CN201483658U - 半导体专用设备用绕线轮装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种半导体专用设备用绕线轮装置，它包括主轴、导轮、隔套、两个轴承和防尘盖，所述两个轴承设于主轴和隔套之间，两个轴承之间设有内隔圈和外隔圈，外侧轴承设有与隔套固定的轴承外套压盖和设有靠锁母锁定的轴承内套压盖，锁母与主轴螺纹连接，导轮和防尘盖均与隔套固定，主轴上设有气封气道。本实用新型是一种结构简单实用、使用方便和密封性好，安全可靠的绕线轮装置。防尘盖和轴承外套压盖的分体设计，提高了整个装置的可靠性和安全性能。本实用新型特别适用于对晶片进行加工的半导体专用设备。

Description

半导体专用设备用绕线轮装置
技术领域
本实用新型涉及一种半导体专用设备用绕线轮装置。
背景技术
在国内外的半导体专用设备中，环绕金刚线的绕线轮装置密封部分主要采用传统的机械密封，密封效果差，造成工作过程中，轴承由于杂质的进入，引起机构的性能不稳定，使用寿命较短等缺点。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单、密封性好、使用寿命长的半导体专用设备用绕线轮装置。
本实用新型采用如下技术方案：
本实用新型包括主轴、导轮、隔套、两个轴承和防尘盖，所述两个轴承设于主轴和隔套之间，两个轴承之间设有内隔圈和外隔圈，外侧轴承设有与隔套固定的轴承外套压盖和设有靠锁母锁定的轴承内套压盖，锁母与主轴螺纹连接，导轮和防尘盖均与隔套固定，主轴上设有气封气道。
本实用新型所说主轴上安装有与其气封气道连通的快换接头。
本实用新型的有益效果：本实用新型是一种结构简单实用、使用方便和密封性好，安全可靠的绕线轮装置。由于主轴中设置有气封气道，主轴上沿圆周开设有与气封气道连通的环形气封槽，使其防尘效果好，整体结构紧凑；因本装置采用了静密封、迷宫密封、气密封以及动态密封等多种密封技术配合使用，极大的提高了结构的密封效果，可保证在非常严酷的环境下运行。防尘盖和轴承外套压盖的分体设计，提高了整个装置的可靠性和安全性能。本实用新型特别适用于对晶片进行加工的半导体专用设备。
附图说明
附图为本实用新型一种实施例的剖视结构示意图。
在附图中：1快换接头、2主轴、3气封气道、4隔套、5导轮、6轴承、7防尘盖、8轴承外套压盖、9轴承内套压盖、10锁母、11、内隔圈、12外隔圈。
具体实施方式
下面将结合实施例附图对本实用新型作进一步详述：
参见附图，本半导体专用设备用绕线轮装置的构成中，包括主轴2、隔套4、导轮5、两个轴承6和防尘盖7。主轴2上开有气封气道3，快换接头1采用螺纹连接安装在主轴2上，导轮5固定安装在隔套4上，隔套4通过两个轴承6与主轴2连接，两个轴承6之间分别被内隔圈11和外隔圈12隔开，轴承外套压盖8用螺钉固定在隔套4上，并锁住轴承6的外圈，轴承内套压盖9锁住轴承6的内圈，两个锁母10通过与主轴的螺纹连接锁住轴承内套压盖9，防尘盖7通过螺钉固定安装在隔套4上。
在工作过程中，导轮5在金刚线的带动下绕主轴2旋转。同时，压缩空气由快换接头1进入，沿着主轴2内部开有的气封气道3使压缩空气进入机构内部，在气体压力的作用下，灰尘杂质很难从主轴2和隔套4之间进入机构内部，而且主轴2和隔套4之间采用了沟槽式机械密封的方式，这两种密封方式相结合极大的增强了机构的密封效果。

Claims (2)

1.一种半导体专用设备用绕线轮装置，它包括主轴(2)、导轮(5)、隔套(4)、两个轴承(6)和防尘盖(7)，所述两个轴承(6)设于主轴(2)和隔套(4)之间，两个轴承(6)之间设有内隔圈(11)和外隔圈(12)，外侧轴承(6)设有与隔套(4)固定的轴承外套压盖(8)和设有靠锁母(10)锁定的轴承内套压盖(9)，锁母(10)与主轴(2)螺纹连接，导轮(5)和防尘盖(7)均与隔套(4)固定，主轴(2)上设有气封气道(3)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体专用设备用绕线轮装置，其特征是所说主轴(2)上安装有与其气封气道(3)连通的快换接头(1)。
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