CN201525879U - 一种大直径坩埚旋转装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种大直径坩埚旋转装置，具有步进电机，其中：所述步进电机的主轴上设有小齿轮，小齿轮与大齿轮啮合，大齿轮的上端面固定有大支撑盘，坩埚固定在支撑盘上，大齿轮的下端通过轴承装配设置在主轴上，主轴通过支架固定在步进电机的壳体上，支撑盘与坩埚之间具有充满冷却水的空腔，空腔与主轴中心的进、出水管相连通，进、出水管分别与主轴中心的进、出水管相连接实现冷却水的循环；所述步进电机采用PLC控制。与现有技术相比，具有多空位，使用寿命长，能够实现多位多点精确控制。
Description
技术领域
本实用新型属于镀膜机制造技术领域，具体涉及一种大直径坩埚旋转装置。
背景技术
现有技术中，多穴位坩埚旋转系统一直是国内的空白，常用的坩埚穴位仅限于6穴、8穴、12穴、20穴等，这样对于多层薄膜的镀制非常不利，并且，大直径坩埚的低速旋转运动如何实现其平稳性，如何实现多位多点精确控制是大直径多空位坩埚一直存在的技术问题。
发明内容：
为解决现有技术存在的上述缺陷，本实用新型目的在于提供一种具有多空位，使用寿命长，能够实现多位多点精确控制的大直径坩埚旋转驱动装置。
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案：该大直径坩埚旋转装置具有步进电机，其特征在于：所述步进电机的主轴上设有小齿轮，小齿轮与大齿轮啮合，大齿轮的上端面固定有大支撑盘，坩埚固定在支撑盘上，大齿轮的下端通过轴承装配设置在主轴上，主轴通过支架固定在步进电机的壳体上，支撑盘与坩埚之间具有充满冷却水的空腔，空腔与主轴中心的进、出水管相连通，进、出水管分别与主轴中心的进、出水管相连接实现冷却水的循环；所述步进电机采用PLC控制。
所述轴承具有推力球轴承和向心球轴承。
采用上述技术方案的有益效果：该大直径坩埚旋转装置由步进电机驱动，通过大、小齿轮的啮合带动大直径坩埚的旋转，传动平稳且精度高。在支撑盘与坩埚之间设有有充满冷却水的空腔，并通过主轴中心的水路连接进、出水管，实现了冷却水的循环，解决了坩埚的冷却问题，防止由于温度过高出现的坩埚密封圈老化问题，可实现大直径坩埚的多穴位设置，提高了镀膜效率和质量。本项发明突破传统的结构形式，它的驱动采用步进电机精确控制，PLC程序进行有效的处理，从而完成坩埚的准确定位，有效地解决了大型坩埚的换位问题。
附图说明
图1为大直径坩埚旋转装置的结构示意图。
图2为对应大直径坩埚旋转部分的俯视图。
具体实施方式
如图1所示的大直径坩埚旋转装置，具有步进电机1，步进电机的主轴上设有小齿轮2，小齿轮2与大齿轮3啮合，大齿轮3的上端面固定有支撑盘5，坩埚4通过螺钉固定在支撑盘5上，在坩埚4上可设置多个穴位13，可实现40个穴位，大齿轮3的下端通过轴承6装配设置在主轴12上，轴承采用推力球轴承和向心球轴承，主轴12通过支架7固定在步进电机1的壳体上，支撑盘5与坩埚4之间具有充满冷却水的空腔，空腔与主轴12中心的进、出水管9、10相连通，进、出水管8、11分别与主轴中心的进、出水管9、10相连接，实现冷却水的循环，步进电机采用PLC控制。
Claims (2)
1.一种大直径坩埚旋转装置，具有步进电机，其特征在于：所述步进电机的主轴上设有小齿轮，小齿轮与大齿轮啮合，大齿轮的上端面固定有大支撑盘，坩埚固定在支撑盘上，大齿轮的下端通过轴承装配设置在主轴上，主轴通过支架固定在步进电机的壳体上，支撑盘与坩埚之间具有充满冷却水的空腔，空腔与主轴中心的进、出水管相连通，进、出水管分别与主轴中心的进、出水管相连接实现冷却水的循环；所述步进电机采用PLC控制。
2.根据权利要求1所述的大直径坩埚旋转装置，其特征在于：所述轴承具有推力球轴承和向心球轴承。
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