CN201163621Y - 一种可提高转移安全性的晶舟转换器 - Google Patents
一种可提高转移安全性的晶舟转换器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201163621Y CN201163621Y CNU2008200552878U CN200820055287U CN201163621Y CN 201163621 Y CN201163621 Y CN 201163621Y CN U2008200552878 U CNU2008200552878 U CN U2008200552878U CN 200820055287 U CN200820055287 U CN 200820055287U CN 201163621 Y CN201163621 Y CN 201163621Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- boat
- brilliant boat
- pushing mechanism
- wafer
- crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种可提高转移安全性的晶舟转换器，用于将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟。现有技术并未设置压力侦测单元，致使在初始晶舟和目的晶舟未对齐或两者与顶推机构未对齐时损毁晶圆。本实用新型具有底座和顶推机构，该底座上具有导轨、用于驱动顶推机构沿导轨运动的驱动装置和用于控制驱动装置的控制模块，该顶推机构具有设置在导轨中的从动件、垂直设置在该从动件上的连接件和垂直设置在该连接件上的顶推件，该从动件与该连接件间设置有一压力侦测单元，其侦测到该从动件所承受的压力大于一预设压力值时发出一触发信号，该控制模块接收到该触发信号时停止控制该驱动装置驱动顶推机构顶推晶圆。本实用新型可大大提高晶圆转移的安全性。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶舟转换器，尤其涉及一种可提高转移安全性的晶舟转换器。
背景技术
在半导体制造领域中，为避免各个工序的交叉污染，每个工序都有特定的晶舟(或晶圆盒)来盛放进行或完成该工序的晶圆，当晶圆完成一个工序并进入下一个工序时，需将晶圆从上一个工序的晶舟转移到下一个工序的晶舟中，现通常采用晶舟转换器来实现晶圆在晶舟间的转移。
如图1所示，现有技术中的晶舟转换器具有用于置放初始晶舟和目的晶舟的底座10和设置在底座10一侧用于将晶圆从初始晶舟顶推至目的晶舟的顶推机构11，该底座10上具有容纳该顶推机构11的导轨、用于驱动该顶推机构11沿导轨运动的驱动装置和用于控制该驱动装置的控制模块，该底座10上具有分别用于置放初始晶舟和目的晶舟的初始晶舟置放区100和目的晶舟置放区101，该顶推机构11设置在底座10临近该初始晶舟置放区100的一侧，该顶推机构11具有设置在导轨中的从动件110、垂直设置在该从动件110上的连接件111和垂直设置在该连接件111上且直接顶推晶圆的顶推件112。
参见图2，其为现有技术中I区域(如图1所示)的A-A向剖视图，如图所示，该连接件111上具有一容置凹槽，该从动件110通过该容置凹槽榫接在该连接件111上。
在使用如图1所示的晶舟转换器将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟时，首先需将初始晶舟和目的晶舟分别置放在初始晶舟置放区100和目的晶舟置放区101上，然后控制模块控制驱动装置来驱动顶推机构11向底座10内侧运动且将初始晶舟中的晶圆顶推至目的晶舟中，为确保晶舟转换器顺利的将初始晶舟的晶圆转移至目的晶舟中，需确保初始晶舟和目的晶舟对齐且两者与顶推机构11对齐(在此所述的对齐为中心轴线的对齐)，当两者未对其或两者与顶推件112未对齐时，通过该晶舟转换装置转换晶圆时，驱动装置只会机械的驱动顶推机构11运动而不会顾及是否损坏晶圆，如此将会造成晶圆的损毁而造成严重的经济损失。
因此，如何提供一种可提高转移安全性的晶舟转换器以避免在晶舟间转移晶圆时损毁晶圆，并大大提高晶圆转移的安全性，已成为业界亟待解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可提高转移安全性的晶舟转换器，通过所述的晶舟转换器可避免损伤晶圆，并可大大提高晶圆转移的安全性。
本实用新型的目的是这样实现的：一种可提高转移安全性的晶舟转换器，用于将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟，该晶舟转换器具有一用于置放初始晶舟和目的晶舟的底座和一设置在底座一侧且用于将晶圆从初始晶舟顶推至目的晶舟的顶推机构，该底座上具有容纳该顶推机构的导轨、一用于驱动该顶推机构沿导轨运动的驱动装置和一用于控制该驱动装置的控制模块，该顶推机构具有一设置在导轨中的从动件、一垂直设置在该从动件上的连接件以及一垂直设置在该连接件上且直接顶推晶圆的顶推件，该从动件与该连接件间设置有一压力侦测单元，该压力侦测单元侦测到该从动件所承受的压力大于一预设压力值时发出一触发信号，该控制模块接收到该触发信号时，其停止控制该驱动装置驱动该顶推机构。
在上述的可提高转移安全性的晶舟转换器中，该连接件上具有一容置凹槽，该压力侦测单元设置在该容置凹槽的底面上，该从动件通过该容置凹槽榫接在该连接件上。
在上述的可提高转移安全性的晶舟转换器中，该压力侦测单元为一常闭压力开关该常闭压力开关与该控制模块串联连接。
在上述的可提高转移安全性的晶舟转换器中，该驱动装置为直线电机或液压缸。
在上述的可提高转移安全性的晶舟转换器中，该预设压力值为5牛顿。
在上述的可提高转移安全性的晶舟转换器中，该底座上具有分别用于置放初始晶舟和目的晶舟的初始晶舟置放区和目的晶舟置放区，该顶推件设置在底座临近该初始晶舟置放区的一侧。
与现有技术中并无设置侦测压力的压力侦测单元相比，本实用新型的可提高转移安全性的晶舟转换器在顶推机构的从动件与连接件间设置有压力侦测单元，当出现初始晶舟和目的晶舟未对齐或两者与顶推机构未对齐时，该压力侦测单元会侦测到压力异常且通过控制模块使驱动装置停止驱动顶推机构运动，如此将避免晶圆的损毁，大大提高晶圆转移的安全性。
附图说明
本实用新型的可提高转移安全性的晶舟转换器由以下的实施例及附图给出。
图1为晶舟转换器的主视图；
图2为现有技术中的I区域的A-A向剖视图；
图3为本发明中的I区域的A-A向剖视图；
图4为本发明中压力侦测单元与控制模块的连接结构示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的可提高转移安全性的晶舟转换器作进一步的详细描述。
参见图1，本发明的晶舟转换器具有用于置放初始晶舟和目的晶舟的底座10和设置在底座10中用于将晶圆从初始晶舟顶推至目的晶舟的顶推机构11，所述底座10上具有容纳所述顶推机构11的导轨、用于驱动所述顶推机构11沿导轨运动的驱动装置和用于控制所述驱动装置的控制模块，所述驱动装置为直线电机或液压缸。所述底座10上具有分别用于置放初始晶舟和目的晶舟的初始晶舟置放区100和目的晶舟置放区101，所述顶推机构11设置在底座10临近所述初始晶舟置放区100的一侧，所述顶推机构11具有设置在导轨中的从动件110、垂直设置在所述从动件110上的连接件111和垂直设置在所述连接件111上且直接顶推晶圆的顶推件112。
参见图3，其为本发明中I区域(如图1所示)的A-A向剖视图，如图所示，所述连接件111上具有一容置凹槽(未图示)，压力侦测单元2设置在所述容置凹槽的底面上，所述从动件110通过所述容置凹槽榫接在所述连接件111上。
参见图4，其显示了压力侦测单元与控制模块的连接结构示意图，如图所示，所述压力侦测单元2为一常闭压力开关，其与控制模块102串联连接，所述压力侦测单元2侦测到其所承受的压力大于一预设压力值时发出一触发信号，所述控制模块102接收到所述触发信号时停止控制所述驱动装置驱动顶推机构11，所述预设压力值为5牛顿。
使用如图1所示的晶舟转换器将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟时，首先需将初始晶舟和目的晶舟分别置放在初始晶舟置放区100和目的晶舟置放区101上，然后控制模块控制驱动装置来驱动顶推机构11向底座10内侧运动以将初始晶舟中的晶圆顶推至目的晶舟中，当初始晶舟和目的晶舟未对齐或两者与顶推件112未对齐时，此时顶推机构作用在从动件110上的压力非常大(其值大于5牛顿，最大可达到10牛顿)，常闭压力开关会侦测到从动件110所承受的压力大于5牛顿且其会由闭合状态变为开启状态，此时控制模块102会因常闭压力开关的开启而停止控制驱动装置驱动顶推机构11的运动，顶推机构11会停止驱动顶推机构11顶推晶圆，如此可避免因初始晶舟和目的晶舟未对齐或两者与顶推件112未对齐所造成的晶圆损毁事件的发生。
综上所述，本实用新型的可提高转移安全性的晶舟转换器在顶推机构的从动件与连接件间设置有压力侦测单元，当出现初始晶舟和目的晶舟未对齐或两者与顶推机构未对齐时，所述压力侦测单元会侦测到压力异常且通过控制模块使驱动装置停止驱动顶推机构运动，如此将避免晶圆的损毁，大大提高晶圆转移的安全性。
Claims (6)
1、一种可提高转移安全性的晶舟转换器，用于将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟，该晶舟转换器具有一用于置放初始晶舟和目的晶舟的底座和一设置在底座一侧且用于将晶圆从初始晶舟顶推至目的晶舟的顶推机构，该底座上具有容纳该顶推机构的导轨、一用于驱动该顶推机构沿导轨运动的驱动装置和一用于控制该驱动装置的控制模块，该顶推机构具有一设置在导轨中的从动件、一垂直设置在该从动件上的连接件以及一垂直设置在该连接件上且直接顶推晶圆的顶推件，其特征在于，该从动件与该连接件间设置有一压力侦测单元，该压力侦测单元侦测到该从动件所承受的压力大于一预设压力值时发出一触发信号，该控制模块接收到该触发信号时，其停止控制该驱动装置驱动该顶推机构。
2、如权利要求1所述的可提高转移安全性的晶舟转换器，其特征在于，该连接件上具有一容置凹槽，该压力侦测单元设置在该容置凹槽的底面上，该从动件通过该容置凹槽榫接在该连接件上。
3、如权利要求1所述的可提高转移安全性的晶舟转换器，其特征在于，该压力侦测单元为一常闭压力开关，该常闭压力开关与该控制模块串联连接。
4、如权利要求1所述的可提高转移安全性的晶舟转换器，其特征在于，该驱动装置为直线电机或液压缸。
5、如权利要求1所述的可提高转移安全性的晶舟转换器，其特征在于，该预设压力值为5牛顿。
6、如权利要求1所述的可提高转移安全性的晶舟转换器，其特征在于，该底座上具有分别用于置放初始晶舟和目的晶舟的初始晶舟置放区和目的晶舟置放区，该顶推件设置在底座临近该初始晶舟置放区的一侧。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2008200552878U CN201163621Y (zh) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | 一种可提高转移安全性的晶舟转换器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2008200552878U CN201163621Y (zh) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | 一种可提高转移安全性的晶舟转换器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201163621Y true CN201163621Y (zh) | 2008-12-10 |
Family
ID=40184550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNU2008200552878U Expired - Lifetime CN201163621Y (zh) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | 一种可提高转移安全性的晶舟转换器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201163621Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102543794A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-04 | 南茂科技股份有限公司 | 晶舟转换器 |
| CN106531659A (zh) * | 2015-10-22 | 2017-03-22 | 安徽超元半导体有限公司 | 一种自动晶圆转换器 |
-
2008
- 2008-01-31 CN CNU2008200552878U patent/CN201163621Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102543794A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-04 | 南茂科技股份有限公司 | 晶舟转换器 |
| CN102543794B (zh) * | 2010-12-30 | 2014-02-12 | 南茂科技股份有限公司 | 晶舟转换器 |
| CN106531659A (zh) * | 2015-10-22 | 2017-03-22 | 安徽超元半导体有限公司 | 一种自动晶圆转换器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN203093341U (zh) | 自动翻转式激光打标工装 | |
| CN107900633B (zh) | 一种自适应定位的组芯机械装置 | |
| CN201163621Y (zh) | 一种可提高转移安全性的晶舟转换器 | |
| CN104935219A (zh) | 电动车电机控制器主动放电控制电路 | |
| CN203649882U (zh) | 自动锁螺丝机批头机构 | |
| CN102416881B (zh) | 一种动力电池组互锁结构 | |
| CN208931749U (zh) | 一种装盒机的推料机构 | |
| CN207957441U (zh) | 一种电梯轿厢意外移动保护系统 | |
| CN201801163U (zh) | 一种具有磁开关的移行设备 | |
| CN110817241A (zh) | 一种pcb板的检测装置 | |
| CN212821232U (zh) | 一种电能表智能检测机 | |
| CN206216718U (zh) | 一种汽车智能控制面板检测机械手用夹具 | |
| CN210051159U (zh) | 一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置 | |
| CN210452459U (zh) | 一种通过检测电机电流变化感知物体的自动自锁夹具 | |
| CN107364731A (zh) | 翻转装置控制方法 | |
| CN202640369U (zh) | 一种机器人工作站安全围栏的多功能联锁装置 | |
| CN106312038A (zh) | 一种钢包长水口安全控制方法 | |
| CN102299505A (zh) | 电机失控自动断电保护的方法及机构 | |
| CN214003326U (zh) | 一种适用于多规格板材的夹持结构 | |
| CN103775052A (zh) | 钻具井口安全保护控制装置 | |
| CN116674985B (zh) | 一种储能锂电池组bms自动采样测试装置 | |
| CN218599467U (zh) | 一种压力机离合器制动器控制气路 | |
| CN203550933U (zh) | 行程传感器测试装置 | |
| CN216096450U (zh) | 一种自动更换核燃料管道内冷切割刀具的装置 | |
| CN103909426A (zh) | 机床工作台快进转工进控制方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (BEIJING Free format text: FORMER OWNER: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION Effective date: 20130226 |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 201203 PUDONG NEW AREA, SHANGHAI TO: 100176 DAXING, BEIJING |
|
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20130226 Address after: 100176 No. 18, Wenchang Avenue, Beijing economic and Technological Development Zone Patentee after: Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation Address before: 201203 No. 18 Zhangjiang Road, Shanghai Patentee before: Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation |
|
| CX01 | Expiry of patent term | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20081210 |