CN102386282A - 整体升降式软着陆推拉舟 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种整体升降式软着陆推拉舟,它包括横向机构、升降机构、托架机构;其中横向机构包括电机、同步带轮、同步带、固定板、滑块、滑轨、底板,电机与同步带轮连接,同步带套在同步带轮上,同步带与固定板固定连接,固定板与滑块固定连接,滑块与滑轨配合,滑轨固定在底板上;升降机构包括电机、联轴器、螺旋升降机、滑轨、滑块,电机通过联轴器与螺旋升降机连接,螺旋升降机与横向机构中的底板固定连接,滑轨与滑块配合,滑块与横向机构中的底板固定连接;托架机构与横向机构中的固定板固定连接;其降低了维修频率,解决了更换麻烦的不足,同时减少了推拉舟的占用空间,提高了设备的稳定性。
Description
技术领域
本发明涉及自动送料系统,尤其涉及半导体、光伏产业中PECVD自动送料系统中的软着陆推拉舟。
背景技术
太阳能电池片生产的扩散过程是在炉膛内进行,在高温环境下,通过分子的热运动,让磷(P)、铝(AL)、镓(Ga)、硼(B)等杂质元素进入纯净的硅片内部,形成PN结。在进行扩散之前,需要将被扩散的硅片通过推拉舟放入炉膛内,扩散过程结束后,再从炉体内取出。
目前在半导体及光伏产业中扩散、PECVD自动送料系统中,现有的推拉舟通常使用丝杠传动,底盘不动,只是加持部分局部上下运动,其缺点在于: 1.占用空间大,设备结构不美观;2.由于丝杠上的传动螺母使用频率较高,经常会坏,更换起来非常麻烦,维修频率比较高;3.稳定性差等。
发明内容
为了解决以上技术问题,本发明提供了一种稳定性高、维修频率低、占用空间小的整体升降式软着陆推拉舟。
本发明所述整体升降式软着陆推拉舟,包括横向机构、升降机构、托架机构;其中横向机构包括电机、同步带轮、同步带、固定板、滑块、滑轨、底板,电机与同步带轮连接,同步带套在同步带轮上,同步带与固定板固定连接,固定板与滑块固定连接,滑块与滑轨配合,滑轨固定在底板上;升降机构包括电机、联轴器、螺旋升降机、滑轨、滑块,电机通过联轴器与螺旋升降机连接,螺旋升降机与横向机构中的底板固定连接,滑轨与滑块配合,滑块与横向机构中的底板固定连接;托架机构与横向机构中的固定板固定连接。
工作时,横向机构是推拉舟在水平方向上的传动机构,负责将装满硅片的舟水平送入加热炉体内,或从加热炉体内水平取出舟;横向机构中电机带动同步带轮转动,同时同步带轮带动同步带一起旋转,同步带固定在固定板上,当同步带运动时,带动固定板在滑轨上一起运动。升降机构是推拉舟在竖直方向上的传动机构,负责将装满硅片的舟平稳的落在加热炉体里的石英管内,或将舟竖直向上抬起从而脱离石英管;升降机构中的电机通过联轴器带动螺旋升降机一起运动,螺旋升降机带动着横向机构沿着滑轨整体上下运动。
本发明所述整体升降式软着陆推拉舟前进、后退动作,采用步进电机带动同步带和同步带轮来实现的,降低了维修频率,解决了更换麻烦的不足;其上下运动采用整体升降式运动,减少了推拉舟的占用空间,提高了设备的稳定性。
为达到更好的效果,本发明所述整体升降式软着陆推拉舟还可以采用以下措施:
1、所述升降机构的螺旋升降机为2个,分别与横向机构中底板的两端固定连接,2个螺旋升降机之间由连接杆相连。这样可使横向机构上下运动更加平稳。
2、所述升降机构的滑块内设置有直线轴承。从而使横向机构上下运动时更加平稳。
3、所述托架机构包括2根SiC杆、定位块、支撑杆、固定环、调节螺栓、固定方块、连接板。其中,定位块设置在2个SiC杆之间,2个SiC杆通过固定环与支撑杆固定连接,支撑杆通过固定方块及调节螺栓与连接板固定连接,连接板与横向机构中的固定板固定连接。石墨舟放在SiC杆1,定位块对石墨舟定好位,然后通过调节螺栓对固定方块的位置进行调整,从而使2根SiC杆在同一水平面上。
4、本发明所述整体升降式软着陆推拉舟还包括限位控制机构。当推拉舟前进或后退受到阻力时,电机的电流会变大,设备上的PLC收到信号后便自动切断电机电源,起到保护石墨舟的作用。
附图说明
图1为本发明所述整体升降式软着陆推拉舟结构示意图。
图2为图1中横向机构的结构示意图。
图3为图1中升降机构的结构示意图。
图4为图1中托架机构的结构示意图。
图中编号说明:
1-横向机构;2-升降机构;3-托架机构;4-限位控制机构;5-电机;6-同步带轮;7-同步带;8-固定板;9-滑块;10-滑轨;11-底板;12-联轴器;13-螺旋升降机;14-连接杆;15-SiC杆;16-定位块;17-支撑杆;18-固定环;19-调节螺栓;20-固定方块;21-连接板。
具体实施方式
结合图1至图4对本发明所述整体升降式软着陆推拉舟进行详细说明。
如图1所示,本发明所述整体升降式软着陆推拉舟,包括横向机构1、升降机构2、托架机构3、限位控制机构4。
如图2所示,横向机构包括电机5、同步带轮6、同步带7、固定板8、滑块9、滑轨10、底板11。其中,电机5与同步带轮6连接,同步带7套在同步带轮6上,同步带7与固定板8固定连接,固定板8与滑块9固定连接,滑块9与滑轨10配合,滑轨10固定在底板11上。其动作过程是:电机5带动同步带轮6转动,同时同步带轮6通过转轴带动其上面的同步带轮6转动,从而带动同步带7一起旋转,同步带7固定在固定板8上,当同步带7运动时,带动固定板8在滑轨10上一起向前向后运动。这中传动方式结构简单、传动平稳、结构稳定、同时维修方便。
如图3所示,升降机构包括电机5、联轴器12、2个螺旋升降机13、滑轨10、滑块9、连接杆14。其中,电机5通过联轴器12与螺旋升降机13连接,螺旋升降机13与横向机构中的底板11固定连接,滑轨10与滑块9配合,滑块9与横向机构中的底板11的两端固定连接,2个螺旋升降机13之间由连接杆14相连,其动作过程是:电机5通过联轴器12和连接杆14带动2个螺旋升降机13一起运动,连接杆14的作用就是让螺旋升降机同步转动,2个螺旋升降机带动着横向机构沿着滑轨10整体升降,滑块9内安装了滚珠轴承,从而使横向机构上下运动时平稳、稳定。
如图4所示,托架机构包括2根SiC杆15、定位块16、支撑杆17、固定环18、调节螺栓19、固定方块20、连接板21。其中,定位块16设置在2个SiC15杆之间,2个SiC杆15通过固定环18与支撑杆17固定连接,支撑杆17通过固定方块20及调节螺栓19与连接板21固定连接,连接板21与横向机构中的固定板8固定连接。其动作过程是:将石墨舟放在SiC杆15上,让定位块16将石墨舟定好位,使用SiC杆15主要是因为SiC杆在高温下不变形,然后用固定环18将2根SiC杆固定在支撑杆17上,再通过固定方块20和调节螺栓19将其固定在连接板21上,调节螺栓19主要是调节固定方块的上下位置,从而使2根SiC杆在同一水平面上。
图1中的限位控制机构4,其作用在于当推拉舟前进或后退受到阻力时,电机的电流会变大,设备上的PLC收到信号后便自动切断电机电源,从而达到保护石墨舟的功能。
Claims (5)
1.一种整体升降式软着陆推拉舟,其特征在于它包括横向机构、升降机构、托架机构;其中横向机构包括电机、同步带轮、同步带、固定板、滑块、滑轨、底板,电机与同步带轮连接,同步带套在同步带轮上,同步带与固定板固定连接,固定板与滑块固定连接,滑块与滑轨配合,滑轨固定在底板上;升降机构包括电机、联轴器、螺旋升降机、滑轨、滑块,电机通过联轴器与螺旋升降机连接,螺旋升降机与横向机构中的底板固定连接,滑轨与滑块配合,滑块与横向机构中的底板固定连接;托架机构与横向机构中的固定板固定连接。
2.根据权利要求1所述的整体升降式软着陆推拉舟,其特征在于所述升降机构的螺旋升降机为2个,分别与横向机构中底板的两端固定连接,2个螺旋升降机之间由连接杆相连。
3.根据权利要求2所述的整体升降式软着陆推拉舟,其特征在于所述升降机构的滑块内设置有直线轴承。
4.根据权利要求3所述的整体升降式软着陆推拉舟,其特征在于所述托架机构包括2根SiC杆、定位块、支撑杆、固定环、调节螺栓、固定方块、连接板;其中,定位块设置在2个SiC杆之间,2个SiC杆通过固定环与支撑杆固定连接,支撑杆通过固定方块及调节螺栓与连接板固定连接,连接板与横向机构中的固定板固定连接。
5.根据权利要求1至4任一所述的整体升降式软着陆推拉舟,其特征在于它还包括限位控制机构。
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