CN202025723U

CN202025723U - 推拉舟装置及加热炉设备

Info

Publication number: CN202025723U
Application number: CN2011200394630U
Authority: CN
Inventors: 王志盾; 徐桂香
Original assignee: QINGDAO GOLDLITON ELECTRONIC EQUIPMENT CO Ltd
Current assignee: QINGDAO GOLDLITON ELECTRONIC EQUIPMENT CO Ltd
Priority date: 2011-02-16
Filing date: 2011-02-16
Publication date: 2011-11-02
Anticipated expiration: 2021-02-16

Abstract

本实用新型提供一种推拉舟装置及加热炉设备。推拉舟装置，包括：基座、底板、滑动座、承载桨、第一电机和第二电机；所述底板滑设在所述基座上，所述滑动座滑设在所述底板上，所述承载桨固设在所述滑动座上，所述第一电机固设在所述基座上并与所述底板传动连接，所述第二电机固设在所述底板上并与所述滑动座传动连接；所述底板的滑动方向与所述滑动座的滑动方向垂直。通过第一电机驱动底板移动并通过第二电机驱动滑动座移动，可以实现承载桨平稳的带动待加工产品运行，通过电机代替气缸驱动承载桨运行，可以有效的减轻运动中的承载桨产生的振动，从而有效的减少了产品的损坏，实现提高了推拉舟装置的运行平稳性。

Description

推拉舟装置及加热炉设备

技术领域

本实用新型涉及加热炉设备，尤其涉及一种推拉舟装置及加热炉设备。

背景技术

目前，加热炉（例如：扩散炉、合金炉、退火炉或等离子体增强化学气相沉积（以下简称：PECVD）设备）是太阳能电池、半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、镀膜、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。其中，加热炉中的推拉舟用于将待加工的产品送到加热炉加热处理并将处理完的产品从加热炉中取出。现有技术中的推拉舟通常采用气缸作为传动部件驱动推拉舟中的承载桨移动，在推拉舟长时间使用后，经常会产生气缸运行不稳定，推拉舟运行过程中振动剧烈易导致产品损坏。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种推拉舟装置及加热炉设备，解决现有技术中推拉舟运行过程中振动剧烈易导致产品损坏的缺陷，实现提高推拉舟的运行平稳性，减轻推拉舟的振动以减少产品的损坏。

本实用新型提供的技术方案是，一种推拉舟装置，包括：基座、底板、滑动座、承载桨、第一电机和第二电机；所述底板滑设在所述基座上，所述滑动座滑设在所述底板上，所述承载桨固设在所述滑动座上，所述第一电机固设在所述基座上并与所述底板传动连接，所述第二电机固设在所述底板上并与所述滑动座传动连接；所述底板的滑动方向与所述滑动座的滑动方向垂直。

本实用新型提供的推拉舟装置，通过第一电机驱动底板移动并通过第二电机驱动滑动座移动，可以实现承载桨平稳的带动待加工产品运行，通过电机代替气缸驱动承载桨运行，可以有效的减轻运动中的承载桨产生的振动，从而有效的减少了产品的损坏，实现提高了推拉舟装置的运行平稳性。

如上所述的推拉舟装置，推拉舟装置还包括第一传动装置和第二传动装置；所述第一传动装置包括第一丝杠和第一丝母，所述第一丝杠与所述第一丝母螺纹连接，所述第一丝杠与所述第一电机传动连接，所述第一丝母固设在所述底板上；所述第二传动装置包括第二丝杠和第二丝母，所述第二丝杠与所述第二丝母螺纹连接，所述第二丝杠与所述第二电机的转轴固定连接，所述第二丝母固设在所述滑动座上。

如上所述的推拉舟装置，推拉舟装置还包括传动轴，所述传动轴上套设有多个第一锥齿轮，所述传动轴与所述第一电机的转轴固定连接；所述推拉舟装置沿所述滑动座滑动方向并排设置有多个所述第一传动装置，所述第一丝杠的端部固设有第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与所述第二锥齿轮啮合。

如上所述的推拉舟装置，所述底板上固设有滑轨，所述滑动座滑设在所述滑轨上。

如上所述的推拉舟装置，推拉舟装置还包括第一位移传感器和第二位移传感器；所述第一位移传感器固设在所述基座上并与所述第一电机电连接，所述第二位移传感器固设在所述底板上并与所述第二电机电连接。

本实用新型提供的技术方案是，一种加热炉设备，包括如上所述的推拉舟装置。

本实用新型提供的加热炉设备，通过第一电机驱动底板移动并通过第二电机驱动滑动座移动，可以实现承载桨平稳的带动待加工产品运行，通过电机代替气缸驱动承载桨运行，可以有效的减轻运动中的承载桨产生的振动，从而有效的减少了产品的损坏，实现提高了推拉舟装置的运行平稳性，最终提高了加热炉设备的加工质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型推拉舟装置实施例的结构示意图；

图2为图1中A区域的局部放大示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型推拉舟装置实施例的结构示意图，图2为图1中A区域的局部放大示意图。如图1和图2所示，本实施例推拉舟装置，包括：基座1、底板2、滑动座3、承载桨4、第一电机5和第二电机6；底板2滑设在基座1上，滑动座3滑设在底板2上，承载桨4固设在滑动座3上，第一电机5固设在基座1上并与底板2传动连接，第二电机6固设在底板2上并与滑动座3传动连接；底板2的滑动方向与滑动座3的滑动方向垂直。

具体而言，本实施例推拉舟装置中的承载桨4固设在滑动座3上，滑设在底板2上的滑动座3在第二电机6的驱动作用下能够在底板2上往复滑动，而滑设在基座1上的底部2在第一电机5的驱动作用下能够在基座1上往复滑动，其中，底板2的滑动方向与滑动座3的滑动方向垂直，从而承载桨4在第一电机5和第二电机6的驱动作用下能够平稳的移动。由于采用电机代替气缸驱动承载桨4运行，可以有效的避免气缸在运行过程中因气压不稳而导致承载桨4运行不平稳的现象，通过第一电机5和第二电机6可以准确快速平稳的带动承载桨4运行。其中，本实施例中的底板2上可以固设有滑轨21，滑动座3滑设在滑轨21上。通过设置滑轨21，可以使滑动座3平稳的在滑轨21的导向作用下运行，从而确保承载桨4能够平稳的运行。

本实施例推拉舟装置，通过第一电机驱动底板移动并通过第二电机驱动滑动座移动，可以实现承载桨平稳的带动待加工产品运行，通过电机代替气缸驱动承载桨运行，可以有效的减轻运动中的承载桨产生的振动，从而有效的减少了产品的损坏，实现提高了推拉舟装置的运行平稳性。

基于上述技术方案，可选的，本实施例推拉舟装置可以还包括第一传动装置（未图示）和第二传动装置（未图示）；第一传动装置包括第一丝杠71和第一丝母72，第一丝杠71与第一丝母72螺纹连接，第一丝杠71与第一电机5传动连接，第一丝母73固设在底板2上；第二传动装置包括第二丝杠81和第二丝母82，第二丝杠81与第二丝母82螺纹连接，第二丝杠81与第二电机6的转轴固定连接，第二丝母82固设在滑动座3上。

具体而言，本实施例中的第一电机5可以通过第一传动装置实现与底板2传动连接，第一电机5与第一丝杠71传动连接，例如：第一丝杠71可以通过联轴器与第一电机5的转轴固定连接，第一电机5将驱动第一丝杠71转动，转动的第一丝杠71将驱动第一丝母72沿着第一丝杠71移动，从而可以通过第一丝母72带动底板2在基座1上滑动。同样的，第二电机6将驱动第二丝杠81转动，使第二丝母82沿着第二丝杠81移动，从而可以通过第二丝母82带动滑动座3在底板2上滑动。

进一步的，为了使底板2能够更加平稳的在基座1上滑动，本实施例推拉舟装置可以还包括传动轴9，传动轴9上套设有多个第一锥齿轮91，传动轴9与第一电机5的转轴固定连接；本实施例推拉舟装置沿滑动座3滑动方向并排设置有多个第一传动装置，第一丝杠71的端部固设有第二锥齿轮711，第一锥齿轮91与第二锥齿轮711啮合。具体的，第一电机5与传动轴9固定连接，第一电机5将驱动传动轴9转动，转动的传动轴9通过第一锥齿轮91和第二锥齿轮711将驱动第一丝杠71转动。由于底板2通过多个第一传动装置中的第一丝母72驱动运行，可以使底板2能够更加平稳的在基座1上滑动。

更进一步的，本实施例推拉舟装置可以还包括第一位移传感器51和第二位移传感器61；第一位移传感器51固设在基座1上并与第一电机5电连接，第二位移传感器6固设在底板2上并与第二电机6电连接。具体的，通过第一位移传感器51可以检测底板2的运行距离，而通过第二位移传感器61可以检测滑动座3的运行距离，从而准确的控制承载桨4移动距离，确保放置在承载桨4中的待加工产品准确的运输到规定位置。

本实用新型还提供一种加热炉设备，包括推拉舟装置。

具体而言，本实施例中的推拉舟装置可以采用本实用新型推拉舟装置实施例的推拉舟装置，其具体结构可以参见本实用新型推拉舟装置实施例以及附图1和图2的记载，在此不再赘述。其中，本实施例加热炉设备的具体表现实体可以为扩散炉、合金炉、退火炉或PECVD设备，本实施例加热炉设备对其表现实体不做限制。

本实施例加热炉设备，通过第一电机驱动底板移动并通过第二电机驱动滑动座移动，可以实现承载桨平稳的带动待加工产品运行，通过电机代替气缸驱动承载桨运行，可以有效的减轻运动中的承载桨产生的振动，从而有效的减少了产品的损坏，实现提高了推拉舟装置的运行平稳性，最终提高了加热炉设备的加工质量。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims

1.一种推拉舟装置，其特征在于，包括：基座、底板、滑动座、承载桨、第一电机和第二电机；所述底板滑设在所述基座上，所述滑动座滑设在所述底板上，所述承载桨固设在所述滑动座上，所述第一电机固设在所述基座上并与所述底板传动连接，所述第二电机固设在所述底板上并与所述滑动座传动连接；所述底板的滑动方向与所述滑动座的滑动方向垂直。

2.根据权利要求1所述的推拉舟装置，其特征在于，还包括第一传动装置和第二传动装置；所述第一传动装置包括第一丝杠和第一丝母，所述第一丝杠与所述第一丝母螺纹连接，所述第一丝杠与所述第一电机传动连接，所述第一丝母固设在所述底板上；所述第二传动装置包括第二丝杠和第二丝母，所述第二丝杠与所述第二丝母螺纹连接，所述第二丝杠与所述第二电机的转轴固定连接，所述第二丝母固设在所述滑动座上。

3.根据权利要求2所述的推拉舟装置，其特征在于，还包括传动轴，所述传动轴上套设有多个第一锥齿轮，所述传动轴与所述第一电机的转轴固定连接；所述推拉舟装置沿所述滑动座滑动方向并排设置有多个所述第一传动装置，所述第一丝杠的端部固设有第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与所述第二锥齿轮啮合。

4.根据权利要求1-3任一所述的推拉舟装置，其特征在于，所述底板上固设有滑轨，所述滑动座滑设在所述滑轨上。

5.根据权利要求1-3任一所述的推拉舟装置，其特征在于，还包括第一位移传感器和第二位移传感器；所述第一位移传感器固设在所述基座上并与所述第一电机电连接，所述第二位移传感器固设在所述底板上并与所述第二电机电连接。

6.一种加热炉设备，其特征在于，包括如权利要求1-5任一所述的推拉舟装置。