CN205710899U - 一种磁控溅射旋转磁密封端头 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种磁控溅射旋转磁密封端头，包括固定座、隔离罩、内冷却水循环通道、内转子、接电柱、外转子、进水口、出水口、及固定孔；固定座内设第一凹槽；隔离罩纵剖面呈“山”字构型，分外盖、中柱、及二者之间的第二凹槽，外盖封盖在第一凹槽上，外转子设于第一凹槽内且包裹在外盖外部，接电柱设在外盖的顶端；内转子与第二凹槽内壁紧密贴合，内冷却水循环通道位于中柱外侧与内转子之间。本实用新型旋转阴极端头，真空、大气之间采用磁力耦合密封，把动密封改为了静密封，解决了真空度保持差的问题，这种密封方式免维护，考虑到其他部件的寿命，可以确保每年维护一次，提高了端头的使用可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及磁控溅射设备配件，尤其涉及一种磁控溅射旋转磁密封端头。
背景技术
现在使用的旋转阴极端头，真空、大气之间采用骨架密封，骨架密封属于动密封范畴，也会逐步失效，这样增加了端头的使用不可靠性，维修率高，维修周期不确定，真空度保持差，实际使用时维修时间可能一个月或更长，给生产和工艺都造成了不确定性。
因此，现有技术存在缺陷，需要改进。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种磁控溅射旋转磁密封端头。
本实用新型的技术方案如下：
一种磁控溅射旋转磁密封端头，包括固定座、隔离罩、内冷却水循环通道、内转子、接电柱、外转子、进水口、出水口、及固定孔；固定座内设第一凹槽；隔离罩纵剖面呈“山”字构型，分外盖、中柱、及二者之间的第二凹槽，外盖封盖在第一凹槽上，外转子设于第一凹槽内且包裹在外盖外部，接电柱设在外盖的顶端；内转子与第二凹槽内壁紧密贴合，内冷却水循环通道位于中柱外侧与内转子之间，进水口、出水口、固定孔均设于固定座侧壁，进水口、出水口分别与内冷却水循环通道连通；固定座侧壁还设有一水平弧形孔，用以露出外转子的一部分弧长。
较佳地，所述水平弧形孔的弧度为30°~180°。
较佳地，所述中柱内设一半开口的圆柱孔。
采用上述方案，本实用新型旋转阴极端头，真空、大气之间采用磁力耦合密封，把动密封改为了静密封，解决了真空度保持差的问题，这种密封方式免维护，考虑到其他部件的寿命，可以确保每年维护一次，提高了端头的使用可靠性。
附图说明
图1为本实用新型的侧视图；
图2为本实用新型的俯视图；
图3为图2的A-A剖视图；
图4为图3的分解图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。
参照图1至图4，本实用新型提供一种磁控溅射旋转磁密封端头，包括固定座1、隔离罩2、内冷却水循环通道3、内转子4、接电柱5、外转子6、进水口7、出水口8、及固定孔9。
其中，固定座1设有半开口的第一凹槽，隔离罩2封盖在第一凹槽上。
其中，隔离罩2纵剖面呈“山”字构型，分外盖21、中柱22、及二者之间的第二凹槽23，外盖21封盖在第一凹槽上，外转子6设于第一凹槽内且包裹在外盖21外部，接电柱5设在外盖21的顶端；内转子4与第二凹槽23内壁紧密贴合，内冷却水循环通道3位于中柱22外侧与内转子4之间；中柱22内设一半开口的圆柱孔221，用于更好地固定外部的圆柱形靶材。
其中，固定座1外侧壁还开设一水平弧形孔，其与第一凹槽连通，露出外转子6的一部分弧长，露出的外转子6用于导出皮带与外部动力源皮带连接，因此，为使得皮带连接方便，水平弧形孔的弧度在180°以内，优选地的弧度为30°~180°。固定座1外侧还设有进水口7、出水口8、及固定孔9，进水孔7、出水孔8分别与内冷却水循环通道3连通，固定孔9用于将该密封端头整个固定在磁控溅射设备内部。
本实用新型的工作原理：
参照图1至图4，圆柱形靶材安装在内转子4上，与内转子4的头端外部固定连接，靶材冷却循环水通过进水口7进入端头，经过内冷却水循环通道3冷却靶材，最后通过出水口8流出，循环冷却；靶材阴极电源通过接电柱5上电，整体端头通过固定孔9固定在真空室内壁；外转子6外部通过皮带轮带动，中间通过隔离罩2隔离，外转子6通过磁场与内转子4耦合，带动内转子4旋转，实现了真空的绝对密封。
以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种磁控溅射旋转磁密封端头，其特征在于，包括固定座、隔离罩、内冷却水循环通道、内转子、接电柱、外转子、进水口、出水口、及固定孔；固定座内设第一凹槽；隔离罩纵剖面呈“山”字构型，分外盖、中柱、及二者之间的第二凹槽，外盖封盖在第一凹槽上，外转子设于第一凹槽内且包裹在外盖外部，接电柱设在外盖的顶端；内转子与第二凹槽内壁紧密贴合，内冷却水循环通道位于中柱外侧与内转子之间，进水口、出水口、固定孔均设于固定座侧壁，进水口、出水口分别与内冷却水循环通道连通；固定座侧壁还设有一水平弧形孔，用以露出外转子的一部分弧长。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转磁密封端头，其特征在于，所述水平弧形孔的弧度为30°~180°。
3.根据权利要求1或2所述的磁控溅射旋转磁密封端头，其特征在于，所述中柱内设一半开口的圆柱孔。
Priority Applications (1)
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| CN201620681853.0U CN205710899U (zh) | 2016-07-01 | 2016-07-01 | 一种磁控溅射旋转磁密封端头 |
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| CN201620681853.0U CN205710899U (zh) | 2016-07-01 | 2016-07-01 | 一种磁控溅射旋转磁密封端头 |
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| CN (1) | CN205710899U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110042351A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-07-23 | 北京威伏真空技术有限公司 | 一种用于旋转阴极的液密封结构及真空磁控溅射装置 |
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2016
- 2016-07-01 CN CN201620681853.0U patent/CN205710899U/zh active Active
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN110042351A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-07-23 | 北京威伏真空技术有限公司 | 一种用于旋转阴极的液密封结构及真空磁控溅射装置 |
| CN110042351B (zh) * | 2019-03-06 | 2021-04-09 | 张迎春 | 一种用于旋转阴极的液密封结构及真空磁控溅射装置 |
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