CN201729874U - 一种磁力传动观察窗挡板机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种磁力传动观察窗挡板机构,其包括:挡板轴,其穿过观察窗上开设的孔安装在观察窗上,挡板轴上部在观察窗内,下部穿过孔并向外延伸出一段;观察窗挡板,安装在挡板轴上部;导向套,安装在挡板轴下部,导向套与孔贴合;手轮,安装在导向套外侧,用于手动操作挡板机构时使用。本实用新型不存在动密封点,整个转动部分全部焊接在真空侧,可以应用于超高真空系统;耐热能力强;不使用轴承定位,对零件的加工精度要求不高,装配简单;不存在密封圈磨损,使用寿命长,磁铁退磁更换只需要拆除外部的手轮,无需检漏,简单方便;机构紧凑,体积小,可以和观察窗做成一体化结构。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种挡板机构,特别是涉及一种磁力传动观察窗挡板机构。
背景技术
在物理气相沉积(Physical Vapour Deposition,PVD)和化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)设备中,观察窗是必不可少的组成部分。由于观察窗暴露于沉积环境中,观察窗玻璃也会被镀膜,从而影响其透光性,因此通常需要在观察窗上配置挡板机构,以对观察窗进行保护,需要使用观察窗时打开挡板,不使用时将挡板关上。挡板机构应操作方便,在进行相关试验测量或观察时,挡板快速开闭很重要。
观察窗挡板机构包括挡板和一套动密封引入机构。传统的观察窗挡板机构如图1所示,图2是传统的观察窗挡板机构图1由左向右投射所得的视图,所述挡板机构是由手轮5通过挡板轴2带动观察窗挡板1旋转,由于挡板轴2一侧为真空,通常是在轴承4上使用一对碗型密封圈3来达到密封效果。这是一种极为常见的真空动密封引入机构,这种结构的缺点为:1、碗型密封圈的密封能力有限,不能用在真空度高于1×10-5Pa的超高真空系统上;2、碗型密封圈的耐热性有限,即使是最高级的硅橡胶密封圈,其耐热能力也只有250℃,在烘烤温度动辄600℃以上的真空环境中存在一定的局限性;3、组装时需要轴承定位,对轴的制造精度要求高,装配要求也相对较高,同时轴承也存在耐热问题;4、碗型密封圈存在老化和磨损,寿命有限,长期使用时必须经常检查和更换,更换密封圈需专业人员操作,且更换后必须重新检漏才能使用,增加了操作的繁琐。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是:使观察窗挡板机构能应用于超高真空系统;提高挡板机构的耐热能力;降低挡板机构对零部件的加工精度要求;延长挡板机构使用寿命;简化挡板机构的维修和更换。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种磁力传动观察窗挡板机构,所述挡板机构配置安装在观察窗上,通过打开或关上挡板机构,使观察窗暴露于真空沉积环境中或者与其隔离开,其特征在于,所述挡板机构包括:
挡板轴,其穿过观察窗上开设的孔安装在观察窗上,挡板轴上部在观察窗内,下部穿过孔并向外延伸出一段;
观察窗挡板,安装在所述挡板轴上部;
导向套,安装在所述挡板轴下部,所述导向套与孔贴合。
其中,所述挡板机构还包括:纯铁环,固定安装在所述挡板轴上,并装入所述导向套内。
其中,所述挡板机构还包括:磁铁,固定在所述手轮内部,其位置与所述纯铁环对应,用于吸附并带动纯铁环转动。
其中,所述挡板机构还包括:盖板,盖合在所述导向套下端,或者盖合并与所述导向套焊接固定。
其中,所述挡板机构还包括:手轮,安装在所述导向套外侧,用于手动操作挡板机构时使用。
其中,所述导向套采用不锈钢材料制作。
其中,所述纯铁环的截面形状设计为十字形,所述纯铁环用销固定在挡板轴上。
(三)有益效果
与现有的观察窗挡板机构相比,本实用新型具有如下优点:
1、不存在动密封点,整个转动部分全部焊接在真空侧,理论上说漏率为0,可以应用于超高真空系统;
2、耐热能力强,由于不使用碗型密封圈,全部为金属件,耐热能力大大提高;
3、不使用轴承定位,对零件的加工精度要求不高,装配也相对简单;
4、不存在密封圈磨损,使用寿命极长,即使磁铁退磁更换也仅仅需要拆除外部的手轮,无需检漏,简单方便;
5、机构紧凑,体积小,可以和观察窗做成一体化结构。
附图说明
图1是传统的观察窗挡板机构结构示意图;
图2是传统的观察窗挡板机构图1由左向右投射所得的视图;
图3是本实用新型磁力传动观察窗挡板机构结构示意图;
图4是本实用新型磁力传动观察窗挡板机构示意图图3由左向右投射所得的视图;
图5是本实用新型磁力传动观察窗挡板机构示意图图3的B-B剖视图。
其中,1:观察窗挡板;2:挡板轴;3:碗型密封圈;4:轴承;5:手轮;7:导向套;8:纯铁环;9:磁铁;10:盖板;11:孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
本实用新型所提供的磁力传动观察窗挡板机构如图3所示,本实用新型磁力传动观察窗挡板机构示意图图3由左向右投射所得的视图如图4所示,图3的B-B剖视图如图5所示。
在本实用新型的磁力传动观察窗挡板机构中,挡板轴2通过观察窗上开设的孔11安装在观察窗上,挡板轴2的上部在室内,用于安装观察窗挡板1,挡板轴2的下部穿过孔11并向外延伸出一段,在挡板轴2下部用销固定一个十字形截面的纯铁环8,将此部分装入导向套7内,用盖板10盖住,之后将盖板10和导向套7焊接起来。导向套7与孔11贴合,挡板轴2、观察窗挡板1、纯铁环8均在真空沉积环境室内部。在导向套7外侧设置有手轮5,在手轮5内部固定与纯铁环8相应的四块磁铁9,手轮5的磁铁9能够吸住导向套7内的纯铁环8,转动手轮5时,其内部的磁铁9先后带动纯铁环8和挡板轴2转动以达到传动效果。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和替换,这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种磁力传动观察窗挡板机构,所述挡板机构配置安装在观察窗上,通过打开或关上挡板机构,使观察窗暴露于真空沉积环境中或者与其隔离开,其特征在于,所述挡板机构包括:
挡板轴(2),其穿过观察窗上开设的孔(11)安装在观察窗上,挡板轴(2)上部在观察窗内,下部穿过孔(11)并向外延伸出一段;
观察窗挡板(1),安装在所述挡板轴(2)上部;
导向套(7),安装在所述挡板轴(2)下部,所述导向套(7)与孔(11)贴合。
2.如权利要求1所述的磁力传动观察窗挡板机构,其特征在于,所述挡板机构还包括:纯铁环(8),固定安装在所述挡板轴(2)上,并装入所述导向套(7)内。
3.如权利要求1或2所述的磁力传动观察窗挡板机构,其特征在于,所述挡板机构还包括:磁铁(9),固定在所述手轮(5)内部,其位置与所述纯铁环(8)对应,用于吸附并带动纯铁环(8)转动。
4.如权利要求1或2所述的磁力传动观察窗挡板机构,其特征在于,所述挡板机构还包括:盖板(10),盖合在所述导向套(7)下端,或者盖合并与所述导向套(7)焊接固定。
5.如权利要求1所述的磁力传动观察窗挡板机构,其特征在于,所述挡板机构还包括:手轮(5),安装在所述导向套(7)外侧,用于手动操作挡板机构时使用。
6.如权利要求1所述的磁力传动观察窗挡板机构,其特征在于,所述导向套(7)采用不锈钢材料制作。
7.如权利要求2所述的磁力传动观察窗挡板机构,其特征在于,所述纯铁环(8)的截面形状设计为十字形,所述纯铁环(8)用销固定在挡板轴(2)上。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
CN2010202141942U CN201729874U (zh) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 一种磁力传动观察窗挡板机构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN2010202141942U CN201729874U (zh) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 一种磁力传动观察窗挡板机构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN201729874U true CN201729874U (zh) | 2011-02-02 |
Family
ID=43521033
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN2010202141942U Expired - Lifetime CN201729874U (zh) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 一种磁力传动观察窗挡板机构 |
Country Status (1)
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CN (1) | CN201729874U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111863289A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-10-30 | 核工业西南物理研究院 | 用于托卡马克装置观察窗的护窗装置 |
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2010
- 2010-05-25 CN CN2010202141942U patent/CN201729874U/zh not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111863289A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-10-30 | 核工业西南物理研究院 | 用于托卡马克装置观察窗的护窗装置 |
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