CN201084720Y - 移载装置 - Google Patents

Abstract

一种移载装置，包括：一本体，其内部设置有一传动机构；二个第一承载臂及二个第二承载臂，它们设置于本体前端且连接传动机构；其中二个第二承载臂位于二个第一承载臂之间，并受传动机构驱动使二个第二承载臂彼此靠近且并排结合，或使二个第二承载臂分别往二侧位移，以各自与一个第一承载臂靠近且并排结合。所述移载装置的承载臂可调整为两列或三列并排，以克服更换运送机器人所造成的更换麻烦且高成本的缺失。

Description

移载装置

技术领域

本实用新型有关一种移载物品的装置，特别是一种可调整为批次运送二板状物或三板状物的移载装置。

背景技术

半导体基板或液晶基板等制造是由多个的处理工序或检查工序所组成，在各工序中为了工艺的便利，一般会将多片基板收藏于卡匣中，以便将卡匣依次运送至处理装置或检查装置，并借助基板运送机器人的承载臂自卡匣内逐片取出基板进行所需的工序处理或检查处理。

随着基板尺寸的改变，基板在卡匣内的配置可为两列或三列配置，因此基板运送机器人需对应基板配置而具有二个承载臂或三个承载臂以可分别批次取出两片基板或三片基板；然而在已知的基板运送机器人中，由于承载臂是固定于基板运送机器人上而不可任意更换，因此需配备有多台各自具有二个承载臂及三个承载臂的基板运送机器人，以随时依据不同的卡匣做更换，因此在工序上具有更换繁琐且成本高的缺失。

因此若能提出一种在同一架基板运送机器人中，可随时调整承载臂的设计以运送二板状物或三板状物的移载装置，即为本实用新型极需努力的目标。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型目的是提出一种移载装置，可通过自由调整承载臂的位置以实现对二板状物或三板状物的批次运送。

为了达到上述目的，本实用新型的移载装置，用以移载至少一板状物，其特点是该移载装置包含：一本体，其内部设置一传动机构；二个第一承载臂，它们平行且间隔设置于本体前端二侧，二个第一承载臂与传动机构连接；以及二个第二承载臂，它们平行设置于本体前端，且位于二个第一承载臂之间，第二承载臂与传动机构连接，以受传动机构驱动进行一第一动作及一第二动作其中之一，其中第一动作是使二个第二承载臂彼此位移靠近且并排结合，第二动作是使二个第二承载臂分别往二侧位移，以各自与一个第一承载臂靠近且并排结合。

本实用新型的优点是可借助一传动机构对一对第一承载臂及一对第二承载臂的位置的调整，使第一、第二承载臂可自由变化为批次运送二板状物或三板状物，从而简化工序且降低成本。

附图说明

图1所示为本实用新型一实施例移载装置的分解示意图。

图2所示为本实用新型一实施例移载装置的一动作状态的结构示意图。

图3所示为本实用新型一实施例移载装置的另一动作状态的结构示意图。

图4所示为本实用新型一实施例移载装置应用于面板运送机器人的示意图。

图5所示为本实用新型一实施例移载装置运送面板的应用示意图。

图6所示为本实用新型一实施例移载装置运送面板的另一应用示意图。

具体实施方式

图1及图2所示分别为本实用新型一实施例移载装置的分解示意图及结构示意图。于本实施例中，一移载装置10包括一本体12，其内部设置一传动机构14，本体12前端设有一开槽121；二个第一承载臂16、16’平行且间隔设置位于本体12前端二侧，且穿设开槽121与传动机构14连接，使二第一承载臂16、16’受传动机构14的驱动左右位移以彼此靠近或彼此远离；二个第二承载臂18、18’，其长度是与第一承载臂16、16’相同，且每个第二承载臂18、18’的宽度是第一承载臂宽度16、16’的一半，二个第二承载臂18、18’平行设置于本体12前端且位于二个第一承载臂16、16’之间，又二个第二承载臂18、18’也穿设开槽121与传动机构14连接，以受传动机构14驱动进行一第一动作及一第二动作其中之一。

接续上述说明，当传动机构14驱动二个第二承载臂18、18’进行第一动作时，请继续参阅图2，是使二第二承载臂18、18’彼此位移靠近且并排结合形成一中央承载臂20，此中央承载臂20的整体宽度与单个第一承载臂16、16’的宽度相同，且中央承载臂20是位于二第一承载臂16、16’的间隔的中央位置，而与二个第一承载臂16、16’呈三列并排的状态；另一方面，当传动机构14驱动二个第二承载臂18、18’进行第二动作时，请参阅图3，是使二个第二承载臂18、18’分别往二侧位移，以分别靠近二侧的第一承载臂16、16’，使每个第二承载臂18、18’分别与一第一承载臂16、16’并排结合成一侧承载臂22、22’，此二个侧承载臂22、22’是位于本体12前端二侧而呈一两列并排的状态。

请参阅图2及图3，其中第一承载臂16、16’及第二承载臂18、18’是细长板形的板构件，其材质为采用碳纤维，且每个第一、第二承载臂16、16’、18、18’上分别设置有多个吸盘24，借以吸附板状物，如液晶面板、太阳能板或其他小尺寸且轻材质的板状物；又上述的传动机构可采用一伺服传动机构或一气压传动机构。

如图4所示，当本实用新型移载装置10运用至一面板运送机器人30，以辅助将卡匣(图中未示)内的面板取出且运送至一暂存工作台时(图中未示)时，移载装置10的第一、第二承载臂16、16’、18、18’的动作方式将依据卡匣内面板配置的列数选择进行第一动作或第二动作。当卡匣内的面板是呈三列状态配置时，传动机构是驱动第一、第二承载臂16、16’、18、18’呈三列并排的状态，如图5所示，以便利用结合后的中央承载臂20与二个承载臂18、18’各自承载一面板32，且运送至暂存工作台，其中较佳者每个面板32的尺寸为305毫米至584毫米(即12英寸至23英寸)；当卡匣内的面板是呈两列状态配置时，传动机构是驱动第一、第二承载臂16、16’、18、18’呈两列并排的状态，如图6所示，以便利用结合后的两个侧承载臂22、22’各自承载一块面板32，且运送至暂存工作台，其中较佳者每个面板32的尺寸为305毫米至813毫米(23英寸至32英寸)。

综合上述，本实用新型移载装置借助第一、第二承载臂的位移调整，可自由变化为批次运送二面板或三面板，以便在不需更换运送机器人的前提下，可随时对应卡匣内的面板的两列或三列配置设计；将可克服现有技术中当卡匣内的面板的配置不同时，需整个更换运送机器人所造成的更换麻烦且高成本的缺失；即本实用新型具备有简化工序且降低成本的优点。

以上所述的实施例仅是为了说明本实用新型的技术思想及特点，其目的在使熟悉本技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，当不能以其限定本实用新型的专利范围，即凡是根据本实用新型所揭示的精神所作的均等变化或修饰，仍应涵盖在本实用新型的专利范围内。

Claims (10)

1.一种移载装置，用以移载至少一板状物，其特征在于该移载装置包含：

一本体，其内部设置一传动机构；

二个第一承载臂，它们平行且间隔设置于该本体前端二侧，该二个第一承载臂与该传动机构连接；以及

二个第二承载臂，它们平行设置于该本体前端，且位于该二个第一承载臂之间，该第二承载臂与该传动机构连接，以受该传动机构驱动进行一第一动作及一第二动作其中之一，其中该第一动作是使该二个第二承载臂彼此位移靠近且并排结合，该第二动作是使该二个第二承载臂分别往二侧位移，以各自与一个该第一承载臂靠近且并排结合。

2.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于二个该第二承载臂并排结合的位置是位于二个该第一承载臂的间隔的中央位置。

3.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，该第一承载臂及该第二承载臂是细长板形的板构件。

4.根据权利要求3所述的移载装置，其特征在于，该第二承载臂的宽度是小于该第一承载臂的宽度。

5.根据权利要求4所述的移载装置，其特征在于，二个该第二承载臂彼此并排结合后的宽度是等于单个该第一承载臂的宽度。

6.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，每个该第一承载臂及每个该第二承载臂上分别设置有多个吸盘。

7.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，该第一、第二承载臂的材质是碳纤维。

8.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，该传动机构是一伺服传动机构或一气压传动机构。

9.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，该板状物是液晶面板或太阳能板。

10.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，该板状物的尺寸是305毫米至813毫米。

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