CN202047129U - 新型磁力挡板观察窗 - Google Patents
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Abstract
一种新型磁力挡板观察窗，它包括观察窗座1、观察窗压盖2、密封圈3、磁块4、活动挡板5、观察窗玻璃6、固定挡板7和挡圈8，观察窗压盖2用螺丝固定在观察窗座1上，并将观察窗玻璃6固定在观察窗座1上，挡圈8将固定挡板7和活动挡板5固定在观察窗玻璃6内侧，活动挡板5上有活动观察孔51和与固定挡板7圆心上的轴孔配合的圆轴52，固定挡板7有固定观察孔71，当磁块4在观察窗玻璃6上转动时，活动挡板5在磁块4的磁力作用下会随之转动。本实用新型既便于观察真空室内环境及工作状况，又可防止膜层镀在玻璃上影响观察。本实用新型结构新颖、操作方便，能有效减少真空泄漏，提高产品质量和生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜设备，特别是一种用于观察真空镀膜设备内部环境及工作状况的新型磁力挡板观察窗。
背景技术
真空镀膜设备上都设置有观察窗，其作用一是要能保证真空隔离，二是要便于观察真空设备内部环境及工作状况，三是要在镀膜时防止膜层镀在玻璃上影响观察。现有国内市场最常见的真空镀膜设备观察窗，采用的都是带档板开启装置的观察窗，档板通过挡板轴旋转挡板来开启或关闭观察窗。这种装置存在以下不足：一是挡板轴经常旋转(动密封)容易产生真空室漏气，破坏真空工艺环境；二是延长真空室工艺时间；三是档板旋转占用空间大，容易产生工件划伤。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术的上述不足，而提供一种在真空镀膜设备上使用的结构合理、使用方便、密封性能好的新型磁力挡板观察窗。
本实用新型的技术方案是：一种新型磁力挡板观察窗，它包括观察窗座、观察窗压盖、密封圈、磁块、活动挡板、观察窗玻璃、固定挡板和挡圈，观察窗座焊接在真空镀膜设备的真空室体上，观察窗压盖用螺丝固定在观察窗座上，并将观察窗玻璃固定在观察窗座上，密封圈位于观察窗座与观察窗玻璃之间，挡圈位于观察窗座上，其将固定挡板和活动挡板固定在观察窗玻璃内侧，在固定挡板与观察窗玻璃之间留有便于活动挡板自由旋转的空隙，活动挡板上有活动观察孔，固定挡板有固定观察孔。
本实用新型进一步的技术方案是: 观察窗座、观察窗压盖、固定挡板均为不锈钢制成，活动挡板为碳钢制成。
本实用新型再进一步的技术方案是: 活动挡板上有圆弧度小于180度的半圆形活动观察孔，固定挡板有圆弧度小于180度的半圆形固定观察孔。
本实用新型更进一步的技术方案是：活动挡板上有与固定挡板圆心上的轴孔配合的圆轴。
本实用新型由于取消了原来的档板轴旋转动密封改为了磁力传动，减少了真空泄漏，提高了真空质量；且观察窗结构形式是观察窗与挡板装置在同一位置，挡板不会划伤镀膜工件，保证了产品质量；与现有技术相比，具有结构紧凑，占用空间小，操作灵活，使用方便等特点，对于减少真空泄漏，提高产品质量，节约能源，降低成本都具有现实意义。
以下结合附图和具体实施方式对本实用新型的详细结构作进一步描述。
附图说明
图1为本实用新型观察窗开启时的结构示意图；
图2为本实用新型观察窗关闭时的结构示意图；
图3为图2的右视图。
具体实施方式
如图1-3所示：一种新型磁力挡板观察窗，它包括观察窗座1、观察窗压盖2、密封圈3、磁块4、活动挡板5、观察窗玻璃6、固定挡板7和挡圈8，观察窗座1焊接在真空镀膜设备的真空室体上，观察窗压盖2用螺丝固定在观察窗座1上，并将观察窗玻璃6固定在观察窗座1上，密封圈3位于观察窗座1与观察窗玻璃6之间，挡圈8位于观察窗座1上，其将固定挡板7和活动挡板5固定在观察窗玻璃6内侧，在固定挡板7与观察窗玻璃6之间留有便于活动挡板5自由旋转的空隙，活动挡板5上有圆弧度小于180度的半圆形活动观察孔51和与固定挡板7圆心上的轴孔配合的圆轴52，固定挡板7有圆弧度小于180度的半圆形固定观察孔71，观察窗座1、观察窗压盖2、固定挡板7均为不锈钢(非导磁性材料)制成，活动挡板5为碳钢 (导磁性材料) 制成。
当磁块4在观察窗玻璃6上转动时，活动挡板5在磁块4的磁力作用下会随之转动，当活动挡板5上的半圆形活动观察孔51与固定挡板7上的半圆形固定观察孔71重合时，观察窗开启，便可观察真空室内的情况；旋转180度，观察窗即关闭。本实用新型既便于观察真空室内环境及工作状况，又可防止膜层镀在玻璃上影响观察。本实用新型结构新颖、操作方便，能有效减少真空泄漏，提高产品质量和生产效率。
Claims (5)
1.一种新型磁力挡板观察窗，其特征是它包括观察窗座、观察窗压盖、密封圈、磁块、活动挡板、观察窗玻璃、固定挡板和挡圈，观察窗座焊接在真空镀膜设备的真空室体上，观察窗压盖用螺丝固定在观察窗座上，并将观察窗玻璃固定在观察窗座上，密封圈位于观察窗座与观察窗玻璃之间，挡圈位于观察窗座上，其将固定挡板和活动挡板固定在观察窗玻璃内侧，在固定挡板与观察窗玻璃之间留有便于活动挡板自由旋转的空隙，活动挡板上有活动观察孔，固定挡板有固定观察孔。
2.根据权利要求1所述的新型磁力挡板观察窗，其特征是观察窗座、观察窗压盖、固定挡板均为不锈钢制成，活动挡板为碳钢制成。
3.根据权利要求1或2所述的新型磁力挡板观察窗，其特征是活动挡板上有圆弧度小于180度的半圆形活动观察孔，固定挡板有圆弧度小于180度的半圆形固定观察孔。
4.根据权利要求1或2所述的新型磁力挡板观察窗，其特征是活动挡板上有与固定挡板圆心上的轴孔配合的圆轴。
5.根据权利要求3所述的新型磁力挡板观察窗，其特征是活动挡板上有与固定挡板圆心上的轴孔配合的圆轴。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN2011201151104U CN202047129U (zh) | 2011-04-19 | 2011-04-19 | 新型磁力挡板观察窗 |
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Publications (1)
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| CN202047129U true CN202047129U (zh) | 2011-11-23 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104979231A (zh) * | 2014-04-01 | 2015-10-14 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种反应腔室 |
| CN105714264A (zh) * | 2016-04-27 | 2016-06-29 | 芜湖真空科技有限公司 | 真空溅射单元的观察窗机构 |
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2011
- 2011-04-19 CN CN2011201151104U patent/CN202047129U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20111123 Termination date: 20140419 |