CN107058969B - 观察窗防污组件及其使用方法、真空镀膜系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种观察窗防污组件及其使用方法、真空镀膜系统，属于制造领域。包括：设置在真空镀膜腔室内的透明挡板，所述透明挡板与所述真空镀膜腔室可拆卸连接，所述透明挡板能够覆盖所述观察窗。本发明通过在真空镀膜腔室内部设置透明挡板，并且该透明挡板与真空镀膜腔室可拆卸连接，保证了真空镀膜腔室的使用效果。本发明用于镀膜过程中。

Description

观察窗防污组件及其使用方法、真空镀膜系统

技术领域

本发明涉及制造领域，特别涉及一种观察窗防污组件及其使用方法、真空镀膜系统。

背景技术

在显示器的制造过程中，镀膜工艺一般都在真空镀膜腔室中进行，真空镀膜腔室上一般设置有观察窗，生产人员可以通过该观察窗观察真空镀膜腔室内部的生产情况。

由于在镀膜过程中，镀膜材料可能会镀到观察窗上，导致观察窗被污染，继而导致观察窗的能见度降低。目前，在真空镀膜腔室内部一般还设置有观察窗防污组件，该观察窗防污组件包括：把手、转轴和挡板，其中，挡板设置在真空镀膜腔室内部，与设置在真空镀膜腔室外部的把手通过转轴固定连接，通过转动把手可以带动挡板移动，在非观察时期，可将该挡板移动至观察窗的位置上以遮挡观察窗，以保护观察窗不受污染。

但是，在观察时期，观察窗上由于没有挡板保护，镀膜材料还是会镀到观察窗上，仍然会造成观察窗的污染，而污染后的观察窗无法有效清洗，影响真空镀膜腔室的使用效果。

发明内容

为了解决现有技术观察窗上没有挡板保护且污染后的观察窗无法有效清洗，影响真空镀膜腔室的使用效果的问题，本发明实施例提供了一种观察窗防污组件及其使用方法、真空镀膜系统。所述技术方案如下：

第一方面，提供了一种观察窗防污组件，包括：

设置在真空镀膜腔室内的透明挡板，所述透明挡板与所述真空镀膜腔室可拆卸连接，所述透明挡板能够覆盖所述观察窗。

可选地，所述透明挡板与所述观察窗可拆卸静连接；

所述观察窗防污组件还包括：第一防污挡板和转轴，所述转轴穿过所述真空镀膜腔室的侧壁，所述转轴一端位于所述真空镀膜腔室内，另一端位于所述真空镀膜腔室外；

所述转轴的一端与所述第一防污挡板连接；

在移动所述转轴的另一端时，所述转轴的一端能够带动所述第一防污挡板移动，使所述第一防污挡板覆盖所述透明挡板，或者使所述第一防污挡板远离所述透明挡板。

可选地，所述透明挡板与所述真空镀膜腔室的内壁可拆卸动连接；

所述观察窗防污组件还包括：第一防污挡板、第二防污挡板和转轴，所述转轴穿过所述真空镀膜腔室的侧壁，所述转轴一端位于所述真空镀膜腔室内，另一端位于所述真空镀膜腔室外；

所述转轴的一端与所述第一防污挡板和所述透明挡板分别连接；

在移动所述转轴的另一端时，所述转轴的一端能够带动所述第一防污挡板和所述透明挡板同时移动，使所述第一防污挡板或所述透明挡板覆盖所述观察窗；

所述第二防污挡板固定设置在所述真空镀膜腔室内壁上，用于在所述透明挡板未覆盖所述观察窗时，覆盖所述透明挡板。

可选地，所述真空镀膜腔室的侧壁上设置有通孔，所述通孔上设置有轴承，所述轴承包括内圈、外圈和位于所述内圈和所述外圈之间的滚动体，所述内圈套接在所述转轴上，所述外圈与所述内壁固定连接，所述第一防污挡板与所述转轴固定连接，所述透明挡板与所述外圈固定连接。

可选地，所述真空镀膜腔室的侧壁上设置有通孔，所述通孔上设置有轴承，所述轴承包括内圈、外圈和位于所述内圈和所述外圈之间的滚动体，所述内圈套接在所述转轴上，所述外圈与所述内壁固定连接，所述第一防污挡板和所述透明挡板均与所述转轴固定连接，所述第一防污挡板和所述透明挡板位于同一平面，且所述第一防污挡板和所述透明挡板之间的距离为预设距离。

可选地，所述第一防污挡板由透明材料制成。

可选地，所述转轴的另一端设置有把手；

所述把手包括：手持部和指示部，所述手持部上设置有滚纹，所述指示部用于指示所述观察窗是否处于可观察状态。

第二方面，提供了一种真空镀膜系统，所述真空镀膜系统包括：

真空镀膜腔室，以及设置在所述真空镀膜腔室上的观察窗防污组件，所述真空镀膜腔室的侧壁上设置有观察窗，所述观察窗防污组件为第一方面所述的观察窗防污组件。

可选地，所述观察窗防污组件还包括：转轴和第一防污挡板，所述转轴一端位于所述真空镀膜腔室内，另一端位于所述真空镀膜腔室外；

所述真空镀膜腔室的侧壁上设置有通孔，所述通孔位于所述观察窗上方，所述转轴穿过所述通孔，在移动所述转轴的另一端时，所述转轴的一端能够带动所述第一防污挡板移动。

第三方面，提供了一种观察窗防污组件的使用方法，包括：

在需要观察真空镀膜腔室内部时，将设置在所述真空镀膜腔室内的透明挡板覆盖所述真空镀膜腔室的观察窗；

其中，所述透明挡板与所述真空镀膜腔室可拆卸连接。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

本发明实施例提供的观察窗防污组件及其使用方法、真空镀膜系统，通过在真空镀膜腔室内部设置透明挡板，并且该透明挡板与真空镀膜腔室可拆卸连接，使得该透明挡板可以在观察时期遮挡观察窗，避免观察窗在观察时期被镀上镀膜材料，即保护观察窗不受污染，并且，透明挡板的可拆卸连接，为透明挡板的更换和清洗提供了条件，保证了真空镀膜腔室上的观察窗的可视性，进而保证了真空镀膜腔室的使用效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种真空镀膜系统的结构示意图；

图2-1是本发明实施例提供的一种观察窗防污组件的结构示意图；

图2-2是本发明实施例提供的一种第一防污挡板远离透明挡板时，第一防污挡板和透明挡板的位置示意图；

图2-3是本发明实施例提供的一种第一防污挡板覆盖透明挡板时，第一防污挡板和透明挡板的位置示意图；

图3-1是本发明实施例提供的另一种观察窗防污组件的结构示意图；

图3-2是本发明实施例提供的一种当透明挡板覆盖观察窗时，第一防污挡板、透明挡板和第二防污挡板的位置示意图；

图3-3是本发明实施例提供的一种当第一防污挡板覆盖观察窗时，第一防污挡板、透明挡板和第二防污挡板的位置示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

图1是本发明实施例提供的观察窗防污组件所涉及的真空镀膜系统的示意图。如图1所示，该真空镀膜系统S可以包括：真空镀膜腔室0和观察窗防污组件00。真空镀膜腔室0上设置有观察窗01，位于真空镀膜腔室0外部的生产人员可以通过该观察窗观察真空镀膜腔室0内部的生产情况。观察窗防污组件00设置在该真空镀膜腔室0上，用于遮挡观察窗01，以保护观察窗01不受污染。

图2-1是本发明实施例提供的一种观察窗防污组件00的结构示意图，如图2-1所示，该观察窗防污组件00可以包括：

设置在真空镀膜腔室内的透明挡板001，透明挡板001与真空镀膜腔室可拆卸连接。该可拆卸连接可以为可拆卸静连接，该可拆卸静连接是指透明挡板在与真空镀膜腔室可拆卸连接的前提下，该透明挡板相对于真空镀膜腔室能够静止，即无法发生移动，如卡扣、螺栓或胶粘等可拆卸静连接方式。示例地，透明挡板的边缘处可以预留有连接区域，该连接区域可以通过螺栓与真空镀膜腔室进行连接。或者，该可拆卸连接也可以为可拆卸动连接，该可拆卸动连接是指透明挡板在与真空镀膜腔室可拆卸连接的前提下，该透明挡板相对于真空镀膜腔室能够活动，即可以发生移动。如透明挡板可以通过轴承与真空镀膜腔室进行连接，该轴承的外圈与真空镀膜腔室相对固定，该轴承的内圈与透明挡板连接，内圈相对于外圈可活动，即可实现透明挡板的可拆卸动连接。该透明挡板与真空镀膜腔室的可拆卸连接，为透明挡板的更换和清洗提供了条件。

其中，透明挡板001能够覆盖观察窗01(为了便于观看，图2-1中绘出了观察窗01的边界，实际应用中，观察窗01被透明挡板001完全遮挡)，实际应用中，可以使透明挡板001的面积大于或等于真空镀膜腔室的观察窗01的面积，以实现对观察窗01的覆盖，工作人员可以透过该覆盖在观察窗01上的透明挡板001对真空镀膜腔室内的生产情况进行查看。需要说明的是，为了便于观看，图2-1中绘制了真空镀膜腔室0的部分内壁，该观察窗01位于真空镀膜腔室0的侧壁上。

综上所述，本发明实施例提供的观察窗防污组件，通过在真空镀膜腔室内部设置透明挡板，并且该透明挡板与真空镀膜腔室可拆卸连接，使得该透明挡板可以在观察时期遮挡观察窗，避免观察窗在观察时期被镀上镀膜材料，即保护观察窗不受污染，并且，透明挡板的可拆卸连接，为透明挡板的更换和清洗提供了条件，保证了真空镀膜腔室上的观察窗的可视性，进而保证了真空镀膜腔室的使用效果。

在本发明实施例中，透明挡板可以与观察窗可拆卸静连接，即透明挡板相对于观察窗固定设置，也可以与观察窗可拆卸动连接，即透明挡板相对于观察窗活动设置。当透明挡板相对于观察窗活动设置时，该透明挡板可以视为可移动结构，该透明挡板能够被移动至覆盖或远离观察窗。本发明实施例以以下两方面为例进行说明：

一方面，如图2-1所示，当透明挡板001相对于观察窗01固定设置时，观察窗防污组件00还可以包括：第一防污挡板002和转轴003，其中，该第一防污挡板002的面积大于或等于透明挡板001的面积，转轴003穿过真空镀膜腔室的侧壁，其一端位于真空镀膜腔室内，另一端位于真空镀膜腔室外(为了便于观看，图2-1中绘出了观察窗01的边界，实际应用中，观察窗01被透明挡板001完全遮挡)。

可选地，该转轴003的一端与第一防污挡板002连接，在移动转轴003的另一端时，转轴003的一端能够带动第一防污挡板002移动，使第一防污挡板002覆盖透明挡板001，或者使第一防污挡板002远离透明挡板001。

在本发明实施例中，该透明挡板可以通过直接或间接的方式固定设置在观察窗上，也即是直接或间接地设置在真空镀膜腔室的内壁上，例如，透明挡板可以通过螺栓固定连接在真空腔室的内壁上，或者，透明挡板通过轴承固定连接在真空腔室的内壁上，该轴承可以为滚动轴承，该轴承至少包括内圈、外圈和位于内圈和外圈之间的滚动体，该真空镀膜腔室的侧壁上可以设置有通孔，该通孔上设置有轴承，该轴承的外圈与真空腔室的内壁固定连接，保持静止，轴承的内圈套接在转轴上，与转轴相对固定(图2-1所示即为透明挡板通过轴承连接在转轴上的间接连接方式)，第一防污挡板与转轴固定连接(实际应用中，第一防污挡板可以与内圈固定连接，通过该内圈实现与转轴的连接)，透明挡板与轴承的外圈固定连接，由于内圈和外圈之间存在滚动体，在转轴的另一端转动时，内圈相对于外圈转动，但是外圈保持静止，相应地，透明挡板也保持静止。实际应用中，该轴承还可以包括其他组件，例如保持架、密封圈和润滑油等，本发明实施例对此不做限定。

可选地，第一防污挡板可以通过连接杆与转轴连接，透明挡板可以通过连接杆与轴承的外圈连接，第一防污挡板和透明挡板与相应的连接杆形成的整体结构可以图2-1所示的钟摆状结构，也可以为其他结构，本发明实施例对其不做具体限定。进一步的，为了保证真空镀膜腔室的密闭性，可以在轴承的外圈与通孔之间设置密封圈。

当第一防污挡板远离透明挡板时，第一防污挡板和透明挡板的位置可以参考图2-2，此时，透明挡板001覆盖在观察窗上，工作人员能够通过该透明挡板和观察窗观察真空镀膜腔室内部的生产情况，并且，由于该透明挡板的遮挡，观察窗可以在其保护下不受污染。

当第一防污挡板覆盖透明挡板时，第一防污挡板和透明挡板的位置可以参考图2-3，此时，透明挡板覆盖在观察窗上，在图2-3中仅能看到第一防污挡板002。由于第一防污挡板对透明挡板的遮挡，透明挡板可以在其保护下不受污染，继而可以降低透明挡板的更换和清洗频率。并且，通过在真空镀膜腔室外移动转轴的另一端，以通过真空镀膜腔室内转轴一端的带动第一防污挡板移动，进而遮挡观察窗，不仅保护了观察窗不受污染，保证了真空镀膜腔室的使用效果，还保证了第一防污挡板移动的可操作性。

实际应用中，透明挡板的一面可以与真空镀膜腔室的内壁贴合，第一防污挡板的一面可以与透明挡板的另一面贴合。这样可以使透明挡板与观察窗之间，以及第一防污挡板与透明挡板之间没有缝隙，使得镀膜材料无法通过该缝隙镀到被遮挡的观察窗和透明挡板上，保证了透明挡板对观察窗和第一防污挡板对透明挡板的有效遮挡。

另一方面，如图3-1所示，当该透明挡板001相对于观察窗活动设置时，观察窗防污组件00还可以包括：第一防污挡板002、第二防污挡板004和转轴003，其中，该第一防污挡板002的面积可以大于或等于真空镀膜腔室的观察窗01的面积，第二防污挡板004的面积可以大于或等于透明挡板001的面积，转轴003穿过真空镀膜腔室的侧壁，其一端位于真空镀膜腔室内，另一端位于真空镀膜腔室外(为了便于观看，图3-1中绘出了观察窗01的边界，实际应用中，观察窗01被第一防污挡板002完全遮挡)。

可选地，转轴003的一端与第一防污挡板002和透明挡板001分别连接。在移动转轴003的另一端时，转轴003的一端可以带动第一防污挡板002和透明挡板001同时移动，使第一防污挡板002或透明挡板001覆盖观察窗01。

在本发明实施例中，第二防污挡板004固定设置在真空镀膜腔室的内壁上，用于在透明挡板001未覆盖观察窗01时，覆盖透明挡板001。第二防污挡板可以通过直接或间接的方式固定设置在真空镀膜腔室的内壁上，例如，第二防污挡板可以通过螺栓固定连接在真空腔室的内壁上，或者，第二防污挡板通过轴承固定连接在真空腔室的内壁上，该轴承可以为滚动轴承，该轴承至少包括内圈、外圈和位于内圈和外圈之间的滚动体，该轴承的外圈与真空腔室的内壁固定连接，保持静止，轴承的内圈套接在转轴上，与转轴相对固定(图3-1所示即为第二防污挡板通过轴承连接在真空腔室的内壁上的间接连接方式)，第二防污挡板与轴承的外圈固定连接，由于内圈和外圈之间存在滚动体，在转轴的另一端转动时，内圈相对于外圈转动，但是外圈保持静止，相应地，第二防污挡板也保持静止。

实际应用中，透明挡板和第一防污挡板均与转轴固定连接，(可选地，第一防污挡板和透明挡板可以均与内圈固定连接，通过该内圈实现与转轴的连接)，透明挡板和第一防污挡板位于同一平面，且两者之间的距离为预设距离，在转轴的另一端转动时，内圈相对于外圈转动，透明挡板和第一防污挡板也同时转动，以实现透明挡板或第一防污挡板对观察窗的覆盖。由于第一防污挡板和透明挡板之间的距离为预设距离，无论两者在转轴的带动下顺时针或逆时针旋转，两者的距离依然保持固定，不会出现重合的情况。相应地，为了实现第一防污挡板对观察窗和第二防污挡板对透明挡板的有效遮挡，观察窗与第二防污挡板之间的距离也为预设距离。进一步的，为了保证真空镀膜腔室的密闭性，可以在轴承的外圈与通孔之间设置密封圈。

当透明挡板覆盖观察窗时，第一防污挡板、透明挡板和第二防污挡板的位置可以参考图3-2，此时，透明挡板001覆盖在观察窗上，第一防污挡板002远离观察窗，第二防污挡板004固定设置在真空镀膜腔室的内壁上，工作人员能够通过该透明挡板和观察窗观察真空镀膜腔室内部的生产情况，并且，由于该透明挡板的遮挡，观察窗可以在其保护下不受污染。

当第一防污挡板覆盖观察窗时，第一防污挡板、透明挡板和第二防污挡板的位置可以参考图3-3，此时，第二防污挡板004覆盖在透明挡板上，在图3-3中仅能看到第一防污挡板002和第二防污挡板004。由于第一防污挡板的遮挡，观察窗可以在其保护下不受污染，并且，由于第二防污挡板的遮挡，透明挡板可以在其保护下不受污染，降低了透明挡板的更换和清洗频率。

实际应用中，第一防污挡板的一面可以与真空镀膜腔室的内壁贴合，透明挡板的一面可以与真空镀膜腔室的内壁贴合，第二防污挡板的一面可以与透明挡板的另一面贴合。这样可以使第一防污挡板与观察窗之间、透明挡板与观察窗之间，以及第二防污挡板与透明挡板之间没有缝隙，使得镀膜材料不能够通过该缝隙镀到被遮挡的观察窗和透明挡板上，保证了第一防污挡板对观察窗、透明挡板对观察窗，以及第二防污挡板对透明挡板的有效遮挡。

本发明实施例中，为了保证转轴有效穿过真空镀膜腔室的侧壁，转轴可以穿过设置在真空镀膜腔室的侧壁上的通孔，使得转轴的一端位于真空镀膜腔室内，另一端位于真空镀膜腔室外。该通孔的设置，为工作人员在真空镀膜腔室外对真空镀膜腔室内的挡板的移动进行控制，提供了条件。

可选地，第一防污挡板和透明挡板均可以通过连接杆与转轴连接，第二防污挡板可以通过连接杆与轴承的外圈连接，第一防污挡板、透明挡板和第二防污挡板与相应的连接杆形成的整体结构可以图3-1所示的钟摆状结构，也可以为其他结构，本发明实施例对其不做具体限定。由于第一防污挡板和透明挡板之间的距离为预设距离，相应地，当第一防污挡板、透明挡板和第二防污挡板与相应的连接杆形成的整体结构为钟摆状结构时，第一防污挡板对应的整体结构和透明挡板对应的整体结构形成的夹角为预设夹角。

可选地，在图2-1和图3-2中，转轴的另一端可以设置有把手。该把手可以包括：手持部和指示部，手持部上设置有滚纹，指示部用于指示观察窗是否处于可观察状态。真空腔室外的工作人员可以通过抓持并转动把手，以带动转轴转动，进而带动挡板移动。手持部上设置的滚纹，可以在抓持时增加手与手持部之间的摩擦力，使工作人员更容易地转动转轴。指示部为工作人员判断观察窗是否处于可观察状态提供了客观标准，相较于工作人员通过人眼观察等主观判断的方式进行判断，有效地提高了判断的准确性，进而保证了真空镀膜腔室的使用效果。

实际应用中，观察窗防污组件还可以包括：保持部，该保持部用于将可活动的挡板保持在指定位置，该指定位置可以为上述指示部指示的位置所对应的位置。设置保持部，可以实现可活动的挡板的自动位置保持，避免人工操作实现可活动的挡板在指定位置的保持，减少操作复杂度。

例如，该保持部可以包括设置在转轴的另一端的凸起结构，和设置在该转轴周围的凹陷结构，该凹陷结构可以位于上述指示部指示的位置，在转轴转动到该指示的位置时，凸起结构卡接在凹陷结构内，在不受到外力作用时，两者保持卡接，使得可活动的挡板(如图2-1中的第一防污挡板)保持在相应的位置，再次转动转轴时，凸起结构在受力后可以脱离凹陷结构，相应地，可活动的挡板解除刚才所保持的状态。

示例地，当工作人员通过转动转轴将第一防污挡板移动至图2-1中所示的远离透明挡板的位置时，凸起结构卡接在凹陷结构内，使转轴不再转动，将第一防污挡板保持在该位置。

需要说明的是，凸起结构和凹陷结构中可以有至少一个是可形变材料制成，以避免两者摩擦所造成的损伤。并且，实际应用中，该保持部还可以有多种结构，本发明实施例对此不再赘述。

可选地，第一防污挡板、透明挡板和第二防污挡板可以设置有相应的连接杆连接在转轴上，第一防污挡板、透明挡板和第二防污挡板与连接杆形成的整体结构可以图2-1或图3-1所示的钟摆状结构，也可以为其他结构，本发明实施例对其不做具体限定。

需要说明的是，当第一防污挡板与相应的连接杆形成的整体结构为图2-1所示的钟摆状结构时，或者，当第一防污挡板和透明挡板与相应的连接杆形成的整体结构为图3-1所示的钟摆状结构时，设置在真空镀膜腔室侧壁上的通孔可以位于观察窗上方，通常，该第一防污挡板、透明挡板、通孔和观察窗均可以为轴对称结构，该通孔的对称轴与观察窗的对称轴重合。

可选地，透明挡板可以由透明材料制成，该透明材料需满足具体较高透过率、具有一定硬度且不易碎。例如，该透明材料可以为树脂等材料。

可选地，第一防污挡板和第二防污挡板可以由透明或不透明的材料制成，该材料只需满足具体较高透过率、具有一定硬度且不易碎即可。例如，该材料可以为树脂、铁、铜、镍或铁铜镍等金属的合金等材料。当第一防污挡板由透明材料制成时，相对于图2-1所示的观察窗防污组件，该第一防污挡板可以在观察时也覆盖在透明挡板上，直至第一防污挡板的可视性不能满足观察为止；相对于图3-1的所示的观察窗防污组件，在第一防污挡板的可视性能够满足观察的期间内，可以将该第一防污挡板覆盖在观察窗上，使用户能够透过观察窗和第一防污挡板对真空镀膜腔室内部的生产情况进行查看，无需转动把手以实现第一防污挡板和透明挡板的切换，直至第一防污挡板的可视性不能满足观察后，再进行第一防污挡板和透明挡板的切换。因此，第一防污挡板由透明材料制成，一方面，可以减少透明挡板被污染的几率，实现对透明挡板的有效保护，并且进一步地降低了透明挡板的更换和清洗频率；另一方面，在第一防污挡板的可视性能够满足观察的期间内，可以透过第一防污挡板对真空镀膜腔室内部的生产情况进行观察，无需对第一防污挡板和透明挡板进行切换，可以减少用户操作。

可选地，在第一防污挡板和第二防污挡板的表面可以形成有具有一定深度的沟槽。并且，该沟槽中还可以填充有喷砂，或者，在第一防污挡板和第二防污挡板的表面喷涂有喷砂，该喷砂用以吸收真空镀膜腔室中的水分和氧气等影响镀膜的物质，从而保证镀膜工艺的正常进行。

需要说明的是，在本发明实施例中的附图中，观察窗、透明挡板、第一防污挡板和第二防污挡板的轮廓构成的形状均为圆形仅仅为一示意性的示例，并不用以限定。在实际应用中，该形状还可以为椭圆形、正方形或者长方形等形状。并且，观察窗、透明挡板、第一防污挡板和第二防污挡板的轮廓构成的形状可以全部相同，也可以全部不相同，还可以部分相同且部分不相同。可选地，观察窗、透明挡板、第一防污挡板和第二防污挡板的大小可以相同，也可以不同，其大小只要保证透明挡板能够覆盖观察窗，且第一防污挡板或第二防污挡板能够覆盖透明挡板即可。示例地，观察窗、透明挡板、第一防污挡板和第二防污挡板的形状可以为等比例的相似图形；或者，也可以为全等图形。例如，观察窗、透明挡板、第一防污挡板和第二防污挡板的形状可以为等比例的相似圆形，其中，观察窗、透明挡板、第一防污挡板和/或第二防污挡板的大小依次等比例增大；或者，观察窗、透明挡板、第一防污挡板和第二防污挡板的形状也可以为大小相同的圆形。

还需要说明的是，在本发明实施例中均以真空镀膜腔室为立方体腔室为例进行说明，该立方体腔室的侧壁为平面。实际应用中，真空镀膜腔室也可以为圆柱状腔室或其他形状的腔室，相应地，其侧壁可以为曲面或平面，对应地，透明挡板、第一防污挡板和第二防污挡板的整体形状也可以为曲面或平面，只要保证透明挡板与观察窗且第一防污挡板与透明挡板能够有效贴合即可，或者，只要保证透明挡板与观察窗、第一防污挡板与观察窗、且第二防污挡板与透明挡板能够有效贴合即可，本发明实施例对其不做具体限定。

在本发明实施例中，观察窗防污组件中的除透明挡板之外的挡板，如第一防污挡板，也可以与真空镀膜腔室可拆卸连接，其连接方式可以参考上述透明挡板与真空镀膜腔室可拆卸连接的方式。

综上所述，本发明实施例提供的观察窗防污组件，通过在真空镀膜腔室内部设置透明挡板，并且该透明挡板与真空镀膜腔室可拆卸连接，使得该透明挡板可以在观察时期遮挡观察窗，避免观察窗在观察时期被镀上镀膜材料，即保护观察窗不受污染，并且，透明挡板的可拆卸连接，为透明挡板的更换和清洗提供了条件，保证了真空镀膜腔室上的观察窗的可视性，进而保证了真空镀膜腔室的使用效果。

本发明实施例还提供了一种真空镀膜系统，请参考图1，该真空镀膜系统S可以包括：真空镀膜腔室0，以及设置在该真空镀膜腔室0上的观察窗防污组件00，并且，该真空镀膜腔室0的侧壁上设置有观察窗01，该观察窗防污组件00可以为图2-1或图3-1所示的观察窗防污组件00。

综上所述，本发明实施例提供的真空镀膜系统，通过在真空镀膜腔室上设置观察窗防污组件，并且使用该观察窗防污组件遮挡观察窗，避免观察窗被镀上镀膜材料，即保护观察窗不受污染，进而保证了真空镀膜腔室的使用效果。

进一步的，请参考图2-1或图3-1，该观察窗防污组件00还可以包括：转轴003和第一防污挡板002，其中，转轴003一端位于真空镀膜腔室0内，另一端位于真空镀膜腔室0外。

可选地，真空镀膜腔室的侧壁上可以设置有通孔(图中未画出)，该通孔可以位于观察窗上方，转轴穿过该通孔，在移动转轴003的另一端时，转轴的一端能够带动第一防污挡板转动。

可选地，在通孔上还可以设置有轴承，该轴承可以为滚动轴承，该轴承可以包括内圈、外圈和位于内圈和外圈之间的滚动体，该内圈可以套接在转轴上，与转轴相对固定，该外圈可以与内壁固定连接，保持静止。

当设置在真空镀膜腔室上的观察窗防污组件为图2-1所示的观察窗防污组件时，第一防污挡板与转轴固定连接(实际应用中，第一防污挡板可以与内圈固定连接，通过该内圈实现与转轴的连接)，透明挡板与轴承的外圈固定连接，第一防污挡板可以在转轴的带动下覆盖或远离透明挡板，透明挡板由于与轴承的外圈固定连接，在转轴的另一端转动时，外圈能够保持静止，相应地，透明挡板也能够保持静止。

当设置在真空镀膜腔室上的观察窗防污组件为图3-1所示的观察窗防污组件时，第一防污挡板和透明挡板均与转轴固定连接，第二防污挡板与轴承的外圈固定连接。第一防污挡板和透明挡板位于同一平面，且第一防污挡板的中轴线所在方向与透明挡板的中轴线所在方向呈预设夹角。在转轴的另一端转动时，透明挡板和第一防污挡板也同时转动，可以实现透明挡板或第一防污挡板对观察窗的覆盖。第二防污挡板与轴承的外圈固定连接，在转轴的另一端转动时，外圈能够保持静止，相应地，第二防污挡板也能够保持静止。

综上所述，本发明实施例提供的真空镀膜系统，通过在真空镀膜腔室上设置观察窗防污组件，并且使用该观察窗防污组件遮挡观察窗，避免观察窗被镀上镀膜材料，即保护观察窗不受污染，进而保证了真空镀膜腔室的使用效果。

本发明实施例还提供了一种观察窗防污组件的使用方法，该方法可以包括：在需要观察真空镀膜腔室内部时，将设置在真空镀膜腔室内的透明挡板覆盖真空镀膜腔室的观察窗。其中，透明挡板与真空镀膜腔室可拆卸连接，该可拆卸连接为透明挡板的更换和清洗提供了条件。

示例地，当该方法涉及的观察窗防污组件可以为图2-1所示的结构时，透明挡板相对于观察窗固定设置，当工作人员需要观察真空镀膜腔室内部的生产情况时，可以通过抓持并转动把手的手持部，以带动转轴转动，使把手上的指示部指示在观察状态，此时，第一防污挡板远离透明挡板，工作人员可以通过透明挡板和观察窗进行观察；当不需要观察真空镀膜腔室内部的生产情况时，工作人员可以通过抓持并转动把手的手持部，以带动转轴转动，使把手上的指示部指示在非观察状态，此时，第一防污挡板覆盖透明挡板，透明挡板可以在其保护下不受污染，继而降低透明挡板的更换和清洗频率。

示例地，当该方法涉及的观察窗防污组件可以为图3-1所示的结构时，透明挡板相对于观察窗活动设置，当工作人员需要观察真空镀膜腔室内部的生产情况时，可以通过抓持并转动把手的手持部，以带动转轴转动，使把手上的指示部指示在观察状态，此时，透明挡板覆盖观察窗，工作人员可以通过透明挡板和观察窗进行观察，并且，观察窗在透明挡板的遮挡下可以免受污染；当不需要观察真空镀膜腔室内部的生产情况时，工作人员可以通过抓持并转动把手的手持部，以带动转轴转动，使把手上的指示部指示在非观察状态，此时，第一防污挡板覆盖观察窗，且使第二防污挡板覆盖透明挡板，第一防污挡板可以保护观察窗不受污染，第二防污挡板可以保护透明挡板不受污染。

需要说明的是，当观察窗防污组件并未设置把手或者把手上并未设置指示部时，当工作人员需要观察真空镀膜腔室内部的生产情况时，工作人员可以观察通过观察窗是否可以看到真空镀膜腔室内部的图像，若通过观察窗无法看到真空镀膜腔室内部的图像(例如，第一防污挡板不透明，图2-1中，透明挡板相对于观察窗固定设置，第一防污挡板覆盖透明挡板；或者，图3-1中，透明挡板相对于观察窗活动设置，第一防污挡板覆盖观察窗，透明挡板远离观察窗)，旋转转轴直至可以看到真空镀膜腔室内部的图像(例如，第一防污挡板不透明，图2-1中，透明挡板相对于观察窗固定设置，第一防污挡板远离透明挡板；或者，图3-1中，透明挡板相对于观察窗活动设置，第一防污挡板远离观察窗，透明挡板覆盖观察窗)，然后进行生产情况的观察，若持续无法看到清晰的真空镀膜腔室内部的图像，说明透明挡板和/或观察窗被污染，需要对透明挡板和观察窗进行检查，对被污染的透明挡板进行拆卸清洗，若观察窗也被污染，对观察窗也进行清洗。

若通过观察窗可以看到真空镀膜腔室内部的图像(例如，第一防污挡板透明，第一防污挡板和/或透明挡板覆盖观察窗)，工作人员可以直接进行生产情况的观察，但是若通过观察窗可以看到的真空镀膜腔室内部的图像较模糊，工作人员可以旋转转轴直至可以看到清晰的真空镀膜腔室内部的图像(例如，第一防污挡板透明，图2-1中，透明挡板相对于观察窗固定设置，第一防污挡板远离透明挡板；或者，图3-1中，透明挡板相对于观察窗活动设置，第一防污挡板远离观察窗，透明挡板覆盖或者远离观察窗)，然后进行生产情况的观察，若持续无法看到清晰的真空镀膜腔室内部的图像，说明挡板和/或观察窗被污染，该被挡板包括上述透明的第一防污挡板和透明挡板，需要进行对挡板和观察窗进行检查，对被污染的挡板进行拆卸清洗，若观察窗也被污染，对观察窗也进行清洗。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的方法的具体步骤，可以参考前述装置实施例中的对应过程，在此不再赘述。

综上所述，本发明实施例提供的观察窗防污组件的使用方法，通过将透明挡板设置在真空镀膜腔室内，使透明挡板覆盖真空镀膜腔室的观察窗，避免观察窗在观察时期被镀上镀膜材料，即保护观察窗不受污染，并且，透明挡板的可拆卸连接，为透明挡板的更换和清洗提供了条件，保证了真空镀膜腔室上的观察窗的可视性，进而保证了真空镀膜腔室的使用效果。

通过本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分步骤可以通过硬件来完成，也可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种观察窗防污组件，其特征在于，包括：

设置在真空镀膜腔室内的透明挡板，所述透明挡板与所述真空镀膜腔室可拆卸连接，所述透明挡板能够覆盖所述观察窗；

所述透明挡板与所述真空镀膜腔室的内壁可拆卸动连接；

所述观察窗防污组件还包括：第一防污挡板、第二防污挡板和转轴，所述转轴穿过所述真空镀膜腔室的侧壁，所述转轴一端位于所述真空镀膜腔室内，另一端位于所述真空镀膜腔室外；

所述转轴的一端与所述第一防污挡板和所述透明挡板分别连接；

在移动所述转轴的另一端时，所述转轴的一端能够带动所述第一防污挡板和所述透明挡板同时移动，使所述第一防污挡板或所述透明挡板覆盖所述观察窗；

所述第二防污挡板固定设置在所述真空镀膜腔室内壁上，用于在所述透明挡板未覆盖所述观察窗时，覆盖所述透明挡板。

2.根据权利要求1所述的观察窗防污组件，其特征在于，所述真空镀膜腔室的侧壁上设置有通孔，所述通孔上设置有轴承，所述轴承包括内圈、外圈和位于所述内圈和所述外圈之间的滚动体，所述内圈套接在所述转轴上，所述外圈与所述内壁固定连接，所述第一防污挡板和所述透明挡板均与所述转轴固定连接，所述第一防污挡板和所述透明挡板位于同一平面，且所述第一防污挡板和所述透明挡板之间的距离为预设距离。

3.根据权利要求1或2所述的观察窗防污组件，其特征在于，

所述第一防污挡板由透明材料制成。

4.根据权利要求1或2所述的观察窗防污组件，其特征在于，

所述转轴的另一端设置有把手；

所述把手包括：手持部和指示部，所述手持部上设置有滚纹，所述指示部用于指示所述观察窗是否处于可观察状态。

5.一种真空镀膜系统，其特征在于，所述真空镀膜系统包括：

真空镀膜腔室，以及设置在所述真空镀膜腔室上的观察窗防污组件，所述真空镀膜腔室的侧壁上设置有观察窗，所述观察窗防污组件为权利要求1至4任一所述的观察窗防污组件。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述观察窗防污组件还包括：转轴和第一防污挡板，所述转轴一端位于所述真空镀膜腔室内，另一端位于所述真空镀膜腔室外；

所述真空镀膜腔室的侧壁上设置有通孔，所述通孔位于所述观察窗上方，所述转轴穿过所述通孔，在移动所述转轴的另一端时，所述转轴的一端能够带动所述第一防污挡板移动。

7.一种观察窗防污组件的使用方法，其特征在于，所述方法应用于权利要求1至4任一所述的观察窗防污组件，包括：

在需要观察真空镀膜腔室内部时，将设置在所述真空镀膜腔室内的透明挡板覆盖所述真空镀膜腔室的观察窗；

当不需要观察真空镀膜腔室内部时，使第一防污挡板覆盖观察窗，且使第二防污挡板覆盖所述透明挡板；

其中，所述透明挡板与所述真空镀膜腔室可拆卸连接。