CN203212639U - 真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构，包括磁铁组件、磁铁固定座、挡板轴和调节轮转动轴，磁铁组件设于磁铁固定座中部，磁铁固定座嵌入真空镀膜室的容器壁，磁铁固定座内，挡板轴和调节轮转动轴分别设于磁铁组件的两侧，挡板轴的外端与挡板固定连接，调节轮转动轴的外端与调节轮固定连接。本真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构中，采用磁铁固定座内的径向隔板进行密封，然后在径向隔板的两侧通过磁铁组件进行动力传动，径向隔板与磁铁固定座为一体结构，可克服现有挡板机构采用独立密封圈所造成的温度高易变形的现象，有效改善其密封效果，使该挡板机构可较好地应用于真空度要求较高的真空镀膜室。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃镀膜设备领域，特别涉及一种真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构。
背景技术
视镜机构是用于观察真空镀膜室内工作情况的常用设备，视镜机构使用时，为了避免镀膜时弧源溅射污染视镜玻璃，一般在视镜玻璃的内侧设置挡板，通过挡板的遮挡来保障视镜玻璃的洁净，当需要观察真空镀膜室内的工作状况时，通过旋转挡板使其打开即可。目前的视镜机构中，挡板通过挡板轴直接与手动调节元件连接，该结构的挡板机构简单易实现，但挡板机构的密封仅靠在挡板轴外周设置密封圈实现，在实际应用中，由于真空镀膜室内的温度一般较高，使得其密封效果并不理想，密封圈也容易损坏，所以该结构的挡板机构无法应用于真空度要求较高的超高真空镀膜室。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种超高真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构，其密封性能可达到零泄漏，可应用于真空度要求较高的超高真空镀膜室。
本实用新型的技术方案为：一种真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构，包括磁铁组件、磁铁固定座、挡板轴和调节轮转动轴，磁铁组件设于磁铁固定座中部，磁铁固定座嵌入真空镀膜室的容器壁，磁铁固定座内，挡板轴和调节轮转动轴分别设于磁铁组件的两侧，挡板轴的外端与挡板固定连接，调节轮转动轴的外端与调节轮固定连接。
所述磁铁组件包括两个磁铁和两个固定块；磁铁固定座的中部为带有径向隔板的圆筒结构，即磁铁固定座中部的轴线截面为工字形；两个磁铁分别设于径向隔板的两侧并通过相应的固定块固定。
位于所述径向隔板两侧的两个固定块的外侧面分别与挡板轴和调节轮转动轴相接。
所述磁铁固定座中部的圆筒结构一端延伸嵌入真空镀膜室的容器壁，圆筒结构另一端延伸至调节轮处并带有凸台，凸台通过连接座与真空镀膜室的外壁固定连接。
所述挡板包括相连接的板体和连接板，板体与连接板之间呈阶梯形设置，连接板通过固定柱与挡板轴相连接，连接板、固定柱和挡板轴之间通过螺钉锁紧固定。
当挡板处于关闭状态时，所述挡板中的板体位于真空镀膜室的视镜玻璃内侧。
本真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构使用时，当挡板处于关闭状态，挡板中的板体位于视镜玻璃内侧，挡板遮挡视镜玻璃，防止膜层污染视镜玻璃；当用户需要观察真空镀膜室内的工作状况时，用户转动调节轮，通过调节轮转动轴、磁铁组件和挡板轴依次传动，带动挡板旋转，使挡板打开，用户通过视镜玻璃直接观察真空镀膜室内的工作状况，挡板的旋转角度可为0～360°。挡板打开时，磁铁组件的传动原理是：真空室外的调节轮转动轴旋转时，带动与其相接的磁铁及固定块转动，通过磁铁的磁力作用，与真空室内的挡板轴相接的磁铁与固定块也随之同向转动，从而带动挡板轴及挡板旋转，磁铁固定座中的径向隔板起密封作用。
本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：
本真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构中，采用磁铁固定座内的径向隔板进行密封，然后在径向隔板的两侧通过磁铁组件进行动力传动，径向隔板与磁铁固定座为一体结构，将真空室内的挡板和真空室外的调节轮的传动完全隔开，无需传动联接，而是靠磁场力传递转矩，不存在需密封圈密封的问题，可克服现有挡板机构采用独立密封圈所造成的温度高易变形的现象，适用于任何真空度和高温状态的镀膜室。
附图说明
图1为本超高真空视镜挡板机构的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例
本实施例一种真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构，如图1所示，包括磁铁组件、磁铁固定座1、挡板轴2和调节轮转动轴3，磁铁组件设于磁铁固定座中部，磁铁固定座嵌入真空镀膜室的容器壁4，磁铁固定座内，挡板轴和调节轮转动轴分别设于磁铁组件的两侧，挡板轴2的外端与挡板5固定连接，调节轮转动轴3的外端与调节轮6固定连接。
磁铁组件包括两个磁铁7和两个固定块8；磁铁固定座的中部为带有径向隔板1-1的圆筒结构，即磁铁固定座中部的轴线截面为工字形；两个磁铁分别设于径向隔板的两侧并通过相应的固定块固定。
位于径向隔板两侧的两个固定块的外侧面分别与挡板轴和调节轮转动轴相接。
磁铁固定座中部的圆筒结构一端延伸嵌入真空镀膜室的容器壁，圆筒结构另一端延伸至调节轮处并带有凸台，凸台通过连接座9与真空镀膜室的外壁10固定连接。
挡板包括相连接的板体和连接板，板体与连接板之间呈阶梯形设置，连接板通过固定柱11与挡板轴相连接，连接板、固定柱和挡板轴之间通过螺钉锁紧固定。
当挡板处于关闭状态时，挡板中的板体位于真空镀膜室的视镜玻璃12内侧。
本真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构使用时，当挡板处于关闭状态，挡板中的板体位于视镜玻璃内侧，挡板遮挡视镜玻璃，防止膜层污染视镜玻璃；当用户需要观察真空镀膜室内的工作状况时，用户转动调节轮，通过调节轮转动轴、磁铁组件和挡板轴依次传动，带动挡板旋转，使挡板打开，用户通过视镜玻璃直接观察真空镀膜室内的工作状况，挡板的旋转角度可为0～360°。挡板打开时，磁铁组件的传动原理是：真空室外的调节轮转动轴旋转时，带动与其相接的磁铁及固定块转动，通过磁铁的磁力作用，与真空室内的挡板轴相接的磁铁与固定块也随之同向转动，从而带动挡板轴及挡板旋转，磁铁固定座中的径向隔板起密封作用。
如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
Claims (6)
1.真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构，其特征在于，包括磁铁组件、磁铁固定座、挡板轴和调节轮转动轴，磁铁组件设于磁铁固定座中部，磁铁固定座嵌入真空镀膜室的容器壁，磁铁固定座内，挡板轴和调节轮转动轴分别设于磁铁组件的两侧，挡板轴的外端与挡板固定连接，调节轮转动轴的外端与调节轮固定连接。
2.根据权利要求1所述真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构，其特征在于，所述磁铁组件包括两个磁铁和两个固定块；磁铁固定座的中部为带有径向隔板的圆筒结构，即磁铁固定座中部的轴线截面为工字形；两个磁铁分别设于径向隔板的两侧并通过相应的固定块固定。
3.根据权利要求2所述真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构，其特征在于，位于所述径向隔板两侧的两个固定块的外侧面分别与挡板轴和调节轮转动轴相接。
4.根据权利要求2所述真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构，其特征在于，所述磁铁固定座中部的圆筒结构一端延伸嵌入真空镀膜室的容器壁，圆筒结构另一端延伸至调节轮处并带有凸台，凸台通过连接座与真空镀膜室的外壁固定连接。
5.根据权利要求1所述真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构，其特征在于，所述挡板包括相连接的板体和连接板，板体与连接板之间呈阶梯形设置，连接板通过固定柱与挡板轴相连接，连接板、固定柱和挡板轴之间通过螺钉锁紧固定。
6.根据权利要求5所述真空镀膜室用的超高真空视镜挡板机构，其特征在于，当挡板处于关闭状态时，所述挡板中的板体位于真空镀膜室的视镜玻璃内侧。
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