支撑杆3的相对高度。这样，可通过调节所述辅助滚轮部件与基板支撑杆3的相对高度，使所述辅助滚轮部件高于或低于所述基板支撑杆3的位置，实现基板在所述辅助滚轮部件与基板支撑杆3之间的移载。

其中，所述辅助滚轮部件进一步包括：辅助滚轮9，固定辅助滚轮9的辅助滚轮固定杆10，连接各辅助滚轮固定杆10的辅助滚轮固定杆连接部12，以及设置在辅助滚轮固定杆连接部12上的可锁定及松开辅助滚轮部件的锁定杆11，锁定杆11能够将辅助滚轮部件锁定在指定位置(如调节之后的位置)，以及在调节辅助滚轮部件之前将其解锁。

上述装置实施例中，主体结构1内设有第一升降机构8，第一升降机构8与基板支撑杆3连接，用于控制基板支撑杆3上下移动，以实现基板的投入和取出。

上述装置实施例中，所述基板支撑杆3进一步包括：固设在所述基板支撑杆3上的基板支撑垫4；与主体结构1连接的基板支撑杆连接部5；可控制基板支撑杆3前后移动的第一外滑轨6；可锁定及松开基板支撑杆3的第一锁定杆7。其中，基板支撑垫4用于吸着固定基板；基板支撑杆连接部5设有与所述第一外滑轨6相配合的第一内滑轨。

需要说明的是，所述辅助滚轮部件可与基板支撑杆3沿着第一外滑轨6共同前后移动，以贴近生产线上的基板流动传送机构等设备；另外，可通过基板支撑杆3的第一升降机构8控制所述辅助滚轮部件和基板支撑杆3共同上下移动，以实现基板搬送装置与生产线之间的基板移载。

在生产过程中，本实施例的基板搬送装置通过借助生产线中基板流动传送机构(Conveyor)内设置的一组可升降的转向滚轮(Steering Roller)，实现基板的投入和取出。其中，所述Steering Roller顶部的滚轮滚动方向垂直于Conveyor上的基板流动方向。

这里，结合具体实施例，对本实用新型的基板搬送装置作进一步的说明：

实施例一

参照图4，其为本实用新型实施例一在基板支撑杆上增加的辅助滚轮部件的俯视图。如图4所示，所述基板搬送装置的辅助滚轮部件进一步包括：辅助滚轮9，辅助滚轮固定杆10，可将辅助滚轮部件锁定及松开的锁定杆11，辅助滚轮固定杆连接部12。

本实施例中，辅助滚轮9为若干列固定在同一平面内的可转动的滚轮，辅助滚轮9的列数可根据实际的生产需求进行布设。本实施例中，辅助滚轮9的转动方向与所述Steering Roller顶部的滚轮的转动方向一致，并与所述Conveyor上的基板流动方向垂直。

参照图5，其为本实用新型实施例一中辅助滚轮部件和基板支撑杆的侧视图。所述辅助滚轮部件与基板支撑杆3相连接一侧的所述辅助滚轮固定杆10上倾斜设有内滑轨(Inner Slide)13；而辅助滚轮9则位于所述辅助滚轮固定杆10的另一侧。

参照图6，分别为本实用新型实施例一中基板支撑杆的俯视图。与现有技术不同的是，本实施例中，在基板支撑杆3与辅助滚轮部件相连接的一侧还设有与Inner Slide 13相配合的倾斜的外滑轨(Outer Slide)14。本实施例中，InnerSlide 13和Outer Slide 14相对于辅助滚轮固定杆10的倾斜角度相等。如此，通过Inner Slide 13在Outer Slide 14中的滑动来调整辅助滚轮9与基板支撑垫4之间的相对高低。

在辅助滚轮9与基板支撑垫4之间进行基板的移载操作时，先松开锁定杆11，将所述辅助滚轮部件往前推(或往后拉)时，Inner Slide 13可在Outer Slide14中滑动，使辅助滚轮部件的高度下降至低于(或上升至高于)基板支撑垫4的位置，调节锁定杆11可将辅助滚轮锁定在所述位置。

需要指出的是，锁定杆11和Outer Slide 14还对辅助滚轮部件起到支撑作用。

至此，以上对本实施例基板搬送装置的结构进行了说明，为便于理解本实施例的装置结构，下面结合基板投入的过程对上述装置作进一步描述：

先将生产线中Conveyor内的Steering Roller升起；借助所述基板搬送装置的基板支撑杆3上的第一外滑轨6将基板支撑杆3的前端伸至紧靠SteeringRoller的位置；在进行基板的投入操作时，先松开锁定杆11，将所述辅助滚轮部件往后拉，使Inner Slide 13在Outer Slide 14中滑动，进而使辅助滚轮部件的高度上升至高于基板支撑垫4的位置，以实现基板支撑垫4与辅助滚轮9之间的基板移载操作；使用基板支撑杆3的第一升降机构8将辅助滚轮部件高度调节至与Steering Roller相同的高度；手动拉动基板同时沿着Steering Roller和辅助滚轮9滚动，完成辅助滚轮9与所述Steering Roller之间的基板移载操作；最后将Steering Roller降至低于Conveyor滚轮的位置，完成Steering Roller将基板向Conveyor的移载，从而实现基板向生产线的手工投入。反之，可完成基板从生产线的手工取出。

实施例二

参照图7，其为本实用新型实施例二中基板支撑杆的俯视图。与实施例一不同的是，本实施例在基板支撑杆3与辅助滚轮固定杆10之间无需设置InnerSlide 13和Outer Slide 14，也无需设锁定杆11；取而代之的是，在基板支撑杆3的Fork连接部5与辅助滚轮固定杆连接部12之间设有辅助滚轮部件的升降机构15，通过调节辅助滚轮部件的升降机构15使辅助滚轮9下降至低于(或提高至高于)基板支撑垫4位置，并使其固定在所述位置。

这样，本实施例可实现辅助滚轮9与基板支撑垫4之间的基板移载操作，进而完成辅助滚轮9与所述Steering Roller之间的基板移载操作，从而在无须将基板搬送装置底座2推入生产线内设备下方的情况下，能够实现基板向生产线的手工投入和取出操作。

由以上各优选实施例可以得出：本实用新型通过在基板支撑杆一侧设置可升降的辅助滚轮部件，并借助生产线中的Conveyor内设置的一组可升降的Steering Roller，这样只需将基板支撑杆的前端移至贴近Steering Roller的位置，无需将基板搬送装置的底座完全推入生产线内设备的下方，即可完成基板向生产线的投入和取出操作。因此，这不仅能够节省无尘室空间，还能够节约设备投入成本。并且，增加了生产线内基板投入和取出节点的可设置数量及分布，从而拓展了产品不良分析及工艺条件测试的内容。

需要指出的是，辅助滚轮部件的升降机构15还对辅助滚轮部件起到支撑作用。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种基板搬送装置，其特征在于，该装置包括：

主体结构；

底座，与所述主体结构连接；

基板支撑杆，与所述主体结构连接；

可相对所述基板支撑杆升降的辅助滚轮部件，设置在所述基板支撑杆上。

2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，所述主体结构内设有第一升降机构，所述第一升降机构与所述基板支撑杆连接。

3.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于，所述基板支撑杆进一步包括：

固设在所述基板支撑杆上的基板支撑垫；

与所述主体结构连接的基板支撑杆连接部；

将所述基板支撑杆在指定位置进行锁定及解锁的第一锁定杆。

4.根据权利要求3所述的基板搬送装置，其特征在于，所述基板支撑杆还包括控制基板支撑杆前后移动的第一外滑轨；

其中，所述基板支撑杆连接部设有与所述第一外滑轨相配合的第一内滑轨。

5.根据权利要求1-4任一项所述的基板搬送装置，其特征在于，所述辅助滚轮部件进一步包括：辅助滚轮，固定所述辅助滚轮的辅助滚轮固定杆，连接各所述辅助滚轮固定杆的辅助滚轮固定杆连接部。

6.根据权利要求5所述的基板搬送装置，其特征在于，所述辅助滚轮部件还包括设置在所述辅助滚轮固定杆连接部上的可锁定及松开辅助滚轮部件的锁定杆。

7.根据权利要求6所述的基板搬送装置，其特征在于，所述辅助滚轮部件与基板支撑杆相连接一侧的所述辅助滚轮固定杆上倾斜设有内滑轨，所述辅助滚轮位于所述辅助滚轮固定杆的另一侧。

8.根据权利要求7所述的基板搬送装置，其特征在于，所述基板支撑杆在其与辅助滚轮部件相连接的一侧还设有与所述内滑轨相配合的倾斜的外滑轨；其中，所述内滑轨与外滑轨相对于所述辅助滚轮固定杆的倾斜角度相等。

9.根据权利要求5所述的基板搬送装置，其特征在于，所述基板支撑杆连接部与辅助滚轮固定杆连接部之间设有辅助滚轮部件的升降机构。

10.根据权利要求5所述的基板搬送装置，其特征在于，所述辅助滚轮固定在同一平面内；所述辅助滚轮的转动方向与所述基板搬送装置所在生产线上配置的基板流动传送机构内设置的一组可升降的转向滚轮顶部的滚轮的转动方向相同，并与所述基板流动传送机构上的基板流动方向垂直。

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