CN201729873U - 整体式观察窗机构 - Google Patents

整体式观察窗机构 Download PDF

Info

Publication number
CN201729873U
CN201729873U CN2010202141853U CN201020214185U CN201729873U CN 201729873 U CN201729873 U CN 201729873U CN 2010202141853 U CN2010202141853 U CN 2010202141853U CN 201020214185 U CN201020214185 U CN 201020214185U CN 201729873 U CN201729873 U CN 201729873U
Authority
CN
China
Prior art keywords
observation window
viewing window
type observation
monoblock type
baffle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN2010202141853U
Other languages
English (en)
Inventor
安其
崔文博
董玢越
黄芃
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BEIJING BEIYI INNOVATION VACUUM TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
BEIJING BEIYI INNOVATION VACUUM TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BEIJING BEIYI INNOVATION VACUUM TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical BEIJING BEIYI INNOVATION VACUUM TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN2010202141853U priority Critical patent/CN201729873U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201729873U publication Critical patent/CN201729873U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种整体式观察窗机构，包括观察窗和观察窗挡板，所述观察窗挡板通过挡板轴安装在所述观察窗内部，所述挡板轴穿过所述观察窗上开设的孔与所述观察窗相垂直。本实用新型的整体式观察窗机构占用空间小，真空室所开孔大小相当于观察窗直径；密封点少，整套机构只有观察窗玻璃一处静密封点；不存在动密封点，整个挡板转动部分全部焊接封装在真空侧，利用磁耦合原理，通过旋转磁场驱动挡板转动部分旋转，可以应用于超高真空系统；耐热能力强；无复杂定位零件，对零件的加工精度要求不高，装配简单；不存在密封圈磨损，使用寿命极长，磁铁退磁更换只需要拆除外部的手轮，无需检漏，简单方便。

Description

整体式观察窗机构
技术领域
本实用新型涉及一种光学部件制造设备，特别是涉及一种用于物理气相沉积和化学气相沉积设备中的整体式观察窗机构。
背景技术
在物理气相沉积(Physical Vapour Deposition，PVD)和化学气相沉积(Chemical Vapour Deposition，CVD)设备中，观察窗机构是必不可少的组成部分。观察窗机构一般包括观察窗和观察窗挡板两部分，观察窗挡板是为了防止观察窗玻璃被镀制上薄膜而影响其透光性所加的一块可旋转的遮挡板。需要使用观察窗时打开挡板，不使用时将挡板关上。
观察窗机构有分离式和整体式两种。分离式观察窗机构需要在真空室上开两个孔，一个安装观察窗，一个安装观察窗挡板的传动轴，此种结构开孔多，占用体积大，而且在真空室上有两个密封点(观察窗玻璃和挡板)，真空室设计和加工成本高。传统的整体式观察窗机构(如图1所示)是将观察窗和观察窗挡板整合到一个大法兰上，安装时整体固定在真空室上，虽然便于安装，但是存在以下缺点：1.整体有三个密封点(法兰、观察窗玻璃、挡板)，不利于维持真空环境；2.体积庞大，由于需要让出挡板旋转空间，需要在真空室上开相当于观察窗面积2-3倍的孔；3.传统的动密封式挡板存在密封性能差，耐热能力低，易老化等缺点。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是：提高整体式观察窗机构的结构紧凑性和密封性，提高其耐热能力，延长其寿命，降低整个机构对零部件精度的要求以及装配的复杂度。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种整体式观察窗机构，包括观察窗和观察窗挡板，其特征在于，所述观察窗挡板通过挡板轴安装在所述观察窗内部，所述挡板轴穿过所述观察窗上开设的孔与所述观察窗相垂直。
其中，所述挡板轴外部设有导向套，所述导向套与所述观察窗上开设的孔贴合，所述导向套采用不锈钢材料。
其中，所述导向套内部安装有一十字形截面的纯铁环，所述纯铁环固定在所述挡板轴上。
其中，所述导向套末端由盖板盖合。
其中，所述导向套和所述盖板以焊接的方式连接。
其中，所述导向套外侧安装有手轮。
其中，所述手轮内固定有四块磁铁，所述四块磁铁与所述纯铁环的十字形的四个凸柱相对应，以使手轮内的四块磁铁吸附导向套内的纯铁环。
其中，所述真空室上开设的孔的直径等于所述观察窗的直径。
(三)有益效果
上述技术方案具有如下优点：(1)整体式结构，仅需要在真空室上开一个孔就可以安装；(2)占用空间小，真空室所开孔大小相当于观察窗直径；(3)密封点少，整套观察窗仅有观察窗玻璃一处密封点；(4)不存在动密封点，整个转动部分全部焊接在真空侧，理论上漏率为0(实际上焊缝和不锈钢导向套存在极微小渗漏)，可以应用于超高真空系统；(5)耐热能力强，由于不使用碗型密封圈，耐热能力大大提高；(6)无复杂定位零件，对零件的加工精度要求不高，装配也相对简单；(7)不存在密封圈磨损，使用寿命极长，即使磁铁退磁更换也仅仅需要拆除外部的手轮，无需检漏，简单方便。
附图说明
图1是传统整体式观察窗机构的剖面图；
图2是本实用新型实施例的整体式观察窗机构的侧视图；
图3是本实用新型实施例的整体式观察窗机构的俯视图；
图4是本实用新型实施例的整体式观察窗机构中的磁铁的A-A剖面图。
其中，1：观察窗；2：观察窗挡板；3：挡板手轮；4：挡板动密封装置；5：挡板轴；6：导向套；7：纯铁环；8：手轮；9：磁铁；10：盖板；11：观察窗；12：观察窗挡板；13：真空室；14：孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
本实用新型提供的整体式观察窗机构是一种新型的磁耦合传动机构，图2是该机构的侧视图，图3是该机构的俯视图，图4是该机构中磁铁的A-A剖面图。
在本实施例中，观察窗挡板机构安装在真空室13内。将观察窗挡板12安装在观察窗11内部，挡板轴5与观察窗11相垂直，观察窗挡板12转动时仅占用观察窗11内部空间。观察窗挡板12传动采用磁耦合传动，不使用动密封。在挡板轴5上固定一十字形截面的纯铁环7将此部分装入导向套6内，用盖板10盖住，之后将盖板10和导向套6焊接起来，挡板轴5整体在真空室13内侧。在手轮8内部固定与纯铁环7相应的四块磁铁9，将手轮8安装在导向套6的外侧，手轮8内的磁铁9能够吸住导向套6内的纯铁环7，转动手轮8时内部的磁铁9先后带动纯铁环7和挡板轴5转动以达到传动效果。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种整体式观察窗机构，包括观察窗(11)和观察窗挡板(12)，其特征在于，所述观察窗挡板(12)通过挡板轴(5)安装在所述观察窗(11)内部，所述挡板轴(5)穿过所述观察窗(11)上开设的孔(14)与所述观察窗(11)相垂直。
2.如权利要求1所述的整体式观察窗机构，其特征在于，所述挡板轴(5)外部设有导向套(6)，所述导向套(6)与所述观察窗(11)上开设的孔(14)贴合，所述导向套(6)采用不锈钢材料。
3.如权利要求2所述的整体式观察窗机构，其特征在于，所述导向套(6)内部安装有一十字形截面的纯铁环(7)，所述纯铁环(7)固定在所述挡板轴(5)上。
4.如权利要求3所述的整体式观察窗机构，其特征在于，所述导向套(6)末端由盖板(10)盖合。
5.如权利要求4所述的整体式观察窗机构，其特征在于，所述导向套(6)和所述盖板(10)以焊接的方式连接。
6.如权利要求3所述的整体式观察窗机构，其特征在于，所述导向套(6)外侧安装有手轮(8)。
7.如权利要求6所述的整体式观察窗机构，其特征在于，所述手轮(8)内固定有四块磁铁(9)，所述四块磁铁(9)与所述纯铁环(7)的十字形的四个凸柱相对应，以使手轮(8)内的四块磁铁(9)吸附导向套(6)内的纯铁环(7)。
8.如权利要求1所述的整体式观察窗机构，其特征在于，所述真空室(13)上开设的孔(14)的直径等于所述观察窗(11)的直径。
CN2010202141853U 2010-05-25 2010-05-25 整体式观察窗机构 Expired - Lifetime CN201729873U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010202141853U CN201729873U (zh) 2010-05-25 2010-05-25 整体式观察窗机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010202141853U CN201729873U (zh) 2010-05-25 2010-05-25 整体式观察窗机构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201729873U true CN201729873U (zh) 2011-02-02

Family

ID=43521032

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010202141853U Expired - Lifetime CN201729873U (zh) 2010-05-25 2010-05-25 整体式观察窗机构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201729873U (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102425956A (zh) * 2011-12-07 2012-04-25 北京有色金属研究总院 一种电子束熔炼炉观察窗机构及其保护方法
CN104979231A (zh) * 2014-04-01 2015-10-14 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种反应腔室
CN105702552A (zh) * 2014-12-12 2016-06-22 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 调整机构
CN106735054A (zh) * 2016-12-30 2017-05-31 宁波海天金属成型设备有限公司 一种用于压铸机的防护安全门及其压铸机
CN107058969A (zh) * 2017-01-20 2017-08-18 京东方科技集团股份有限公司 观察窗防污组件及其使用方法、真空镀膜系统
CN111863289A (zh) * 2020-08-19 2020-10-30 核工业西南物理研究院 用于托卡马克装置观察窗的护窗装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102425956A (zh) * 2011-12-07 2012-04-25 北京有色金属研究总院 一种电子束熔炼炉观察窗机构及其保护方法
CN104979231A (zh) * 2014-04-01 2015-10-14 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种反应腔室
CN105702552A (zh) * 2014-12-12 2016-06-22 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 调整机构
CN105702552B (zh) * 2014-12-12 2018-05-04 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 调整机构
CN106735054A (zh) * 2016-12-30 2017-05-31 宁波海天金属成型设备有限公司 一种用于压铸机的防护安全门及其压铸机
CN107058969A (zh) * 2017-01-20 2017-08-18 京东方科技集团股份有限公司 观察窗防污组件及其使用方法、真空镀膜系统
CN107058969B (zh) * 2017-01-20 2019-06-21 京东方科技集团股份有限公司 观察窗防污组件及其使用方法、真空镀膜系统
CN111863289A (zh) * 2020-08-19 2020-10-30 核工业西南物理研究院 用于托卡马克装置观察窗的护窗装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201729873U (zh) 整体式观察窗机构
CN100564580C (zh) 一种用于承载可转动的溅射靶材的扁平端块
CN103090040A (zh) 智能球阀
CN111795157B (zh) 一种防冲刷蝶阀
CN203130081U (zh) 高温原油自动取样系统
CN201162842Y (zh) 全封闭磁力阀
CN201729874U (zh) 一种磁力传动观察窗挡板机构
CN102400887B (zh) 低温泵及过滤器装置
CN115574126A (zh) 一种全密封零泄漏蝶阀
CN212055957U (zh) 三通阀及具有其的蒸汽烹饪设备
CN105114640B (zh) 蝶阀和工程机械
CN102042231B (zh) 无泄漏耐空转离心泵
CN208770879U (zh) 一种真空蒸馏釜用机械密封装置
CN217774428U (zh) 一种除尘器快速卸灰装置
CN208952690U (zh) 一种水冷挡板机构及真空炉
CN202047129U (zh) 新型磁力挡板观察窗
CN209977273U (zh) 一种海水淡化设备用蝶阀
CN110206897A (zh) 一种便于维护的双半轴双向密封的蝶阀
Antipenkov et al. Tritium pumps for ITER roughing system
CN218625672U (zh) 一种手柄卡盘式蝶阀的密封装置
CN208206183U (zh) 带有永磁连轴器的计量装置
CN214999535U (zh) 一种便于定位安装的软密封固定式球阀
CN213422295U (zh) 一种新型带有防护机构的智能水表结构
CN211043148U (zh) 一种化学发光分析仪中样本试剂盘的冷凝水排水密封装置
CN203212639U (zh) 真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20110202

CX01 Expiry of patent term